电机5分开；
[0034]步骤七:第一水平移动台架总成2通过其自身的Y向移动和第一 X向移动平台2-1的X向移动，将第二工件台3移动到左侧预处理工作位置A处；第二水平移动台架总成4通过其自身的Y向移动和第二 X向移动平台4-1的X向移动，将第一工件台I移动到右侧曝光工作位置B处；
[0035]步骤八:当预处理工作和曝光工作完成后，第一水平移动台架总成2带动其上的第二工件台3移动，并使第一 X向移动平台2-1移动到左侧换卡位置C处，第二水平移动台架总成4带动其上的第一工件台I移动，并使第二 X向移动平台4-1移动到右侧换卡位置D处；
[0036]步骤九:公转电机5上的第四抓卡机构5-2抓卡住第二工件台3 ;公转电机5上的第三抓卡机构5-1抓卡住第一工件台I ;然后第一 X向移动平台2-1上的第一抓卡机构2-2解卡，使第二工件台3与第一 X向移动平台2-1分开；第二 X向移动平台4-1上的第二抓卡机构4-2解卡，使第一工件台I与第二 X向移动平台4-1分开；
[0037]步骤十:第一水平移动台架总成2向左侧移动一段距离，第二水平移动台架总成4向右侧移动一段距离；然后公转电机5带动第一工件台I和第二工件台3顺时针旋转180度；
[0038]步骤^^一:使第一 X向移动平台2-1移动到左侧换卡位置C处，使第二 X向移动平台4-1移动到右侧换卡位置D处；
[0039]步骤十二:第一 X向移动平台2-1上的第一抓卡机构2-2抓卡住第一工件台I ;然后公转电机5上的第三抓卡机构5-1解卡，使第一工件台I与公转电机5分开；第二 X向移动平台4-1上的第二抓卡机构4-2抓卡住第二工件台3 ;然后公转电机5上的第四抓卡机构5-2解卡，使第二工件台3与公转电机5分开；
[0040]步骤十三:第一水平移动台架总成2通过其自身的Y向移动和第一 X向移动平台
2-1的X向移动，将第一工件台I移动到左侧预处理工作位置A处；第二水平移动台架总成4通过其自身的Y向移动和第二 X向移动平台4-1的X向移动，将第二工件台3移动到右侧曝光工作位置B处；完成一个循环工作。
[0041]所述抓卡机构可采用专利号201410051748.4，专利名称为:双工件台宏微快速交接机构公开的技术方案实现；公转电机5在带动第一工件台I和第二工件台3顺/逆时针旋转180度时，可采用专利号为:201110377700.9，专利名称为:一种基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与装置公开的技术方案实现第一工件台I和第二工件台3不自转、相位不反转的技术目的。
[0042]工作原理:双工件台控制系统由VME工控机+多路运动控制卡+多路信号采集卡组成。VME工控机主板采用嵌入式主控CPU板，运行VxWorks操作系统。主控CPU板与运动控制卡通过VME总线进行通信，运动控制卡与信号采集卡通过VME自定义总线进行通讯。
[0043]运动控制卡的控制指令通过光纤口或串口发出，光纤口用于控制直线电机，串口用于控制公转电机或抓卡机构。串口、光纤口及VME接口由FPGA驱动，控制算法由DSP实现，DSP和FPGA之间通过EMIF进行通信。
[0044]在各运动控制卡的FPGA内设置两个双口 RAM，记为RAMl、RAM2。主控CPU板通过写各运动控制卡的RAMl为N (N = I?12)，来启动第N步换台操作；各运动控制卡通过写RAM2为N，来表示该运动控制卡已完成第N步换台操作；当主控CPU板检测到所有运动控制卡的RAM2值均为N时，启动下一步换台。
【主权项】
1.一种双工件台系统换台过程控制方法，其特征在于它的方法步骤为: 步骤一:第一水平移动台架总成(2)中的第一 X向移动平台(2-1)上的第一抓卡机构(2-2)抓卡住第一工件台(I)，第一水平移动台架总成(2)通过其自身的Y向移动和第一 X向移动平台(2-1)的X向移动，将第一工件台(I)移动到左侧预处理工作位置(A)处；第二水平移动台架总成(4)中的第二 X向移动平台(4-1)上的第二抓卡机构(4-2)抓卡住第二工件台(3)，第二水平移动台架总成(4)通过其自身的Y向移动和第二 X向移动平台(4-1)的X向移动，将第二工件台(3)移动到右侧曝光工作位置(B)处； 步骤二:当预处理工作和曝光工作完成后，第一水平移动台架总成(2)带动其上的第一工件台(I)移动，并使第一 X向移动平台(2-1)移动到左侧换卡位置(C)处，第二水平移动台架总成(4)带动其上的第二工件台(3)移动，并使第二 X向移动平台(4-1)移动到右侧换卡位置(D)处； 步骤三:公转电机(5)左侧上的第三抓卡机构(5-1)抓卡住第一工件台(I);公转电(5)右侧上的第四抓卡机构(5-2)抓卡住第二工件台(3);然后第一 