致动器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于显示装置等的致动器(actuator)。
【背景技术】
[0002]用于对从激光器或发光二极管等光源射出的光束进行扫描的致动器正在被实用化。这种致动器在激光打印机或条形码读取器中一维地扫描光束，在车载用雷达或投影式的显示装置中二维地扫描光束。
[0003]图12是现有的致动器I的立体图，图13是表示致动器I的监控构造(monitorstructure)的俯视图。致动器I具有:固定框2 ;—对第I振动部3、4 ;可动框5 ;—对第2振动部6、7 ;和可动部8。第I振动部3、4的第I端连接于固定框2的内侧，第2端连接于可动框5的外侧。第I振动部3、4对可动框5以可转动的方式进行支撑。第2振动部6、7的第I端连接于可动框5的内侧，第2端连接于可动部8。第2振动部6、7配设为与第I振动部3、4大致正交，对可动部8以可转动的方式进行支撑。另外，可动部8的主面发挥镜面的作用。可动框5围绕X轴转动。X轴沿着第I振动部3、4，通过可动部8的大致中心。可动部8围绕Y轴转动。Y轴沿着第2振动部6、7，通过可动部8的中心。
[0004]如图13所示，在第2振动部6、7分别设置有监控信号检测部9和驱动电极10。监控信号检测部9由压电膜、压电电阻形成。因此，若第2振动部6、7转动，则监控信号检测部9输出电信号。能够基于该信号来获得可动部8的位移信息(例如，专利文献I)。
[0005]图14是现有的其他致动器19的立体图。致动器19具有:固定框13 ;—对第I振动部14 ;可动框15 ;—对第2振动部16 ;和可动部17。各个第I振动部14的第I端连接于固定框13的内侧，第2端连接于可动框15的外侧。各个第2振动部16的第I端连接于可动框15的内侧，第2端连接于可动部17。第2振动部16在与第I振动部14大致正交的方向上延伸。在可动框15的旋转轴上的位置设置有监控部18。设置在可动框15上的监控部18对基于可动部17的光束扫描产生了异常的情况进行探测(例如，专利文献2)。
[0006]在先技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:JP特开2010-148265号公报
[0009]专利文献2:JP特开2007-017648号公报
【发明内容】
[0010]本发明是一种能够准确地掌握可动框的位移信息的致动器。本发明的致动器具有固定框；一对第I振动部；可动框；一对第2振动部；可动部；和第I监控信号检测部。第I振动部分别与固定框的内侧对置，具有连接于固定框的内侧的第I端和连接于可动框的外侧的第2端。第2振动部分别与可动框的内侧对置，具有连接于可动框的内侧的第I端和连接于可动部的第2端。第2振动部在与第I振动部延伸的方向正交的方向上延伸。第I监控信号检测部设置于可动框与第I振动部的连接部分，对可动框的位移进行检测。通过以上的构成，能够准确地掌握可动框的位移信息。因此，能够高精度地控制致动器。
【附图说明】
[0011]图1是本发明的实施方式I中的致动器的立体图。
[0012]图2是图1所示的致动器的2-2线处的剖面图。
[0013]图3是表示图1所示的致动器的第I振动部的驱动的图。
[0014]图4A是表示图1所示的致动器的可动部相对于可动框的动作状态的图。
[0015]图4B是表示图1所示的致动器的可动框和可动部相对于固定框的动作状态的图。
[0016]图5是图1所示的致动器的可动框周边的放大俯视图。
[0017]图6A是表示图1所示的致动器的可动部和可动框的位移信息的图。
[0018]图6B是表示图1所示的致动器的加上了可动框的位移信息之后的可动部的位移信息的图。
[0019]图6C是表示图1所示的致动器的生成驱动信号的过程的框图。
[0020]图7是表示图1所示的致动器驱动时的可动框的变形的图。
[0021]图8是本发明的实施方式2中的致动器的立体图。
