等离子体管阵列型显示子模块以及显示装置的制作方法

专利名称：等离子体管阵列型显示子模块以及显示装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及使用平行配置有多个等离子体管的等离子体管阵列 的等离子体管阵列型显示子模块以及显示装置；进一步详细而言，涉
及即使在等离子体管阵列的背面侧的地址电极支承片存在不规则情 况时，也不会使等离子体管阵列发生任何故障而可以可靠地安装到子 模块框中的等离子体管阵列型显示子模块以及显示装置。
背景技术：
作为实现新一代的大画面显示装置的技术，开发了平行地配置有 在内部封入了放电气体的多个等离子体管的等离子体管阵列型显示 子模块。例如可以使用连接了多个lm见方的等离子体管阵列型显示 子模块的等离子体管阵列型显示系统模块来构筑几mx几m规模的大
画面显示装置。在连接了多个等离子体管阵列型显示子模块的形式的 显示装置中，无需如LCD、 PDP等那样处理大型的玻璃基板，且也 无需大规模的设备，可以以较少的成本提供画质均匀的显示装置。
一般情况下，可以以如下方式来构成大画面的等离子体管阵列型 显示装置。即，以等离子体管阵列与具有特定尺寸的被称为子模块框架的结构体一体化的方式制备等离子体管阵列型显示子模块。然后， 将多个等离子体管阵列型显示子模块彼此连接。此处，"等离子体管 阵列型显示子模块"是指，上述那样的包括等离子体管阵列的显示膜 部件，亦即，不包括驱动电路、电源电路等的显示面板的半成品。图 1是透视示意图，示出了现有的等离子体管阵列型显示子模块的等离
子体管阵列的结构。具体地，图l(a)是透视示意图，示出了等离子 体管阵列型显示子模块中的等离子体管阵列的结构，图1 (b)是透视 示意图，部分地示出了等离子体管阵列型显示子模块中的等离子体管 阵列的结构，图1 (c)是等离子体管阵列型显示系统模块的透视示意 图，其中等离子体管阵列型显示子模块彼此纵向地和横向地连接。
如图1 (a)所示，现有的等离子体管阵列型显示子模块30因包 括矩形画面的一部分而具有矩形形状，并配置有在内部封入了放电气 体的平行的多个等离子体管31、 31、...。等离子体管31是玻璃制的 放电细管，其直径虽然并无特别限定，但优选为约0.5~5mm。此处， 例如，以如下方式构成一平方米的等离子体管阵列型显示子模块30: 以多个玻璃细管为一组将1000个玻璃细管平行地配置，每个玻璃细 管的直径为lmm,长度为lm，其横截面为扁平的椭圆形。细管的横 截面的形状并无特别的限定，其横截面的例子也可以包括圆形的横截 面、扁平椭圆形的横截面、方形的横截面等。另外，在等离子体管31 中以规定的比例并以规定的压力填充了诸如氖、氙等的放电气体。
平行地配置的多个等离子体管31、 31、...被夹持于背面侧地址 电极支承片33与前面侧(显示面一侧)的显示电极支承片35之间， 其中，背面侧地址电极支承片33具有形成在该背面侧地址电极支承 片33上以分别与各个等离子体管31、 31、...的长度方向的下侧相接 触的多个地址电极32、 32、...，前面侧显示电极支承片35具有在与 等离子体管31的长度方向正交的方向上形成在该前面侧显示电极支 承片35上并跨过等离子体管31的上侧的多个显示电极34、 34、...。 此处，显示电极支承片35是柔性片，例如由聚碳酸酯膜、PET(聚 对苯二甲酸乙二醇酯)膜等制成。成在显示电极支承片 35的内面上，横跨等离子体管31、 31、...的上侧并与等离子体管31、 31、...相接触。多个相邻的显示电极34、 34构成显示电极对并作为X 电极和Y电极发挥功能。在X电极和Y电极之间的等离子体管31、 31、…内发生显示;^文电。除了条紋状以外，显示电极34、 34、...的图 案还可以是在本领域中公知的图案，例如网状、梯子状、梳齿状等。 另外，作为显示电极34所使用的材料，例如可以举出诸如ITO (氧 化铟锡)、Sn02等透明导电材料、诸如Ag、 Au、 Al、 Cu、以及Cr 等金属导电材料。
可以采用本领域公知的各种方法来形成显示电极34。例如，可 以使用诸如印刷法等的厚膜形成技术、或使用诸如物理淀积法或化学 淀积法的薄膜形成技术来形成显示电极34。作为厚膜形成技术，可以 举出丝网印刷法等。在薄膜形成技术中，作为物理淀积法，可以举出 蒸镀法、溅射法等；作为化学淀积法，可以举出热CVD法、光CVD 法、或等离子体CVD法等。
多个地址电极32、 32、…是在等离子体管阵列型显示子模块30 的背面侧，沿着等离子体管31、 31、...的长度方向，针对每个等离子 体管31形成的，在地址电极32与成对的显示电极34的交叉点处形 成发光单元(cell)。地址电极32可以使用本领域公知的各种材料和 方法来形成。
