一种用于光刻直写系统的混合调焦装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及PCB印刷电路板行业中无掩膜光刻直写设备领域，具体提供了一种针对不同PCB板厚的焦面调节的装置。
【背景技术】
[0002]在无掩膜光刻直写系统中，光刻物镜的焦面调节直接影响着光刻产品的质量。通常光刻物镜的焦深范围较小，而印刷电路板的板厚差别通常远远超出焦深范围。目前光刻设备中的调焦模块多只在小范围内实现调焦功能，在板厚差距较大时需要选用不同垫板调整焦面。这样，在生产中对于不同规格板厚的印刷电路板需要进行多次更换垫板后调焦，降低了产能，直接影响生产效益。
【发明内容】
[0003]为解决上述技术问题，本发明提供了一种用于光刻直写系统的混合调焦装置，其包括固定调焦组件与连续调焦组件，曝光光路依次穿过所述固定调焦组件与连续调焦组件完成调焦，所述固定调焦组件具有若干厚度不同的固定厚度区域，所述连续调焦组件的厚度可线性变化，所述固定调焦组件可改变所述曝光光路穿过的固定厚度区域，所述连续调焦组件可改变所述曝光光路穿过位置的厚度。
[0004]较佳地，所述固定调焦组件包括具有多个不同固定厚度的梯形平板玻璃，所述梯形平板玻璃通过左右位移完成曝光光路穿过位置的厚度选择。
[0005]较佳地，所述连续调焦组件包括两块楔角相同的楔形棱镜，所述两楔形棱镜的斜边相互平行，所述两楔形棱镜沿斜边平行方向位移完成曝光光路穿过位置的厚度改变。
[0006]较佳地，所述两楔形棱镜中的一个位置固定，位移另一个完成曝光光路穿过位置的厚度改变。
[0007]较佳地，所述梯形平板玻璃与楔形棱镜通过驱动装置完成位移。
[0008]本发明具有以下有益效果:
[0009]本发明利用了固定调焦组和连续调焦组各自的特点，固定调焦组在选用不同厚度的玻璃区域时可以在大范围内固定地改变调焦量，而连续调焦组可以在对应固定调焦组某一玻璃厚度的情况下实现连续调焦，两者混合使用后可以实现大范围连续调焦，设计合理，调焦方便快捷。
[0010]当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
【附图说明】
[0011]为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1为本发明实施例提供的用于光刻直写系统的混合调焦装置结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
[0014]如图1所示，本发明实施例提供了一种用于光刻直写系统的混合调焦装置，其包括固定调焦组件与连续调焦组件，曝光光路依次穿过所述固定调焦组件与连续调焦组件完成调焦，所述固定调焦组件具有若干厚度不同的固定厚度区域，所述连续调焦组件的厚度可线性变化，所述固定调焦组件可改变所述曝光光路穿过的固定厚度区域，所述连续调焦组件可改变所述曝光光路穿过位置的厚度。
[0015]所述固定调焦组件包括具有多个不同固定厚度的梯形平板玻璃1，梯形平板玻璃I通过左右位移完成曝光光路穿过位置的厚度选择。
[0016]所述连续调焦组件包括两块楔角相同的楔形棱镜，分别为上楔形棱镜2与下楔形棱镜3，，两楔形棱镜的斜边相互平行，两楔形棱镜沿斜边平行方向位移完成曝光光路穿过位置的厚度改变。
[0017]本实施例中所述两楔形棱镜中的一个位置固定，位移另一个完成曝光光路穿过位置的厚度改变。本实施例在调焦过程中固定上楔形棱镜2不动，让下楔形棱镜3沿左侧箭头所示方向沿斜面平行运动，则连续调焦组沿光轴方向的玻璃总厚度会随之变化，焦面也会相应沿光轴方向连续移动，实现连续调焦。
[0018]本实施例在实际调焦时，根据光刻产品的厚度移动梯形平板玻璃1，选择固定调焦组中合适的玻璃厚度区域，然后移动下楔形棱镜3，实现大范围调焦。梯形平板玻璃I与楔形棱镜3通过驱动装置完成位移。
[0019]本发明利用了固定调焦组和连续调焦组各自的特点，固定调焦组在选用不同厚度的玻璃区域时可以在大范围内固定地改变调焦量，而连续调焦组可以在对应固定调焦组某一玻璃厚度的情况下实现连续调焦，两者混合使用后可以实现大范围连续调焦，设计合理，调焦方便快捷。
[0020]以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的【具体实施方式】。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
【主权项】
1.一种用于光刻直写系统的混合调焦装置，其特征在于，包括固定调焦组件与连续调焦组件，曝光光路依次穿过所述固定调焦组件与连续调焦组件完成调焦，所述固定调焦组件具有若干厚度不同的固定厚度区域，所述连续调焦组件的厚度可线性变化，所述固定调焦组件可改变所述曝光光路穿过的固定厚度区域，所述连续调焦组件可改变所述曝光光路穿过位置的厚度。2.如权利要求1所述的用于光刻直写系统的混合调焦装置，其特征在于，所述固定调焦组件包括具有多个不同固定厚度的梯形平板玻璃，所述梯形平板玻璃通过左右位移完成曝光光路穿过位置的厚度选择。3.如权利要求1所述的用于光刻直写系统的混合调焦装置，其特征在于，所述连续调焦组件包括两块楔角相同的楔形棱镜，所述两楔形棱镜的斜边相互平行，所述两楔形棱镜沿斜边平行方向位移完成曝光光路穿过位置的厚度改变。4.如权利要求3所述的用于光刻直写系统的混合调焦装置，其特征在于，所述两楔形棱镜中的一个位置固定，位移另一个完成曝光光路穿过位置的厚度改变。5.如权利要求2-4任一项所述的用于光刻直写系统的混合调焦装置，其特征在于，所述梯形平板玻璃与楔形棱镜通过驱动装置完成位移。
【专利摘要】一种用于光刻直写系统的混合调焦装置，其包括固定调焦组件与连续调焦组件，曝光光路依次穿过所述固定调焦组件与连续调焦组件完成调焦，所述固定调焦组件具有若干厚度不同的固定厚度区域，所述连续调焦组件的厚度可线性变化，所述固定调焦组件可改变所述曝光光路穿过的固定厚度区域，所述连续调焦组件可改变所述曝光光路穿过位置的厚度。本发明利用了固定调焦组和连续调焦组各自的特点，固定调焦组在选用不同厚度的玻璃区域时可以在大范围内固定地改变调焦量，而连续调焦组可以在对应固定调焦组某一玻璃厚度的情况下实现连续调焦，两者混合使用后可以实现大范围连续调焦，设计合理，调焦方便快捷。
【IPC分类】G03F7/207
【公开号】CN104965395
【申请号】CN201510434693
【发明人】张磊, 王晓光
【申请人】合肥芯硕半导体有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年7月21日