信号Yfd和可动框25的位移信息Yfm的图，图1OB示出了可动框25相对于固定框22的位移信息Yfm。即，基于由检测部30检测出的信号，生成驱动信号Yfd使得第3驱动部42成为可动框25的变动量的反相位，并将驱动信号Yfd输入到第3驱动部42，由此抵消可动框25的变形。由此，由于可动框25不发生变动，因此可动框25与固定框22的相位状态固定，能够准确地掌握可动部28的位移信息。该信号处理能够由设置在致动器41的外部的电路来实施。或者，如图1OC所示，也可以将生成成为从检测部30获得的信号的反相位的驱动信号Yfd并将其输入到第3驱动部42的控制部52设置于致动器41。
[0062]在从检测部30获得的可动框25的位移信息Yfm由数式(4)来表示的情况下，为了抵消该变动而生成成为由数式(5)表示的反相位的驱动信号Yfd，并输入到设置在可动框25上的第3驱动部42。
[0063]Yfm = Csin (ω t+ δ f) (4)
[0064]Yfd = -Dsin (ω t+ δ f)(5)
[0065]此外，通过形成对输入信号的振幅D进行调整使得位移信息Yfm的振幅C极其接近O的反馈电路，来抵消可动框25的变形，如图1OB所示，能够使可动框25与固定框22的相位状态固定。
[0066]如上，对向第3驱动部42输入的信号进行控制使得位移信息Yfm的振幅C极其接近0，能够获得可动部28的准确的位移信息。通过根据该信息来控制致动器41，即使在与影像信号等同步的情况下，也能够不产生相位偏移地显示高清的影像。
[0067]此外，如图9所示，第3驱动部42优选分别设置在可动框25的与X轴23平行的2条边上，并且分别以Y轴26为中心进行分割而对称地设置。
[0068]第3驱动部42的分割方法可以为将压电体以及下部电极设为共通且仅对上部电极进行分割的方法、将第3驱动部42自身分割为2份的方法等任意一种方法。通过将第3驱动部42设置为这种构成，能够向一对驱动片50输入反相位的驱动信号，因此能够以抵消可动框25的位移的方式进行驱动。因此，能够进一步降低可动框25的变动。另外，第3驱动部42的对称轴可以取代上述的Y轴26而使用将可动框25的与X轴23平行的一对边的中心连接的轴。另外，即使仅在可动框25的与X轴23平行的一条边上设置第3驱动部42也能够发挥本实施方式的效果。但是优选在与X轴23平行的2条边上设置第3驱动部42。
[0069]接着，参照图11对第3驱动部的不同的构成进行说明。图11是本实施方式中的其他致动器的可动框25的周边的放大俯视图。
[0070]在图9所示的构成中，在与X轴23平行的可动框25的边上设置有第3驱动部42。相对于此，在图11所示的构成中，从与X轴23平行的可动框25的边上跨过与Y轴26平行的可动框25的边上设置有第3驱动部43，并且以Y轴26为中心进行分割而配置。
[0071]第3驱动部43的驱动方法，与图9所示的设置在可动框25的X轴23方向的边上的第3驱动部42同样。S卩，对构成第3驱动部43的一对驱动片53向反相位进行驱动，以抵消可动框25的驱动。由此，能够进一步降低可动框25的变动并能够使可动框25与固定框22的相位状态固定。因此，能够准确地掌握可动部28的位移信息。此外，通过这种构成，能够使第3驱动部43的输出强度大于图9所示的第3驱动部42的输出强度。因此，能够容易地抑制可动框25的振动。另外如图11所示，优选进一步将一对驱动片53以X轴23为中心对称地配置于可动框25。
[0072]另外，虽然没有特别进行图示，但第3驱动部43也可以采用设置在可动框25之上的整体上，并且以Y轴26为中心进行了分割的构成。
[0073]另外，虽然在实施方式1、2中，将第I振动部24形成为迂回曲折状，但第I振动部24的形状不限定于迂回曲折形状。即使为扭力杆形状、音叉形状等迂回曲折形状以外的形状也发挥同样的效果。此外，虽然第I振动部24以及第2振动部27通过压电作用而被驱动，但除此以外，即使为静电驱动等驱动方法也发挥同样的效果。