在上述结构中，如图1 (b)所示，每个等离子体管31都具有单 色的荧光体层36，以此方式，等离子体管阵列型显示子模块30实现 彩色显示。荧光体层36、 36、...的例子包括红色(R)荧光体层36R、 绿色(G)荧光体层36G、以及蓝色(B)荧光体层36B。具有红色(R) 荧光体层36R的等离子体管31、具有绿色(G)荧光体层36G的等 离子体管31、以及具有蓝色(B)荧光体层36B的等离子体管31的 组构成一个像素，使得等离子体管阵列型显示子模块30实现彩色显 示。此处，红色(R)荧光体层36R由诸如(Y，Gd)B03:Eu3+的荧光体 材料制成以通过紫外线照射而发出红色光。绿色(G)荧光体层36G由诸如Zn2Si04:Mn的荧光体材料制成以通过紫外线照射而发出绿色 光。蓝色(B)荧光体层36B由诸如BaMgAh20u:Eu2+的荧光体材料 制成以通过紫外线照射而发出蓝色光。为了增强等离子体管阵列型显 示子模块30的柔性，并使组装变得容易，优选地，以如下方式制备 等离子体管单元将R、 G、 B三色的三个等离子体管的组的多个平 行地贴附在细长状的背面侧地址电极支承片33上，然后将多个等离 子体管单元共贴附在表面侧显示电极支承片35上，从而制造彩色显 示用的等离子体管阵列型显示子模块30。
图1 (c)中的透视图示意地示出了等离子体管阵列型显示系统 模块45，其中，上述等离子体管阵列型显示子模块30、 30、…彼此 纵横连接。如图1 (c)所示，四个等离子体管阵列型显示子模块30、 30、...构成一个大画面的等离子体管阵列型显示系统模块45。每个等 离子体管阵列型显示子模块30是不包括驱动电路、电源电路等的半 成品。在构成大画面用的等离子体管阵列型显示系统模块45之后， 在等离子体管阵列型显示系统模块45中设置驱动电路、电源电路等， 将整个系统限定为一个显示膜。这样，可以构成大画面的显示装置， 其具有这样的特征，即抑制了各个等离子体管阵列型显示子模块30 、 30、...上所显示的图像质量的偏差。彼此横向连结的等离子体管阵列 型显示子模块30、 30可以通过将显示电极34、 34连接为本发明的连 接结构从而被同时驱动。对于彼此纵向连接的等离子体管阵列型显示 子模块30、 30，将相应的地址电极32、 32向画面的上侧和下侧导出 来与地址驱动电路连接，这样，可以用7>知的所谓双扫描的4支术同时 地驱动上方的两个等离子体管阵列型显示子模块30、 30的画面和下 方的两个等离子体管阵列型显示子模块30、 30的画面，而无需连接 各个地址电极32、 32。
如上所述，等离子体管阵列自身被配置为将等离子体管31、31、... 夹持在作为柔性片的地址电极支承片33与显示电极支承片35之间。 因此，难以在该状态下维持等离子体管31、 31、...的形状。因此，通 常，将等离子体管阵列贴附到被称为子模块框架的构造体上来构成等体管阵列型显示子模 块30彼此连接来形成大画面显示装置用的显示面板。
但是，等离子体管阵列的背面侧上的地址电极支承片33可能存 在诸如扭曲或翘曲等变形、以及因切割而造成的切断面的突起(毛口 ) 等的不规则。另外，由于等离子体管31自身也存在制造误差，所以 诸如管径等尺寸并非恒定的。因此，在离子体管阵列被夹持在地址电 极支承片33与显示电极支承片35之间时，还有可能在显示电极支承 片35上产生不规则。
当在产生这样的不规则的状态下，将等离子体管阵列贴附在也被 称为支撑板的平坦的子模块框架上时，存在如下问题点在子模块框 架的表面上强制地使等离子体管阵列的背面侧成为平坦的形式，这会 产生应力等，从而导致等离子体管阵列的形状变形、产生残留应力、 使等离子体管阵列与地址电极支承片33或显示电极支承片35剥离等 故障。
由于平行配置了多个等离子体管31、 31、...，所以在对其施加 了驱动电压的情况下，由于等离子体管31内部的压力变化、温度变 化等，各个等离子体管31的形状会发生轻微的变化。另外，各个等 离子体管31自身的制造精度也存在偏差，产生管径等尺寸的不一致 等。这些因素相互关联，从而造成了，依赖于驱动输入模式，发生与 等离子体管阵列所固有的振动模的共振，从而产生从等离子体管阵列 表面发生异常噪音这样的现象。
为了防止异常噪音从显示装置的正面侧泄漏出来，需要在显示画 面的正面侧设置具有遮音效果的隔音膜。例如在日本特开 2003-043937号公报中，公开了以緩和等离子体管阵列的冲击为目的 的显示过滤器(膜)。这种过滤器能够緩和来自外部的冲击，但日本 特开2003-043937号公报并未公开也未教导用于防止从内部发生的异 常噪音向外部泄漏的功能
发明内容
本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种等离子体 管阵列型显示子模块以及显示装置，即使在等离子体管阵列的背面侧 的地址电极支承片中产生了不规则的情况下，也可以降低在制造工序 中在等离子体管阵列中发生故障的可能性。
另外，本发明的另一个目的在于提供一种显示装置，可以有效地 抑制从等离子体管阵列表面发生的异常噪音从显示装置的正面侧泄 漏出来。
为了实现上述目的，本发明的第 一方面提供一种等离子体管阵列
型显示子模块，包括地址电极支承片，其上形成有多个地址电极； 显示电极支承片，其上形成有多个显示电极；以及多个等离子体管， 平行配置并被夹持在地址电极支承片与显示电极支承片之间，且每个 等离子体管填充有放电气体，其中，等离子体管阵列经由中间层而被 固定在子模块框架上，所述中间层能够沿着上述地址电极支承片的背 面侧的表面形状而变形。
