光配向光罩的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及液晶配向技术领域，尤其涉及一种光配向光罩。
【背景技术】
[0002] 在液晶面板制造过程中，配向工艺对产品品质好坏有着重要影响。配向工艺主要 分为摩擦配向和非摩擦配向。摩擦配向法可以提供液晶分子较强的配向能力，但是在摩擦 的过程中，由于利用绒布接触式的摩擦，因此会产生静电和颗粒（particle)的污染，而这 些污染往往直接造成液晶元件的损坏。因此不论是学术界还是业界都在不断研究改进非摩 擦式的配向方式，除了可以避免静电和颗粒的污染，也可以比较容易控制液晶分子的配向 方式。利用非摩擦式的配向方式，可以根据一些特定的图形在遮罩来制作小面积的配向，进 而制作一些特别需求的液晶元件。其中最被大家熟知的非摩擦式配向方法为以线偏紫外光 去照射有感光剂的配向剂，我们称之为紫外光配向法，简称光配向。
[0003] 光配向利用线性偏极的紫外光照射在具有感光剂的高分子聚合物配向膜上，使得 高分子聚合物具有配向能力。其优点为可避免玻璃基板表面的污染、可以进行小面积的配 向、透过光罩可作图形的配向，利用入射光的角度与照射时间的长短，可以控制液晶单元的 参数，如预倾角、表面定向强度等。
[0004] 在现有光配向工艺中，包括UV2A配向工艺，UV2AOJltra Violet Vertical Alignment)技术是一种采用紫外线（UV = Ultra Violet)进行液晶配向的VA(Vertical Alignment，垂直配向）面板技术，其名称来源于紫外线UV与液晶面板VA模式的相乘。通 过导入UV 2A技术后，可以省去目前在VA模式液晶面板中用于控制液晶分子配向的狭缝隙 和突起，因此通过UV2A技术液晶面板的开口率、对比度和响应速度都能得到提高，并能大幅 削减生产程序。
[0005] 在UV2A配向工艺中，为达到广视角的显示效果，需要偏振态UV照射光以一定的倾 斜角度，对同一基板的单一子像素分区进行两个或更多次进行双向照射（先进行第一次单 向照射，然后旋转基板180°，再进行第二次单向照射，两次单向照射集合形成双向照射）， 以形成4Domain、8Domain的配向效果。目前采用半边遮挡光罩的曝光形式对UV光的利用 率低，保障制程工艺的效率较低。
【发明内容】
[0006] 本发明所要解决的技术问题在于提供一种可以同时提供双向的配向光的光配向 光罩。
[0007] 为了实现上述目的，本发明实施方式采用如下技术方案：
[0008] 提供一种光配向光罩，包括邻接交替设置的第一区和第二区，所述第一区包括相 互平行的第一面和第二面，当照射光从第一照射方向进入所述光配向光罩时，所述照射光 由所述第一面射入所述第一区且自所述第二面射出第一配向光，所述第二区射出第二配向 光，所述第一配向光的方向与所述第一照射方向一致，所述第二配向光的方向与所述第一 照射方向相对于所述第二面对称。
[0009] 优选的，所述第二区包括重复设置的多个棱镜单元，所述棱镜单元为三棱柱，所述 三棱柱的两个底面均邻接相邻的所述第一区设置，所述三棱柱的侧面包括首尾相连的入射 面、反射面和折射面，所述入射面垂直于所述第一照射方向设置，所述反射面上设置有反射 膜层，所述照射光由所述入射面射入所述棱镜单元，然后依次在所述折射面上被全反射、在 所述反射面上被反射，最后由所述折射面射出所述第二配向光。
[0010] 优选的，所述第一照射方向与所述第二面之间形成α夹角，所述折射面与所述第 二面之间形成Θ夹角，所述反射面与所述第二面之间形成γ+θ夹角、且与所述折射面之 间形成γ夹角，所述棱镜单元采用折射率为η的材质，所述α、所述Θ、所述γ、所述 η满 足以下关系式：
[0013] 优选的，所述α、所述Θ、所述γ满足以下关系式：γ + θ = α。
[0014] 优选的，所述Θ的大小在〇°至2°之间。
[0015] 优选的，所述第一区在垂直于所述第二面的方向上的厚度为a，所述第二区在垂直 于所述第二面的方向上的厚度为b，所述b小于等于所述a。
[0016] 优选的，当所述α、所述Θ、所述γ满足以下关系式：γ + θ彡α时，相邻的两个 所述棱镜单元之间相接触。
[0017] 优选的，当所述α、所述Θ、所述γ满足以下关系式：γ+θ > α时，相邻的两个 所述棱镜单元之间间隔距离S设置，且所述距离S满足以下关系式：
[0019] 优选的，所述棱镜单元的所述反射膜层为金属镀膜层。
[0020] 优选的，所述第一区的所述第一面背离所述第二面的一侧覆盖有透明膜。
[0021] 相较于现有技术，本发明具有以下有益效果：
[0022] 当本发明所述光配向光罩应用在基板液晶的配向工艺中时，所述光配向光罩平行 地设置在所述基板上方，在曝光工序中，所述光配向光罩可以为所述基板同时提供从两个 方向射入且入射角相等的配向光，提高了单次曝光时对光源的利用率，同时减少了整个所 述基板的曝光工序步骤、制程效率高。进一步的，当所述照射光为线偏振光、且偏振方向平 行或垂直于所述照射光所在的垂直于所述第一面的平面时，由所述光配向光罩射出的所述 第一配向光和所述第二配向光的偏振方向与所述照射光的偏振方向一致，也即可以通过控 制所述照射光的偏振情况来控制所述第一配向光和所述第二配向光的偏振情况，进一步为 高质量液晶配向制程提供了保障。
【附图说明】
[0023] 为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作 简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普 通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。
[0024] 图1是本发明实施例提供的一种光配向光罩的俯视结构示意图。
[0025] 图2是图1中A-A处的剖视图。
[0026] 图3是本发明实施例提供的一种光配向光罩的棱镜单元的结构示意图。
[0027] 图4是本发明实施例提供的一种光配向光罩的第二区结构的部分示意图。
[0028] 图5是本发明实施例提供的一种光配向光罩的另一种第二区结构的部分示意图。
【具体实施方式】
[0029] 下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清 楚、完整地描述。
[0030] 请参阅图1和图2,图1是本发明实施例提供的一种光配向光罩的俯视结构示意 图（图1中虚线箭头用于示意所述光配向光罩提供的配向光方向），图2是本发明实施例提 供的一种光配向光罩的正视结构示意图（图2中实线箭头用于示意照射光方向和配向光方 向）。本发明实施例提供一种光配向光罩，包括邻接交替设置的第一区1和第二区2,所述 第一区1包括相互平行的第一面11和第二面12,当照射光C从第一照射方向进入所述光配 向光罩时，所述照射光C由所述第一面11射入所述第一区1且自所述第二面12射出第一 配向光A，所述第二区2射出第二配向光B，所述第一配向光A的方向与所述第一照射方向 一致，所述第二配向光B的方向与所述第一照射方向相对于所述第二面12对称。
[0031] 应当理解的是，本实施例中所述"邻接交替设置"是指相邻的所述第一区1与所 述第二区2之间无缝隙，所述照射光必然经过所述第一区1或者所述第二区2后才会照射 到基板3上。本实施例中所述"所述第二配向光B的方向与所述第一照射方向相对于所述 第二面