[0074]工业实用性
[0075]通过将本发明的压电致动器用于显示装置，能够在屏幕上投影清晰的图像。因此，能够利用于小型投影机、头戴式显示器。此外，也可以作为红外线检测元件等来有效利用。
[0076]符号说明
[0077]21,41 致动器
[0078]22固定框
[0079]23X 轴
[0080]24第I振动部
[0081]25可动框
[0082]26Y 轴
[0083]27第2振动部
[0084]28可动部
[0085]29第2监控信号检测部(检测部)
[0086]30第I监控信号检测部(检测部)
[0087]31基板
[0088]32绝缘体
[0089]33第I驱动部
[0090]34下部电极
[0091]35压电体
[0092]36上部电极
[0093]37第2驱动部
[0094]42、43 第3驱动部
[0095]50、53 驱动片
[0096]51、52 控制部
【主权项】
1.一种致动器，具备: 固定框； 一对第I振动部，其与所述固定框的内侧对置，分别具有连接于所述固定框的内侧的第I端和第2端； 可动框，其连接于所述一对第I振动部的各自的所述第2端； 一对第2振动部，其与所述可动框的内侧对置，分别具有连接于所述可动框的内侧的第I端和第2端，并且在与所述一对第I振动部延伸的方向正交的方向上延伸； 可动部，其连接于所述一对第2振动部的各自的所述第2端；和第I监控信号检测部，其设置于所述可动框与所述一对第I振动部的连接部分，对所述可动框的位移进行检测。
2.根据权利要求1所述的致动器，其中， 所述第I监控信号检测部包含所述可动框与所述一对第I振动部的一方的边界。
3.根据权利要求1所述的致动器，其中， 还具备第2监控信号检测部，该第2监控信号检测部设置于所述一对第2振动部的每一个，对所述一对第2振动部的驱动状态进行检测。
4.根据权利要求3所述的致动器，其中， 还具备: 驱动部，其设置于所述一对第2振动部的每一个，对所述一对第2振动部的位移进行控制；和 控制部，其基于对从所述第I监控信号检测部获得的检测信号、和从所述第2监控信号检测部获得的检测信号进行了合成的合成信号，生成输入到所述驱动部的驱动信号。
5.根据权利要求1所述的致动器，其中， 还具备驱动部，该驱动部设置于所述可动框，对所述可动框的位移进行控制。
6.根据权利要求5所述的致动器，其中， 还具备控制部，该控制部生成成为从所述第I监控信号检测部获得的信号的反相位的驱动信号，并将该驱动信号输入到所述驱动部。
7.根据权利要求5所述的致动器，其中， 所述驱动部由一对驱动片构成，所述一对驱动片相对于所述第2振动部的转动轴对称地配置。
8.根据权利要求1所述的致动器，其中， 所述一对第I振动部形成为迂回曲折形状。
【专利摘要】致动器具有：固定框；一对第1振动部；可动框；一对第2振动部；可动部；和第1监控信号检测部。第1振动部分别与固定框的内侧对置，具有连接于固定框的内侧的第1端和连接于可动框的外侧的第2端。第2振动部分别与可动框的内侧对置，具有连接于可动框的内侧的第1端和连接于可动部的第2端。第2振动部在与第1振动部延伸的方向正交的方向上延伸。第1监控信号检测部设置于可动框与第1振动部的连接部分，对可动框的位移进行检测。
【IPC分类】G02B26-10
【公开号】CN104755992
【申请号】CN201380056768
【发明人】堀江寿彰, 中园晋辅, 平冈聪一郎, 小牧一树, 黑塚章, 山本雄大, 小林丈博
【申请人】松下知识产权经营株式会社
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2013年10月1日
【公告号】US20150270477, WO2014068846A1