根据本发明的第一方面，等离子体管阵列经由可以沿着地址电极 支承片的背面侧的表面形状变形的中间层而被固定在子模块框架上。 由于不论等离子体管阵列的背面侧的表面形状是何种形状，中间层能
面侧具有任何表面形状的等离子体管阵列，所以不会在等^子体管阵 列中发生残留应力，从而可以避免在正面侧的显示电极支承片的表面 产生不规则。
本发明的第二方面提供一种根据本发明的第一方面的等离子体 管阵列型显示子模块，其中，将地址电极支承片与等离子体管相接合 的粘接层是溶剂型粘接层，上述粘接层在该粘接层不与上述中间层相 接触的位置处将上述地址电极支承片接合在上述等离子体管上。
根据本发明的第二方面，将地址电极支承片接合在等离子体管上 的粘接层是溶剂型粘接层。因此，在中间层与粘接层彼此相接触时， 尤其是在中间层和粘接层都使用溶剂型丙烯酸类树脂的情况下，会发 生化学反应，使得两者有可能发生溶解。因此，在粘接层不与中间层接触的位置处将地址电极支承片与等离子体管接合起来。利用这种结 构，将地址电极支承片和等离子体管接合的粘接层与中间层不可能接 触。另外，还可以减小中间层的厚度。因此，可以以高的质量提供构 成薄型显示装置的等离子体管阵列型显示子模块。
本发明的第三方面提供一种根据第一方面的等离子体管阵列型 显示子模块，其中，上述中间层是以经由相邻的地址电极支承片间的 间隙以及相邻的等离子体管间的间隙而与第 一粘接层和第二粘接层 相接触的方式地形成的，其中第 一粘接层将由多个等离子体管所分割 的地址电极支承片与等离子体管接合起来，第二粘接层将显示电极支 承片与等离子体管接合起来。
根据本发明的第三方面，即使在上述中间层经由相邻的地址电极 支承片间的间隙以及相邻的等离子体管间的间隙而与将由多个等离 子体管所分个的地址电极支承片与等离子体管相接合的第一粘接层、 以及将显示电极支承片与等离子体管相接合的第二粘接层相接触的 情况下，也不会在相互间发生化学反应，从而可以将等离子体管阵列 固定到子模块框架上而不会使等离子体管阵列的质量发生劣化。另 外，由于中间层可以支撑各个等离子体管以将其固定在规定的位置， 所以可以防止由于等离子体管的振动而发生的固有的异常噪音。
本发明的第四方面提供一种根据本发明的第一方面的等离子体 管阵列型显示子模块，其中，上述中间层被形成为经由相邻的地址电 极支承片间的间隙以及相邻的等离子体管间的间隙而与将由多个等 离子体管所分割的地址电极支承片与等离子体管接合起来的第一粘 接层相接触，而将显示电极支承片与等离子体管接合起来的第二粘接 层在不与上述中间层接触的位置处将上述显示电极支承片与上述等 离子体管接合起来。
根据本发明的第四方面，中间层经由相邻的地址电极支承片间的 间隙以及相邻的等离子体管间的间隙而与将由多个等离子体管所分 割的地址电极支承片与等离子体管接合起来的第 一粘接层相接触，而 将显示电极支承片与等离子体管接合起来的第二粘接层在不与中间层接触的位置处将显示电极支承片与等离子体管接合起来。这样，可
以对于第一粘接层和第二粘接层使用不同的粘接剂。另一方面，由于 第二粘接层不与中间层接触，所以无需限定粘接剂的种类，例如对于 第一粘接层和第二粘接层都可以使用溶剂型丙烯酸类树脂。因此，即 使在使用了通用性高的粘接剂的情况下，中间层也能够沿着地址电极 支承片的背面侧的表面形状变形以支撑等离子体管阵列。因此，可以 抑制成本，并且可以避免在正面侧的显示电极支承片的表面形状上产 生不规则。
另外，本发明的第五方面提供一种显示装置，包括彼此连接的根 据本发明的第一至第四方面中的任意一个的多个等离子体管阵列型 显示子模块。
根据本发明的第五方面，当将多个上述等离子体管阵列型显示子 模块纵横连接来构成显示面板时，不论等离子体管阵列的背面侧的表 面形状如何，中间层都沿着地址电极支承片的背面侧的表面形状变形 从而可以支撑等离子体管阵列。因此，不会在等离子体管阵列中发生
则。因此，可以防止因内部结构变化而造成的电特性劣化，可以提供 能够提供高质量图像的显示装置。
本发明的第六方面提供一种显示装置，包括多个等离子体管， 每个等离子体管填充有放电气体；位于背面侧并具有沿等离子体管的 长度方向形成的多个地址电极的地址电极支承片；位于正面侧并具有 沿横切所有等离子体管的方向延伸的多个显示电极的显示电极支承 片，上述多个等离子体管平行地设置并被夹持在地址电极支承片与显 示电极支承片之间，其中，经由具有足以沿上述地址电极支承片的背 面侧的表面形状变形的柔性的中间层，设置有硬质的背面支撑板。
根据本发明的第六方面，经由可以沿着地址电极支承片的背面侧 的表面形状变形的具有柔性的中间层设置硬质的背面支撑板。这样， 不论等离子体管阵列的背面侧的表面形状如何，中间层都会沿着地址 电极支承片的背面侧的表面形状变形以支撑等离子体管阵列。因此，不会在等离子体管阵列中发生残留应力，可以避免正面侧的显示电极 支承片的表面形状发生不规则。由于在地址电极支承片的背面侧设置 有具有柔性的中间层，因此中间层可以吸收从等离子体管阵列表面产 生的固有的异常噪音，据此可以提供不会给观看图像的人带来由噪音 造成的不适感的显示装置。