X向移动平台(2-1)上的第一抓卡机构(2-2)解卡，使第一工件台(I)与第一 X向移动平台(2-1)分开；第二 X向移动平台(4-1)上的第二抓卡机构(4-2)解卡，使第二工件台(3)与第二 X向移动平台(4-1)分开； 步骤四:第一水平移动台架总成(2)向左侧移动一段距离，第二水平移动台架总成(4)向右侧移动一段距离；然后公转电机(5)带动第一工件台(I)和第二工件台(3)逆时针旋转180度； 步骤五:使第一 X向移动平台(2-1)移动到左侧换卡位置(C)处，使第二 X向移动平台(4-1)移动到右侧换卡位置(D)处； 步骤六:第二 X向移动平台(4-1)上的第二抓卡机构(4-2)抓卡住第一工件台(I);第一 X向移动平台(2-1)上的第一抓卡机构(2-2)抓卡住第二工件台(3);然后公转电机(5)上的第三抓卡机构(5-1)解卡，使第一工件台(I)与公转电机(5)分开；公转电机(5)上的第四抓卡机构(5-2)解卡，使第二工件台(3)与公转电机(5)分开； 步骤七:第一水平移动台架总成(2)通过其自身的Y向移动和第一X向移动平台(2-1)的X向移动，将第二工件台(3)移动到左侧预处理工作位置(A)处；第二水平移动台架总成(4)通过其自身的Y向移动和第二 X向移动平台(4-1)的X向移动，将第一工件台(I)移动到右侧曝光工作位置(B)处； 步骤八:当预处理工作和曝光工作完成后，第一水平移动台架总成(2)带动其上的第二工件台(3)移动，并使第一 X向移动平台(2-1)移动到左侧换卡位置(C)处，第二水平移动台架总成(4)带动其上的第一工件台(I)移动，并使第二 X向移动平台(4-1)移动到右侧换卡位置(D)处； 步骤九:公转电机(5)上的第四抓卡机构(5-2)抓卡住第二工件台(3);公转电机(5)上的第三抓卡机构(5-1)抓卡住第一工件台(I);然后第一 X向移动平台(2-1)上的第一抓卡机构(2-2)解卡，使第二工件台(3)与第一 X向移动平台(2-1)分开；第二 X向移动平台(4-1)上的第二抓卡机构(4-2)解卡，使第一工件台(I)与第二 X向移动平台(4-1)分开； 步骤十:第一水平移动台架总成(2)向左侧移动一段距离，第二水平移动台架总成(4)向右侧移动一段距离；然后公转电机(5)带动第一工件台(I)和第二工件台(3)顺时针旋转180度； 步骤i^一:使第一 X向移动平台(2-1)移动到左侧换卡位置(C)处，使第二 X向移动平台(4-1)移动到右侧换卡位置(D)处； 步骤十二:第一 X向移动平台(2-1)上的第一抓卡机构(2-2)抓卡住第一工件台(I)；然后公转电机(5)上的第三抓卡机构(5-1)解卡，使第一工件台(I)与公转电机(5)分开；第二 X向移动平台(4-1)上的第二抓卡机构(4-2)抓卡住第二工件台(3);然后公转电机(5)上的第四抓卡机构(5-2)解卡，使第二工件台(3)与公转电机(5)分开； 步骤十三:第一水平移动台架总成(2)通过其自身的Y向移动和第一 X向移动平台(2-1)的X向移动，将第一工件台(I)移动到左侧预处理工作位置(A)处；第二水平移动台架总成⑷通过其自身的Y向移动和第二 X向移动平台(4-1)的X向移动，将第二工件台(3)移动到右侧曝光工作位置(B)处；完成一个循环工作。
【专利摘要】一种双工件台系统换台过程控制方法，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤为：第一工件台移动到左侧预处理工作位置处；第二工件台移动到右侧曝光工作位置处；第一X向移动平台移动到左侧换卡位置处，第二X向移动平台移动到右侧换卡位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台逆时针旋转180度；第二工件台移动到左侧预处理工作位置处；第一工件台移动到右侧曝光工作位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台顺时针旋转180度。本发明方法采用回转换台方案，与直线换台方案相比，减少了换台过程中对台体的冲击，减少了换台时间，提高了工件台定位精度，对增加光刻机产率起到了至关重要的作用。
【IPC分类】G03F7/20
【公开号】CN104965394
【申请号】CN201510471721
【发明人】陈兴林, 张常江, 宋法质, 万勇利, 王一光, 刘洋, 何良辰, 董岳, 宋跃
【申请人】哈尔滨工业大学
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年8月4日