[0022]图9是图8所示的致动器的可动框周边的放大俯视图。
[0023]图1OA是表示图8所示的致动器的可动框的位移信息、和用于抑制可动框的振动的驱动信号的图。
[0024]图1OB是表示图8所示的致动器的可动框相对于固定框的位移信息的图。
[0025]图1OC是表示图8所示的致动器的生成驱动信号的过程的框图。
[0026]图11是本发明的实施方式2中的其他致动器的可动框周边的放大俯视图。
[0027]图12是现有的致动器的立体图。
[0028]图13是表示图12所示的致动器的监控构造的俯视图。
[0029]图14是现有的其他致动器的立体图。
【具体实施方式】
[0030]在说明本发明的实施方式之前，对图12?图14所示的现有的致动器1、19中的课题进行说明。在致动器I中，在可动框5的内部设置有监控信号检测部9。通过该构造，能够获得可动部8相对于可动框5的位移信息。但是，若可动部8围绕Y轴转动，则尽管可动框5也因反作用而转动，但监控信号检测部9无法探测可动框5的位移信息。因此，在致动器I中难以获得可动部8的准确的位移信息。
[0031]另一方面，在致动器19中，监控部18设置在可动框15上。在该构成中，无法分别掌握可动部17和可动框15的位移信息。
[0032]但是，为了高精度地控制致动器，需要不仅探测可动部相对于可动框的位移信息，还同时探测可动框相对于固定框的位移信息，准确地掌握可动部相对于固定框的位移信息。例如，在将致动器用于显示装置的情况下，可动部的主面作为对光束进行反射的镜面而发挥作用。而且，根据该镜面的位置来控制光源的输出来显示影像。因此，需要高精度地探测镜面相对于固定框的位置。
[0033](实施方式I)
[0034]以下，参照附图对本发明的实施方式I中的致动器21进行说明。图1是本发明的实施方式I中的致动器21的立体图。致动器21具有:固定框22 ;—对第I振动部24 ;可动框25 ;—对第2振动部27 ;可动部28 ;和第I监控信号检测部(以下，称作检测部)30。
[0035]第I振动部24分别与固定框22的内侧对置，具有连接于固定框22的内侧的第I端、和连接于可动框25的外侧的第2端。第I振动部24形成为直线形状的振动梁与折叠形状的振动梁交替地连结的迂回曲折形状(meandrous shape)。第2振动部27分别与可动框25的内侧对置，具有连接于可动框25的内侧的第I端、和连接于可动部28的第2端。
[0036]第2振动部27在与第I振动部24延伸的方向正交的方向上延伸。在图1中，第I振动部24沿着X轴23延伸，第2振动部27沿着Y轴26延伸。检测部30分别设置于可动框25与第I振动部24的连接部分，对可动框25的位移进行检测。
[0037]另外，可动部28的主面通过设置成镜面可以活用为光学反射元件，通过设置成受光面可以活用为红外线检测元件等。此外，在第2振动部27分别设置有对第2振动部27的驱动状态(位移)进行检测的第2监控信号检测部(以下，称作检测部)29。
[0038]此外，在第I振动部24分别设置有对第I振动部24的位移进行控制的第I驱动部33，在第2振动部27分别设置有对第2振动部27的位移进行控制的第2驱动部37。
[0039]图2是图1所示的2-2线处的致动器21的剖面图。第I振动部24具有基板31、和在基板31上形成的绝缘体32。第I驱动部33形成在绝缘体32上。
[0040]第I驱动部33由下部电极34、形成在下部电极34上的压电体35、和形成在压电体35上的上部电极36构成。下部电极34、上部电极36由钼、金、钛、鹤等的金属膜形成，压电体35由锆钛酸铅(Pb (Zivx，Tix) O3)等的压电材料形成。下部电极34、压电体35、上部电极36可以通过蒸镀、溶胶-凝胶、CVD、溅射法等来形成为薄膜。
[0041]若对下部电极34与上部电极36之间赋予给定的电位差，则压电体35因逆压电效应而在压电体35的平面方向上进行伸缩动作。因此，包含压电体35的第I驱