本发明的第七方面提供一种根据本发明的第六方面的显示装置，
其中，中间层由杨氏模量大于等于10KPa且小于等于200KPa的凝胶
状材料制成。
本发明的第八方面提供一种根据本发明的第六或第七方面的显 示装置，其中，背面支撑板由杨氏模量大于等于lOOOKPa且小于等于 4000KPa的硬质塑料制成。
根据本发明的第七以及第八方面，由杨氏才莫量大于等于lOKPa 且小于等于200KPa的凝胶状材料制成中间层、和/或由杨氏模量大于 等于lOOOKPa且小于等于4000KPa的硬质塑料制成背面支撑板。这 样，不论等离子体管阵列的背面侧的表面形状如何，中间层都沿着地 址电极支承片的背面侧的表面形状变形以支撑等离子体管阵列。因 此，不会在等离子体管阵列中发生残留应力，可以避免正面侧的显示 电极支承片的表面形状发生不规则。另外，由于在地址电极支承片的 背面侧设置具有柔性的中间层，该中间层可以吸收从等离子体管阵列 产生的固有的异常噪音，据此可以提供不会给观察图像的人带来由噪 音造成的不适感的显示装置。
接下来，为了达成上述目的，本发明的第九方面提供一种显示装 置，包括多个等离子体管，每个等离子体管填充有放电气体；位于 背面侧并具有沿等离子体管的长度方向形成的多个地址电极的地址 电极支承片；位于正面侧并具有沿横切其上的所有等离子体管的方向 延伸的多个显示电极的显示电极支承片，上述多个等离子体管平行地 设置并被夹持在地址电极支承片与显示电极支承片之间，其中，经由
收功能的中间层，设置有具有噪音反射功能的硬质的背面支撑板。根据本发明的第九方面，经由可以沿着地址电极支承片的背面侧 的表面形状变形的具有噪音吸收功能的中间层设置有具有噪音反射 功能的硬质的背面支撑板。这样，不论等离子体管阵列的背面侧的表 面形状如何，中间层都能够通过沿着地址电极支承片的背面侧的表面 形状变形来支撑等离子体管阵列。中间层能够吸收从等离子体管阵列 产生的固有的异常噪音，据此可以提供不会给观察图像的人带来由噪 音造成的不适感的显示装置。
另外，本发明的第十方面提供一种根据本发明第九方面的显示装 置，其中，上述中间层由凝胶状材料制成，上述背面支撑板由硬质塑 料制成。
根据本发明的第十方面，由凝胶状材料制成中间层，由硬质塑料 制成背面支撑板。这样，不论等离子体管阵列的背面侧的表面形状如 何，中间层都能够通过沿着地址电极支承片的背面侧的表面形状变形 来支撑等离子体管阵列。中间层可以吸收从等离子体管阵列产生的固 有的异常噪音，据此可以提供不会给观察图像的人带来由噪音造成的 不适感的显示装置。
如上所述，等离子体管阵列经由可以沿着地址电极支承片的背面 侧的表面形状变形的中间层而被固定在子模块框架上。这样，不论等 离子体管阵列的背面侧的表面形状如何，中间层都能够通过沿着地址 电极支承片的背面侧的表面形状变形来支撑等离子体管阵列。因此， 不会在等离子体管阵列上发生残留应力，可以避免正面侧的显示电极 支承片的表面形状发生不规则。


图l是透视图，示意地示出了现有的等离子体管阵列型显示子模 块的等离子体管阵列的结构。
图2是与等离子体管阵列的等离子体管正交的剖面图。 图3示出了使用具有不规则的等离子体管阵列时的等离子体管 阵列型显示子^^莫块的结构。图4是在针对每个等离子体管设置了地址电极支承片时，使用具 有不规则的等离子体管阵列的等离子体管阵列型显示子模块的结构。
图5是在包括地址电极的一侧沿着等离子体管观察的剖面图，示 出了使用发生了不规则的等离子体管阵列等离子体管阵列型显示子 模块。
图6是与等离子体管正交的剖面图，示出了本发明的第一实施方 式的等离子体管阵列型显示子模块的概略结构。
图7是在包括地址电极的一侧沿着等离子体管观察的剖面图，示 出了本发明的第一实施方式的等离子体管阵列型显示子模块。
图8是与等离子体管正交的剖面图，示出了本发明的第一实施方 式的等离子体管阵列型显示子模块的概略结构。
图9是与等离子体管正交的剖面图，示出了本发明的第二实施方 式的等离子体管阵列型显示子模块的概略结构。
图IO是与等离子体管正交的剖面图，示出了当针对每个等离子 体管设置了地址电极支承片时，本发明的第二实施方式的等离子体管 阵列型显示子模块的概略结构。
图11是与等离子体管正交的剖面图，示出了本发明的第三实施 方式的等离子体管阵列型显示子模块的概略结构。
图12是与等离子体管正交的剖面图，示出了当针对每个等离子 体管设置了地址电极支承片时，本发明的第三实施方式的等离子体管 阵列型显示子模块的概略结构。
图13是与等离子体管正交的剖面图，示出了本发明的第四实施 方式的等离子体管阵列型显示子模块的概略结构。
具体实施例方式
以下，根据附图对本发明的实施方式的等离子体管阵列型显示子 模块进行详细说明。
(第一实施方式)
图2是与等离子体管阵列的等离子体管31、 31、…正交的剖面图。具体地，图2(a)是剖面图，示出了将用于彩色显示的三个等离 子体管31、 31、 31设为一组，并针对每个组设置了地址电极支承片 33。图2 (b)示出了针对每个等离子体管31设置了地址电极支承片 33时的剖面图。
