一种用于硅光芯片的模斑转换器的制作方法

文档序号:23149338发布日期:2020-12-01 14:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于硅光芯片的模斑转换器,其特征在于,包括下包层、上包层以及波导层,所述波导层位于所述下包层和所述上包层之间,所述波导层包括波导基体和波导体,所述波导基体设置在所述下包层上,所述波导体设置在所述波导基体上,所述波导体上具有尺寸线性缩减的渐变区段,且所述渐变区段的宽度及高度均线性缩减;所述波导体两端中尺寸较大的一端为输入端,所述波导体远离所述输入端的一端为输出端;所述波导基体具有依次排列的第一段、第二段以及第三段,所述第一段及所述第三段顶面均为平面,且所述第一段的高度小于所述第三段的高度,所述第二段顶部为斜面,所述斜面的底端及顶端分别与所述第一段及所述第三段的顶面对接。

2.如权利要求1所述的用于硅光芯片的模斑转换器,其特征在于,所述波导体具有所述渐变区段和光波导对接区段,所述渐变区段位于所述第一段、所述第二段及所述第三段顶部,所述光波导对接区段位于所述第三段顶部。

3.如权利要求2所述的用于硅光芯片的模斑转换器,其特征在于,所述渐变区段从所述输入端至所述输出端方向依次具有第一对接段、过渡段、第二对接段,所述第一对接段位于所述第一段顶部,所述过渡段位于所述第二段顶部,所述第二对接段位于所述第三段顶部,所述第二对接段与所述光波导对接区段对接。

4.如权利要求3所述的用于硅光芯片的模斑转换器,其特征在于,所述渐变区段从所述输入端至所述输出端方向水平方向尺寸逐渐减小,所述过渡段从所述输入端至所述输出端方向垂直方向尺寸逐渐减小。

5.如权利要求2所述的用于硅光芯片的模斑转换器,其特征在于,所述波导体顶面为平面。

6.如权利要求2所述的用于硅光芯片的模斑转换器,其特征在于,所述光波导对接区段为长方体结构。

7.如权利要求1所述的用于硅光芯片的模斑转换器,其特征在于,所述波导体的侧壁采用湿法腐蚀的方法处理改善粗糙度。


技术总结
本发明公开了一种用于硅光芯片的模斑转换器,包括下包层和上包层,下包层和上包层之间具有波导层,波导层包括波导基体和设置在波导层上的波导体,波导体一端与输入光波导对接,另一端与输出光波导对接,波导体与输入光波导对接一端的尺寸大于输出波导体与光波导对接一端的尺寸,且波导体与输出光波导对接一端至波导体与光波导之间具有尺寸线性缩减的区段,使得两种光波导的模斑尺寸逐渐匹配,从而实现两种模斑间的高效耦合。所述用于硅光芯片的模斑转换器的波导体具有三维锥形结构,其尺寸在垂直和水平方向上线性缩减,实现与输入光波导的尺寸和形状逐渐匹配,能够提高两种模式间的耦合效率。

技术研发人员:汪军平;金梦溪;陈操;卢德海;胡朝阳
受保护的技术使用者:苏州海光芯创光电科技有限公司
技术研发日:2020.10.19
技术公布日:2020.12.01
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