一种可制备超疏水微结构的纳米压印装置的制作方法

文档序号:19555039发布日期:2019-12-31 15:15阅读:来源:国知局
技术总结
一种可制备超疏水微结构的纳米压印装置,首先利用涂胶装置一、涂胶装置二将压印胶苄基硫醇钯均匀涂抹到衬底一、衬底二表面,然后压印装置一、压印装置二分别对衬底一、衬底二进行压印得到带有纵向光栅结构的衬底一、带有横向光栅结构的衬底二,对衬底一进行高温处理一小时使苄基硫醇钯光栅转化为金属钯光栅,然后在压印装置三的作用下横向光栅脱离衬底二,并粘附到纵向光栅上形成叠堆结构,再进行一小时的高温处理使横向苄基硫醇钯光栅转化为金属钯光栅,得到超疏水微结构。本实用新型通过使用辊对辊压印,使用纳米压印与化学相结合的方法制备超疏水微结构,可轻易制备出复合结构,避免衬底多次取放,减少制备时间与对准误差,成本大大降低。

技术研发人员:谷岩;陈斯;康洺硕;徐贞潘;颜家瑄;戴得恩;徐宏宇;李先耀;张昭杰;冯开拓;易正发;刘骜;卢发祥;段星鑫;辛成磊
受保护的技术使用者:长春工业大学
技术研发日:2019.07.10
技术公布日:2019.12.31

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