图2 (a)中的(I)以及图2 (b)中的(I)示出了正常地制造 时的等离子体管阵列的状态。具体地，成为一组的等离子体管31、 31、 31经由诸如粘接剂的粘接层(第一粘接层)38贴附在地址电极支承 片33的地址电极32、 32、...上，并经由诸如粘接剂的粘接层(第二 粘接层)37贴附在设置有显示电极34、 34、…的显示电极支承片35 上。在等离子体管31、 31、 31的内部形成有与红色、绿色、蓝相应 的荧光体层36R、 36G、 36B。
当地址电极支承片33被切断时，如图2 (a)中的(II)以及图 2 (b)中的(II)所示，有可能在地址电极支承片33的端部发生毛口 39。另外，还有可能由于湿气、温度等而在地址电极支承片33中产 生翘曲。图2 (a)中的(III)以及图2 (b)中的(III)示出了在地 址电极支承片33a中产生翘曲时等离子体管阵列的状态。在产生了这 样的翘曲的情况下，在地址电极支承片33a与粘接层38之间易于产 生间隙。
另外，由于诸如等离子体管31的管径等尺寸上的差异，在地址 电极支承片33的背面侧的表面形状中也会产生不规则。例如，如图2 (a)中的(IV)以及图2 (b)中的(V)所示，因为等离子体管31a 的尺寸比其他等离子体管31、 31、…大，所以在地址电极支承片33 一侧产生了不规则。在针对每个等离子体管31设置了地址电极支承 片33的情况下，如图2 (b)中的(IV)所示，由于等离子体管31b 是被倾斜地安装的，所以有可能在地址电极支承片33的背面侧的表 面形状上也产生不规则。
在使用上述那样的在地址电极支承片33的背面侧的表面形状上 产生了不规则的等离子体管阵列来形成等离子体管阵列型显示子模 块的情况下，由于子模块框架(背面支撑板)由硬质材料制成，所以在位于正面侧的显示电极支承片35的表面形状上也会产生不规则。 图3是使用了在地址电极支承片33的背面侧的表面形状上产生了不 规则的等离子体管阵列时等离子体管阵列型显示子模块的结构的例 示图。具体地，图3 (a)示出子模块框架或板40为平坦状时的情况， 图3 (b)示出子模块框架或板为曲线状的情况。
如图3 (a)以及(b)所示，在经由诸如粘接剂的粘接层42将 在地址电极支承片33的背面侧的表面形状上产生了不规则的等离子 体管阵列接合到子模块框架40上的情况下，由于因毛口 39、地址电 极支承片33a的翘曲、以及等离子体管31a的管径等尺寸上的差异而 导致的不规则等，在显示电极支承片35的表面形状中也会产生不规 则，导致在显示电极支承片35的粘接层37与等离子体管31、 31、... 之间产生多个剥离部41、 41、...。另外，在处于子模块框架40与地 址电极支承片33之间的粘接层42与等离子体管31、 31、...之间，形 成了多个空隙43、 43、...。另外，即使在未产生剥离的位置处也会发 生残留应力。这会导致等离子体管31内的放电保护膜的劣化，使得 电特性恶化。因此，即使在施加了驱动电压的情况下也无法得到期望 的电场强度，这导致了电特性大幅恶化的问题。
图4是针对每个等离子体管31设置了地址电极支承片33情况下 使用了在地址电极支承片33的背面侧的表面形状上产生了不规则的 等离子体管阵列时等离子体管阵列型显示子模块的结构的例示图。与 图3同样，在经由诸如粘接剂的粘接层42将在地址电极支承片33的 背面侧的表面形状上产生了不规则的等离子体管阵列接合到子模块 框架40上的情况下，由于因毛口 39、地址电极支承片33a的翘曲、 以及等离子体管31a的管径等尺寸上的差异而产生的不规则，在显示 电极支承片35的表面形状上也会产生不规则，导致在显示电极支承 片35的粘接层37与等离子体管31、 31、...之间产生多个剥离部41。 另外，在粘接层42与等离子体管31、 31、...之间，产生了多个间隙 43。
图5是在包括地址电极32的一侧沿着等离子体管31、 31、…观察的剖面图，示出了使用了在地址电极支承片33的背面侧发生了不 规则的等离子体管阵列的等离子体管阵列型显示子模块。虽然方向不 同，但也与图3以及图4同样地，在经由诸如粘接剂的粘接层42将 在地址电极支承片33的背面侧的表面形状上产生了不规则的等离子 体管阵列接合到子模块框架40上的情况下，由于因毛口 39、地址电 极支承片33的翘曲、以及等离子体管的管径等尺寸上的差异而产生 的不规则，在显示电极支承片35的表面形状上也会产生不规则，并 且有可能产生等离子体管31自身变形的变形部51。由于等离子体管 31的变形，在地址电极支承片33与子模块框架40之间形成了多个间 隙52、 52、...，上述间隙52、 52、...还会导致从等离子体管31、 31、... 产生的噪音。
因此，第一实施方式的特征在于，在子模块框架40与等离子体 管阵列之间，形成由例如热固化性树脂的固化性树脂制成的中间层， 在中间层的形成过程中，在地址电极支承片33的背面侧的表面形状 上产生的不规则被吸收。图6是与等离子体管31正交的剖面图，示 出了本发明的第一实施方式的等离子体管阵列型显示子模块的概略 结构。具体地，图6 (a)是第一实施方式的包括中间层60的等离子 体管阵列型显示子模块的整体结构，图6 (b)是中间层60的结构。
