一种节约能耗的大台面曝光机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及曝光机，特别是一种节约能耗的大台面曝光机。
【背景技术】
[0002]曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业，是在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，它常用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。
[0003]在电路板板加工过程中，需要对电路板进行曝光，而目前最常用的曝光方式就是采用曝光机曝光，但是现有的曝光机曝光的尺寸较小，不适用于大尺寸的电路板曝光，若将现有的曝光机对大尺寸的电路板进行曝光，其曝光的效果极差，电路板的曝光面曝光不均匀，特别是电路板边缘地带的曝光效果极差，而且由于曝光室内的温度在光照的作用下，会持续升温，曝光灯极易损坏，从而影响电路板的曝光质量。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种能耗少、适用于大尺寸电路板曝光和曝光效果好的节约能耗的大台面曝光机。
[0005]本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种节约能耗的大台面曝光机，它包括放板台、曝光室、输送导轨、曝光平台和曝光灯，所述的放板台的台面与曝光室的入口相对应，所述的曝光平台包括透光平台座和翻转盖，所述的翻转盖可转动打开或合上的安装在透光平台座上，所述的翻转盖内设置有一层挡光膜，所述的曝光室内水平设置有一伸缩气缸，伸缩气缸的活塞杆与曝光平台连接，所述的曝光室内设置有一灯光罩，所述的曝光灯安装在灯光罩内，所述的灯光罩下方设置有一风机，灯光罩内设置有一温度传感器，温度传感器与风机电性连接，所述的曝光室的侧壁上开设有栅格板，栅格板上端的水平高度低于灯光罩上端的水平高度。
[0006]所述的曝光室上方设置有一控制室，控制室内的控制元件控制伸缩气缸。
[0007]所述的挡光膜为黑色挡光膜。
[0008]所述的灯光罩上方开口且其截面为弧形。
[0009]所述的曝光灯为多个，且并排的的设置在灯光罩内。
[0010]本实用新型具有以下优点:本实用新型的节约能耗的大台面曝光机，设置有灯光罩，灯光罩将曝光灯的光源进行反射，放射后的光源形成平行光对电路板的曝光面进行曝光，灯光罩降低了光源的流失，在相同曝光强度下，可以降低曝光灯数量，节约能耗；灯光罩将曝光灯的光源放射，保证了光源直射电路板的曝光面，实现电路板的全方位曝光，提高了电路板的曝光效果；通过灯光罩反射光源，使曝光机适用于大尺寸的电路板曝光，且曝光效果极好；设置有风机和温度传感器，可随时监测曝光室内温度，风机工作，可降低曝光室内的温度，避免曝光灯长期处于高温状态下，从而延长了曝光灯的使用寿命。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构示意图；
[0012]图2为本实用新型的剖视示意图；
[0013]图3为曝光平台张开示意图；
[0014]图4为翻转盖俯视示意图；
[0015]图中，1-放板台，2-曝光室，3-输送导轨，4-曝光平台，5-曝光灯，6_透光平台座，7-翻转盖，8-挡光膜，9-伸缩气缸，10-灯光罩，11-控制室，12-风机，13-温度传感器，14-栅格板。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，本实用新型的保护范围不局限于以下所述:
[0017]如图1所示，一种节约能耗的大台面曝光机，它包括放板台1、曝光室2、输送导轨
3、曝光平台4和曝光灯5，所述的放板台1的台面与曝光室2的入口相对应，如图3所示，所述的曝光平台4包括透光平台座6和翻转盖7，所述的翻转盖7可转动打开或合上的安装在透光平台座6上，在本实施例中，为保证翻转盖7不漏光，增加电路板的曝光效果，所述的翻转盖7内设置有一层挡光膜8，如图4所示，为进一步地保证翻转盖7不漏光，挡光膜8选用黑色挡光膜，如图2所示，所述的曝光室2内水平设置有一伸缩气缸9，伸缩气缸9的活塞杆与曝光平台4连接，通过伸缩气缸9的活塞杆的来回移动，实现曝光平台4的来回移动，所述的曝光室2内设置有一灯光罩10，所述的曝光灯5安装在灯光罩10内，所述的灯光罩10下方设置有一风机12，灯光罩10内设置有