>[0032]可以理解的，所述通孔与所述旋转轴23配合形成旋转结构以实现翻转机构2的360旋转，因此也可以将所述通孔结构设置在所述翻转框21固定面的中部、所述旋转轴23设置在所述支架的第一位置处，所述翻转机构2通过所述翻转框21上通孔套接在所述旋转轴23实现转动连接。当然，上述通孔也由凹槽或其他具有凹部的结构替代，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
[0033]进一步的，本发明实施例中承载机构3包括承载部31、定位部32和移动部33，承载部31上表面为水平的承载平面，定位部32设置在所述承载平面上，移动部33设置在承载部31靠近所述支架的所述安装面的侧面上，所述侧面垂直于所述承载平面，移动部33连接升降轨4且沿升降轨4上下移动。承载部31用于承载光罩盒子，定位部32用于实现光罩盒子在所述承载平面上的定位和固定，移动部33为承载机构3与升降轨4的运动连接结构。
[0034]作为本发明的一种优选实施例，可以在移动部33与升降轨4配合面上设置相互啮合的齿轮结构，避免承载机构3在移动过程中的滑落问题。进一步的，可以在升降轨4上设置卡位结构，所述卡位结构设置在承载机构3的初始停留位置和光罩交换停留位置，保证承载机构3在使用过程中的稳定停留。
[0035]作为本发明的另一种优选实施例，承载机构3还包括驱动装置、定位传感装置和控制器，所述驱动装置为承载机构3的动力装置，驱动承载机构3沿升降轨4在所述第一位置与所述第二位置之间移动，所述定位传感装置检测承载机构3位置，并将信号反馈给所述控制器，所述控制器处理所述信号并控制所述驱动装置，从而控制承载机构停留位置。
[0036]进一步的，如图1所示，本发明实施例中所述的光罩检查机的所述第二位置位于所述第一位置的正下方。可以理解的，也可以依据设备的不同需求调整所述第一位置与所述第二位置的相对位置关系，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
[0037]本发明实施例还提供一种光罩检查方法，采用上述实施例所述的光罩检查机进行光罩检查，检查步骤如下:
[0038]放置光罩至承载机构3 ;
[0039]承载机构3沿升降轨4从所述第二位置移动至所述第一位置，安装光罩至翻转机构2上，承载机构3沿升降轨4从所述第一位置移动至所述第二位置；
[0040]转动翻转机构2，检查光罩；
[0041]检查完成后，承载机构3沿升降轨4从所述第二位置移动至所述第一位置，放置光罩至承载机构3上，承载机构3沿升降轨4从所述第一位置移动至所述第二位置；
[0042]取出光罩，完成光罩检查。
[0043]可以理解的，上述光罩检查方法减少了现有技术中过渡小车运行到翻转机构2下方的步骤，节约了光罩检查工序的时间，提高了光罩检查清洗效率。
[0044]作为本发明的一种优选实施例，光罩检查方法更具体的步骤如下:
[0045]将内部放有光罩的光罩盒子放置在承载机构3承载部31上，定位部32对光罩盒子进行定位和固定；
[0046]驱动装置驱动承载机构3沿升降轨4从所述第二位置移动至所述第一位置，定位传感装置检测驱动承载机构3位置并传送给控制器；定位传感装置检测驱动承载机构3处于光罩交换停留位置时，控制器控制驱动装置停止承载机构3的从所述第二位置移动至所述第一位置动作；
[0047]将光罩安装到翻转机构2上，光罩夹持件夹紧光罩；
[0048]驱动装置驱动承载机构3沿升降轨4从所述第一位置移动至所述第二位置，定位传感装置检测驱动承载机构3位置并传送给控制器；定位传感装置检测驱动承载机构3处于初始停留位置时，控制器控制驱动装置停止承载机构3的从所述第一位置移动至所述第二位置动作；
[0049]对光罩进行检查清洗，可控制翻转机构2转动停留在不同角度以便检查；
[0050]检查清洗后，光罩取出步骤同上述步骤相反。
[0051]可以理解的，上述光罩检查方法减少了现有技术中过渡小车运行到翻转机构2下方的步骤，节约了光罩检查工序的时间，提高了光罩检查清洗效率。