如图6(a)所示，等离子体管阵列被设置成埋入到设置在子模 块框架40的表面的由热固化性树脂构成的中间层60中。在被埋入到 中间层60中规定的深度的状态下进行加热以使等中间层60固化，从 而形成中间层60。由于中间层60被形成为具有图6(b)所示的剖面 形状，即使在地址电极支承片33的背面侧的表面形状上产生了任何 不规则，都可以形成具有沿着所产生的不规则的形状的中间层60。因 此，不会因为在地址电极支承片33的背面侧存在不规则而在显示电 极支承片35的表面形状上产生不规则。这样，不会在显示电极支承 片35的粘接层37与等离子体管31、 31、...之间产生剥离部41。另 外，在图4的间隙43 (图5的间隙52)填充了热固化性树脂。中间 层60所使用的热固化性树脂必须在加热前比等离子体管阵列柔软，以具有沿着在地址电极支承片33的背面侧的表面形状上产生的任何 不规则的形状。另外，热固化性树脂必须在热固化后也比等离子体管 阵列柔软，从而不会对等离子体管阵列施加不必要的力。
图7是在包括地址电极32的一侧沿着等离子体管31、 31、...观 察的剖面图，示出了本发明的第一实施方式的等离子体管阵列型显示 子模块。具体地，图7 (a)是第一实施方式的包括中间层60的等离 子体管阵列型显示子模块的整体结构，图7(b)是中间层60的结构。
如图7 U)所示，等离子体管阵列被设置成埋入到设置在子模 块框架40的表面的由热固化性树脂构成的中间层60中。在被埋入到 中间层60中规定的深度的状态下，进行加热以使中间层60固化，从 而形成中间层60。由于将中间层60形成为具有图7(b)所示的剖面
形状，即使在等离子体管阵列的背面产生了多个不规则71、 71.....
也该多个不规则71、 71、…也会由具有沿该多个不规则71、 71、... 的形状的中间层60所吸收。这样，显示电极支承片35的表面形状不 会沿不规则71、 71、...而变形，因此等离子体管31也不会变形。
另夕卜，中间层60的厚度根据用于将显示电极支承片35与等离子 体管阵列接合起来的粘接层37的粘接剂的种类、用于将地址电极支 承片33与等离子体管阵列接合起来的粘接层38的粘接剂的种类、以 及中间层60的材料而不同。在第一实施方式中，例如，将诸如溶剂 型丙烯类树脂的热固化性树脂用于中间层60。为了使所使用的合成树 脂的种类最少，对于粘接层37以及粘接层38,优选使用溶剂型丙烯 类树脂。
但是，在粘接层37、 38相互接触的情况下，溶剂型丙烯类树脂 会发生溶融、或者发生化学反应，而有可能发生诸如剥离的故障。因 此，以地址电极支承片33中最接近子模块框架40的地址电极支承片 33的高度为限度，将热固化性树脂填充至该限度，以形成中间层60。
图8是与等离子体管31、 31、...正交的剖面图，示出了本发明 的第一实施方式的等离子体管阵列型显示子模块的概略结构。具体 地，图8 (a)是第一实施方式的包括中间层60的等离子体管阵列型显示子模块的整体结构，图8 (b)是中间层60的结构。
如图8(a)所示，等离子体管阵列被设置成埋入到设置在子模 块框架40的表面的由热固化性树脂构成的中间层60中。中间层60 被形成为以地址电极支承片33中最接近子模块框架40的地址电极支 承片33的高度为限度。由于薄的中间层60被形成为具有图8(b)所 示的剖面形状，即使在地址电极支承片33的背面侧的表面形状上产 生了任何不规则，也可以形成具有沿所产生的不规则的形状的中间层 60。于是，在显示电极支承片35的背面侧不会因在地址电极支承片 33的背面侧的表面形状上产生的不规则而发生不规则。因此，不会在 显示电极支承片35的粘接层37与等离子体管31、 31、...之间产生剥 离部41。另外，图4的间隙43 (图5的间隙52)也被热固化性树脂 所填充。
仅需 一种合成树脂，并且可以仅以最小量的合成树脂来形成中间 层60。因此，可以以低成本形成有效的中间层60。由于减小了中间 层60的厚度，即使在中间层60固化前从等离子体管阵列的正面侧(显 示电极侧)施加了压力的情况下，中间层60与粘接层38也不易接触， 从而可以更安全地制造形成中间层60。
如上所述，根据本发明的第一实施方式，即使在地址电极支承片 33的背面侧的表面形状上产生了任何不规则，也可以容易地形成具有 沿着所产生的不规则的形状的中间层60。这样，不会因为在地址电极 支承片33的背面侧的表面形状上存在不规则而在显示电极支承片35 的表面形状上产生不规则。另外，也不会产生粘接层37与等离子体 管31、31、…之间的剥离部41、以及粘接层42与等离子体管31、31、… 之间的间隙43 (间隙52 )。因此，等离子体管31内的电特性不会劣 化，且要施加的驱动电压也仅需设计电压即可。所以，可以实现具有 高画质的大画面的显示装置。 (第二实施方式)
