光罩检查机和光罩检查方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光罩检查技术领域，尤其涉及一种光罩检查机和一种光罩检查方法。
【背景技术】
[0002]光罩检查机，英文名Mask Cleaner，该设备可以夹持光罩，用强光灯检查光罩上的微粒(Particle)，同时，用气枪进行清洁，防止微粒存在造成光罩损伤(Mask Defect)。
[0003]因放置光罩检查机的房间面积有限，大多放置光罩存储柜，所以光罩检查机占地面积越小，放置光罩检查机的房间利用率越高；同时，光罩正面和背面都需要进行微粒清洁，则要求设备能力清洁范围越大越好；此外，生产条件对光罩清洁度及品质要求非常高，不可出现任何擦痕和损伤，否则该光罩将无法使用，会影响整个工厂的生产，该限制条件则要求设备方便操作，降低人员误碰触光罩的风险。
[0004]目前业内传统的光罩检查机大致有两类:一类承载光罩直上直下式，该类设备占地面积小，放置光罩检查机的房间利用率高，但该类设备仅能在水平方向检查光罩，清洁范围有限，且操作人员容易碰触到光罩，损伤光罩风险大；另一类光罩检查机带有翻转机构，可近360度翻转，人员操作方便，清洁范围广，但需设计专门的过渡小车及导轨，光罩从推车转移到过渡小车、过渡小车通过导轨运行到翻转机构下方，过渡小车将光罩上移到邻近翻转机构的位置，再与翻转机构进行光罩交换，设备占地面积较大，放置光罩检查机的房间利用率变低，且安装光罩和卸载光罩的时间都较长，增加了光罩清理工序的耗时。
【发明内容】
[0005]本发明所要解决的技术问题在于提供一种占地面积小、清洁范围大的光罩检查机和光罩检查方法。
[0006]为了实现上述目的，本发明实施方式采用如下技术方案:
[0007]—方面，提供一种光罩检查机，所述光罩检查机包括机架、翻转机构、承载机构和升降轨，所述机架包括第一位置和第二位置，所述翻转机构转动连接在所述机架之所述第一位置处，所述升降轨固定于所述机架，且所述升降轨从所述第一位置延伸至所述第二位置，所述承载机构滑动连接于所述升降轨，所述承载机构通过所述升降轨在所述第一位置与所述第二位置之间移动。
[0008]优选的，所述机架包括彼此相对间隔设立的两个支架，每个所述支架之面对另一个所述支架的表面为所述机架的安装面，所述升降轨包括至少一对分别固定在所述两个安装面上的轨道。
[0009]优选的，所述翻转机构包括翻转框及若干个光罩夹持件，所述若干个光罩夹持件均匀分布在所述翻转框四周，所述翻转框转动连接在所述机架之所述两个支架之间。
[0010]优选的，所述翻转框上邻近所述两个支架的两个侧面为固定面，每个所述固定面的中部均设有凸出的旋转轴，每个所述支架的上部均设有凹部，每个所述旋转轴分别插入对应的所述凹部且相对于所述凹部转动。
[0011]优选的，所述翻转框上邻近所述两个支架之所述安装面的两个侧面为固定面，每个所述固定面的中部均设有凹部，每个所述支架的上部均设有旋转轴，每个所述凹部分别套设在对应的所述旋转轴外且相对于所述旋转轴转动。
[0012]优选的，所述承载机构包括承载部、定位部和移动部，所述承载部上表面为水平的承载平面，所述定位部设置在所述承载平面上，所述移动部设置在所述承载部靠近所述支架的所述安装面的侧面上，所述侧面垂直于所述承载平面，所述移动部连接所述升降轨且沿所述升降轨在所述第一位置与所述第二位置之间移动。
[0013]优选的，所述承载部包括分别连接在两个所述支架上的两个子承载部，所有所述子承载部的上表面公共构成所述承载部之所述承载平面。
[0014]优选的，所述承载机构还包括驱动装置、定位传感装置和控制器，所述驱动装置驱动所述承载机构通过所述升降轨在所述第一位置与所述第二位置之间移动，所述定位传感装置检测所述承载机构位置并将信号反馈给所述控制器，所述控制器处理所述信号并控制所述驱动装置从而控制承载机构的停留位置。
[0015]优选的，所述第二位置位于所述第一位置正下方。