[0052]以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种光罩检查机，其特征在于，所述光罩检查机包括机架、翻转机构、承载机构和升降轨，所述机架包括第一位置和第二位置，所述翻转机构转动连接在所述机架之所述第一位置处，所述升降轨固定于所述机架，且所述升降轨从所述第一位置延伸至所述第二位置，所述承载机构滑动连接于所述升降轨，所述承载机构通过所述升降轨在所述第一位置与所述第二位置之间移动。2.如权利要求1所述的光罩检查机，其特征在于，所述机架包括彼此相对间隔设立的两个支架，每个所述支架之面对另一个所述支架的表面为所述机架的安装面，所述升降轨包括至少一对分别固定在所述两个安装面上的轨道。3.如权利要求2所述的光罩检查机，其特征在于，所述翻转机构包括翻转框及若干个光罩夹持件，所述若干个光罩夹持件均匀分布在所述翻转框四周，所述翻转框转动连接在所述机架之所述两个支架之间。4.如权利要求3所述的光罩检查机，其特征在于，所述翻转框上邻近所述两个支架的两个侧面为固定面，每个所述固定面的中部均设有凸出的旋转轴，每个所述支架的上部均设有凹部，每个所述旋转轴分别插入对应的所述凹部且相对于所述凹部转动。5.如权利要求3所述的光罩检查机，其特征在于，所述翻转框上邻近所述两个支架的两个侧面为固定面，每个所述固定面的中部均设有凹部，每个所述支架的上部均设有旋转轴，每个所述凹部分别套设在对应的所述旋转轴外且相对于所述旋转轴转动。6.如权利要求2所述的光罩检查机，其特征在于，所述承载机构包括承载部、定位部和移动部，所述承载部上表面为水平的承载平面，所述定位部设置在所述承载平面上，所述移动部设置在所述承载部靠近所述支架的所述安装面的侧面上，所述侧面垂直于所述承载平面，所述移动部连接所述升降轨且沿所述升降轨在所述第一位置与所述第二位置之间移动。7.如权利要求6所述的光罩检查机，其特征在于，所述承载部包括分别连接在两个所述支架上的两个子承载部，所有所述子承载部的上表面公共构成所述承载部之所述承载平面。8.如权利要求6所述的光罩检查机，其特征在于，所述承载机构还包括驱动装置、定位传感装置和控制器，所述驱动装置驱动所述承载机构通过所述升降轨在所述第一位置与所述第二位置之间移动，所述定位传感装置检测所述承载机构位置并将信号反馈给所述控制器，所述控制器处理所述信号并控制所述驱动装置从而控制承载机构的停留位置。9.如权利要求1-8任一项所述的光罩检查机，其特征在于，所述第二位置位于所述第一位置正下方。10.一种光罩检查方法，其特征在于，采用如权利要求1-9所述的光罩检查机，检查步骤如下: 放置光罩至所述承载机构； 所述承载机构沿所述升降轨从所述第二位置移动至所述第一位置，安装所述光罩至所述翻转机构上，所述承载机构沿所述升降轨从所述第一位置移动至所述第二位置； 转动所述翻转机构，检查所述光罩； 检查完成后，所述承载机构沿所述升降轨从所述第二位置移动至所述第一位置，放置所述光罩至所述承载机构上，所述承载机构沿所述升降轨从所述第一位置移动至所述第二位置；取出所述光罩。
【专利摘要】本发明公开了一种光罩检查机，所述光罩检查机包括机架、翻转机构、承载机构和升降轨，所述机架包括第一位置和第二位置，所述翻转机构转动连接在所述机架之所述第一位置处，所述升降轨固定于所述机架，且所述升降轨从所述第一位置延伸至所述第二位置，所述承载机构滑动连接于所述升降轨，所述承载机构通过所述升降轨在所述第一位置与所述第二位置之间移动。本发明所公开光罩检查机占地面积小且清洁范围大。本发明还公开了以一种光罩检查方法。
【IPC分类】G03F1/84, G01N21/94
【公开号】CN105093820
【申请号】CN201510556447
【发明人】张贺
【申请人】武汉华星光电技术有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年9月1日