第二实施方式与第一实施方式的不同点在于，对于中间层60， 例如使用诸如无溶剂型环氧树脂的热固化性树脂；而对于粘接层37和粘接层38中，例如使用诸如溶剂型丙烯类树脂的热固化性树脂。 即便使无溶剂型环氧树脂与溶剂型丙烯类树脂相互接触，它们也不会 溶解，不会产生化学反应。所以，可以将中间层60形成至使得中间 层60能够支撑等离子体管31、 31、...的区域。另夕卜，对于中间层60， 也可以使用无溶剂型丙烯类树脂。
图9是与等离子体管31正交的剖面图，示出了本发明的第二实 施方式的等离子体管阵列型显示子模块的概略结构。具体地，图9(a) 是第二实施方式的包括中间层60的等离子体管阵列型显示子模块的 整体结构。图9 (b)是中间层60的结构。
如图9(a)所示，等离子体管阵列被设置成埋入到设置在子模 块框架40表面的由热固化性树脂构成的中间层60中。以使热固化性 树脂经由地址电极支承片33、 33、...间的间隙填充显示电极支承片 35的方式形成中间层60。由于厚的中间层60被形成为具有图9 (b) 所示的剖面形状，即使在地址电极支承片33的背面侧的表面形状上 产生了任何不规则，也可以形成具有沿着所产生的不规则的形状的中 间层60。因此，不会因为在地址电极支承片33的背面侧的表面形状 上存在不规则而在显示电极支承片35的表面形状上产生不规则。于 是，不会在显示电极支承片35的粘接层37与等离子体管31、 31、... 之间产生剥离部41。另外，图4的间隙43 (图5的间隙52)也#1热 固化性树脂所填充。
中间层60可以支承相应的一組等离子体管31、 31、 31，所以等 离子体管31不易产生振动。因此，可以有效地抑制从等离子体管31 产生噪音。
图10是与等离子体管31正交的剖面图，示出了当针对每个等离 子体管31设置了地址电极支承片33时，本发明的第二实施方式的等 离子体管阵列型显示子模块的概略结构。具体地，图IOU)是第二 实施方式的包括中间层60的等离子体管阵列型显示子模块的整体结 构，图10 (b)是中间层60的结构。
如图10 (a)所示，等离子体管阵列被设置成埋入到设置在子模块框架40表面的由热固化性树脂构成的中间层60中。以通过地址电 极支承片33、 33、...间的间隙用热固化性树脂填充每个等离子体管 31的周围的方式形成到达显示电极支承片35的中间层60。由于形成 了具有图10 (b)所示的剖面形状的厚的中间层60，即使在地址电极 支承片33的背面侧的表面形状上产生了任何不规则，也可以形成具 有沿着所产生的不规则的形状的中间层60。因此，不会因为在地址电 极支承片33的背面侧的表面形状上存在不规则而在显示电极支承片 35的表面形状上产生不规则。于是，不会在显示电极支承片35的粘 接层37与等离子体管31、 31、...之间产生剥离部41。另外，图4的 间隙43 (图5的间隙52 )也被热固化性树脂所填充。
中间层60支承每个等离子体管31、 31、...，所以等离子体管31、 31、...不易产生振动。因此，可以有效地抑制从等离子体管31产生 噪音。
如上所述，根据第二实施方式，即使在粘接层37、 38与中间层 60相互接触的情况下，它们之间也不会发生化学反应，因此能够将等 离子体管阵列贴附到子模块框架40上而不会损害等离子体管阵列的 质量。由于中间层60能够支承每个等离子体管31以将其固定在规定 的位置，所以可以更有效地防止起因于等离子体管31的振动的固有 的噪音。
(第三实施方式)
与第二实施方式相同，第三实施方式与第一实施方式的不同点在 于，对于中间层60 ，例如使用诸如无溶剂型环氧树脂的热固化性树脂； 而对于粘接层37和38，例如使用诸如溶剂型丙烯类树脂。即便使无 溶剂型环氧树脂和溶剂型丙烯类树脂相互接触，它们之间也不会发生 溶解，也不会发生化学反应。这样，可以将中间层60形成至使得中 间层60能够支承等离子体管31、 31、...的区域。另外，对于中间层 60,也可以使用无溶剂型丙烯类树脂。
对于中间层60,也可以使用环氧树脂；而对于在粘接层38，可 以使用硅等橡胶类树脂。另外，对于粘接层37，既可以使用硅等橡胶类树脂，也可以使用溶剂型丙烯类树脂。在此情况下，环氧树脂类树 脂与橡胶树脂即使在相互接触的情况下也不会相互溶解，也不会发生
化学反应。这样，可以将中间层60形成为具有能够支撑等离子体管 31、 31、...的高度。
另一方面，溶剂型丙烯类树脂在与硅等橡胶类树脂接触的情况 下，两者间有可能溶融或者发生化学反应，从而发生剥离等故障。因 此，将中间层60不与粘接层37接触的高度定义为限度，将热固化性 树脂填充至此限度来形成中间层60。
图ll是与等离子体管31、 31、…正交的剖面图，示出了针对每 一组等离子体管31、 31、 31设置了地址电极支承片33情况下，本发 明的第三实施方式的等离子体管阵列型显示子模块的概略结构。具体 地，图11(a)是第三实施方式的包括中间层60的等离子体管阵列型 显示子模块的整体结构，图11 (b)是中间层60的结构。