[0016]另一方面，还提供一种光罩检查方法，采用如上任一项所述的光罩检查机，检查步骤如下:
[0017]放置光罩至所述承载机构；
[0018]所述承载机构沿所述升降轨从所述第二位置移动至所述第一位置，安装所述光罩至所述翻转机构上，所述承载机构沿所述升降轨从所述第一位置移动至所述第二位置；
[0019]转动所述翻转机构，检查所述光罩；
[0020]检查完成后，所述承载机构沿所述升降轨从所述第二位置移动至所述第一位置，放置所述光罩至所述承载机构上，所述承载机构沿所述升降轨从所述第一位置移动至所述第二位置；
[0021]取出所述光罩。
[0022]相较于现有技术，本发明具有以下有益效果:
[0023]本发明所提供光罩检查机不需要借助专门设计的过渡小车及导轨即可以实现光罩盒子在推车与翻转机构之间的交换动作，节约了光罩检查机的占地面积，提高放置光罩检查机的房间的利用效率。
[0024]同时本发明所提供光罩检查方法减少了将过渡小车运行到翻转机构下方的步骤，节约了光罩检查工序的时间，提高了光罩检查清洗效率。
【附图说明】
[0025]为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。
[0026]图1是本发明实施例提供一种光罩检查机的结构示意图。
【具体实施方式】
[0027]下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0028]请参阅图1，本发明的实施例提供一种光罩检查机，光罩检查机主要包括机架1、翻转机构2、承载机构3和升降轨4，机架I包括第一位置和第二位置，翻转机构2转动连接在机架I的第一位置处，升降轨4固定在机架I上，且升降轨4从所述第一位置延伸至所述第二位置，承载机构3滑动连接于升降轨4，承载机构3通过升降轨4在所述第一位置与所述第二位置之间移动。在本实施例中，翻转机构2用于夹持光罩，且可以相对机架I实现360°旋转，人员操作方便，清洁范围广，降低了光罩损伤风险。同时，安装光罩至翻转机构2时，推车可以直接与承载机构3交换光罩盒子(光罩盒子内放置有光罩)，而后承载机构3承载光罩盒子沿升降轨4从第二位置移动到第一位置，承载机构3与翻转机构2进行光罩的交换；反之即为从翻转机构2上卸载光罩的动作。相较于现有技术中光罩检查机，本发明实施例不需要借助专门设计的过渡小车及导轨即可以实现光罩盒子在推车与翻转机构之间的交换动作，节约了光罩检查机的占地面积，提高放置光罩检查机的房间的利用效率。
[0029]如图1所示，在本实施例中，所述机架I包括间隔一定距离彼此相对设立的两个支架，所述的翻转机构2、承载机构3和升降轨4设置在所述两个支架之间。其中，每个所述支架的面对另一个所述支架的表面为所述机架I的安装面，升降轨4包括至少两对分别固定在两个安装面上的轨道，也即在每一个安装面上的所述的轨道至少包括两条。如此，承载机构3可以平稳地沿升降轨4上下移动。可以理解的，为节约所述支架的占地面积而减小所述安装面面积时，也可以仅设置一对分别固定在两个安装面上的轨道。
[0030]作为本发明的一种优选实施例，翻转机构2包括翻转框21及若干个光罩夹持件22，若干个光罩夹持件22均匀分布在翻转框21四周，翻转框21转动连接机架。作为一种优选实施例，翻转框21可以选用如图1所示的长方形的中间漏空框架，如此可减轻翻转机构2的重量，使翻转机构2在机架I上的翻转动作更加轻盈，人机交互性好，并且可以同时检查光罩的正反面。在本实施例中，翻转框21的四条边上均设置有光罩夹持件22，能更稳定的夹持光罩，翻转框21每一条边上间隔设置有至少两个光罩夹持件22。光罩夹持件22可以实现对光罩的夹紧和松开动作。
[0031]进一步的，所述翻转框21上邻近所述两个支架的两个侧面为固定面，每个所述固定面的中部均设有凸出的旋转轴23，每个所述支架的所述第一位置处设有通孔，每个所述旋转轴23分别插入对应的所述通孔且相对于所述通孔转动。