一温度传感器13，温度传感器13与风机12电性连接，温度传感器13检测到的温度过高时，则将信号传递给风机12，风机12工作，加速曝光室2内空气与外界空气的交换，从而降低曝光室2的温度，避免了曝光灯5长期处于高温状态下，延长了曝光灯5的使用寿命，所述的曝光室2的侧壁上开设有栅格板14，栅格板14上端的水平高度低于灯光罩10上端的水平高度，栅格板14主要用于内外空气交换的通道，其上端的水平高度低于灯光罩10上端的水平高度，主要是避免漏光，影响曝光效率，在本实施例中，所述的灯光罩10上方开口且其截面为弧形，曝光灯5为多个，且并排的的设置在灯光罩10内，曝光灯5发出的光源经过灯光罩10的弧形面放射形成平行光，且对电路板进行曝光，降低了光源的流失，增加了光源的强度，在相同曝光强度时，可以节约曝光灯5的数量，降低能耗。通过灯光罩10的反射，保证了光源直射电路板的曝光面，解决了大尺寸电路板曝光不均匀，电路板四周曝光质量不高的问题。
[0018]在本实施例中为了提高曝光机的自动化，所述的曝光室2上方设置有一控制室11，控制室11内的控制元件控制伸缩气缸9。
[0019]本实用新型的工作过程如下:操作人员手动打开曝光平台4，将电路板放置在透光平台座6的固定区域内，然后合上曝光平台4，点动启动按钮，伸缩气缸9运动，将曝光平台4移动到曝光区域，然后伸缩气缸9停止工作，曝光灯5打开，曝光灯5的光源在灯光罩10的反射作用下，降低了光源的流失，增加了光源的强度，保证了光源直射电路板的曝光面，实现电路板的全方位曝光，提高了电路板的曝光效果，曝光完成后，为降低能耗，曝光灯5关闭，伸缩气缸9运动，将曝光平台4移出曝光室2，取出曝光好的电路板，温度传感器13检测到的温度过高时，则将信号传递给风机12，风机12工作，加速曝光室2内空气与外界空气的交换，从而降低曝光室2的温度，避免了曝光灯5长期处于高温状态下，延长了曝光灯5的使用寿命。
【主权项】
1.一种节约能耗的大台面曝光机，其特征在于:它包括放板台(1)、曝光室(2)、输送导轨(3)、曝光平台(4)和曝光灯(5)，所述的放板台(1)的台面与曝光室(2)的入口相对应，所述的曝光平台(4)包括透光平台座(6)和翻转盖(7)，所述的翻转盖(7)可转动打开或合上的安装在透光平台座(6)上，所述的翻转盖(7)内设置有一层挡光膜(8)，所述的曝光室(2 )内水平设置有一伸缩气缸(9 )，伸缩气缸(9 )的活塞杆与曝光平台(4 )连接，所述的曝光室(2 )内设置有一灯光罩(10 )，所述的曝光灯(5)安装在灯光罩(10)内，所述的灯光罩(10 )下方设置有一风机(12 )，灯光罩(10 )内设置有一温度传感器(13)，温度传感器(13)与风机(12)电性连接，所述的曝光室(2)的侧壁上开设有栅格板(14)，栅格板(14)上端的水平高度低于灯光罩(10)上端的水平高度。2.根据权利要求1所述的一种节约能耗的大台面曝光机，其特征在于:所述的曝光室(2 )上方设置有一控制室(11)，控制室(11)内的控制元件控制伸缩气缸(9 )。3.根据权利要求1所述的一种节约能耗的大台面曝光机，其特征在于:所述的挡光膜(8)为黑色挡光膜。4.根据权利要求1所述的一种节约能耗的大台面曝光机，其特征在于:所述的灯光罩(10)上方开口且其截面为弧形。5.根据权利要求1所述的一种节约能耗的大台面曝光机，其特征在于:所述的曝光灯(5)为多个，且并排的的设置在灯光罩(10)内。
【专利摘要】本实用新型公开了一种节约能耗的大台面曝光机，它包括放板台（1）、曝光室（2）、输送导轨（3）、曝光平台（4）和曝光灯（5），曝光平台（4）包括透光平台座（6）和翻转盖（7），翻转盖（7）安装在透光平台座（6）上，翻转盖（7）内设置有层挡光膜（8），曝光室（2）内水平设置有伸缩气缸（9），伸缩气缸（9）的活塞杆与曝光平台（4）连接，曝光室（2）内设置有灯光罩（10），曝光灯（5）安装在灯光罩（10）内，灯光罩（10）下方设置有风机（12），灯光罩（10）内设置有温度传感器（13），温度传感器（13）与风机（12）电性连接。本实用新型的有益效果是：它具有结构简单、适用于大尺寸电路板曝光和曝光效果好的优点。
【IPC分类】G03F7/20
【公开号】CN204989747
【申请号】CN201520360221
【发明人】陈胜燕, 莫军
【申请人】遂宁威士凯科技有限公司
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2015年5月29日