如图11 (a)所示，等离子体管阵列被设置成埋入到设置在子模 块框架40表面的由热固化性树脂构成的中间层60中。以经由地址电 极支承片33、 33、...间的间隙在每个等离子体管31的下半部分的周 围填充热固化性树脂方式形成中间层60。由于形成了具有图11 (b) 所示的剖面形状的厚的中间层60,即使在地址电极支承片33的背面 侧的表面形状上产生了任何不规则，也可以形成具有沿所产生的不规 则的形状的中间层60。因此，不会因为在地址电极支承片33的背面 侧的表面形状上存在不规则而在显示电极支承片35的表面形状上产 生不规则。于是，不会在显示电极支承片35的粘接层37与等离子体 管31、 31、...之间产生剥离部41。另外，图4的间隙43(图5的间 隙52)也被热固化性树脂所填充。
中间层60可以支承相应的一组等离子体管31、 31、 31，所以等 离子体管31不易产生振动。因此，可以有效地抑制从等离子体管31 产生的噪音。
图12是与等离子体管31、 31、...正交的剖面图，示出了当针对 每个等离子体管31设置了地址电极支承片33时，本发明的第三实施方式的等离子体管阵列型显示子模块的概略结构。具体地，图12(a) 是本第三实施方式的包括中间层60的等离子体管阵列型显示子模块 的整体结构，图12 (b)是中间层60的结构。
如图12 (a)所示，等离子体管阵列被设置成埋入到设置在子模 块框架40表面的由热固化性树脂构成的中间层60中。以经由地址电 极支承片33、 33、…间的间隙用热固化性树脂填充每个等离子体管 31的下半部分周围的方式形成中间层60。由于形成了具有图12 (b) 所示的剖面形状的厚的中间层60，所以即使在地址电极支承片33的 背面侧的表面形状上产生了任何不规则，也可以形成具有沿着所产生 的不规则的形状的中间层60。因此，不会因为在地址电极支承片33 的背面侧的表面形状上存在不规则而在显示电极支承片35的表面形 状上产生不规则。于是，不会在显示电极支承片35的粘接层37与等 离子体管31、 31、...之间产生剥离部41。另外，图4的间隙43(图 5的间隙52 )也被热固化性树脂所填充。
中间层60可以支承每个等离子体管31、 31、...，所以等离子体 管31、 31、…不易产生振动。因此，可以有效地抑制从等离子体管 31、 31、...产生的噪音。另外，粘接层37的材料并不重要。因此， 还可以通过选择更廉价的合成树脂来降低成本。
如上所述，根据第三实施方式，即使粘接层38与中间层60相互 接触，它们之间也不会发生化学反应，因此可以将等离子体管阵列贴 附到子模块框架40上而不会损害等离子体管阵列的质量。由于中间 层60可以支承每个等离子体管31、 31、...以将其固定在规定的位置， 所以可以更有效地防止起因于等离子体管31、 31、…的振动的固有的 噪音。
在上述第一至第三实施方式中，以将单独的结构体用作子模块框 架为前提。但是，也可以利用与中间层60同样的材质形成子模块框 架。在此情况下，中间层60可以由环氧树脂或丙烯酸类树脂制成。 (第四实施方式)
本发明的笫四实施方式的等离子体管阵列型显示子模块的结构与第一实施方式相同。因此，给出了相同的附图标记并省略了重复的 详细说明。第四实施方式与第一实施方式的不同点在于，将具有噪音
吸收功能的凝胶状的材料用作中间层60,以吸收从等离子体管阵列发 生的异常噪音。
具体地，在将两个等离子体管阵列型显示子模块彼此连接的情况 下，为了尽量不在等离子体管阵列间产生间隙，将在其上形成有地址 电极32、 32、...的地址电极支承片33、 33、...的每个向背面侧弯曲。 这一点对于其上形成有显示电极34、 34、…的显示电极支承片35也 相同。
因此，等离子体管31、 31、…被配置得彼此非常接近。当施加 了驱动电压时，因为等离子体管31、 31、…内部的压力变化、温度变 化等，等离子体管31的形状会发生细微的变化。另外，等离子体管 31、 31、...自身的制造精度也有偏差，每个等离子体管31、 31、…的 尺寸例如管径等也不是恒定的。这些因素相互关联，从而造成了，依 赖于驱动输入模式，与等离子体管阵列所固有的振动模发生共振，因 此产生从等离子体管阵列表面发生异常噪音的现象。
从等离子体管阵列的表面发生的异常噪音通过显示电极支承片 35传播，而传送到从显示装置的正面侧观察图像的人。上述异常噪音 会对观察图像的人造成不适感。
因此，在第四实施方式中，等离子体管阵列的背面侧上的地址电 极支承片33、 33、...的中间层60由具有噪音吸收功能的凝胶状的材 料制成，从而形成了噪音吸收层。另外，支承中间层60的硬质的背 面支撑板70由具有噪音反射功能的材料制成，从而形成了噪音反射 层。图13是与等离子体管31、 31、…正交的剖面图，示出了本发明 的第四实施方式的等离子体管阵列型显示子模块的概略结构。
如图13所示，在地址电极支承片33、 33、...的背面侧设置有凝 胶状的中间层60作为噪音吸收层。中间层60被夹在硬质的背面支撑 板70与地址电极支承片33、 33、…之间，并在背面侧沿着地址电极 支承片33、 33、...的表面形状而变形。硬质的背面支撑板70作为噪音反射层发挥功能。 '
利用这种结构，在从等离子体管阵列的表面发生了异常噪音的情
况下，由中间层60吸收了一定量的噪音能量，而利用硬质的背面支 撑板70将一定量的噪音朝着等离子体管阵列一侧反射。然后，由硬 质的背面支撑板70所反射的一定量的噪音能量再次由中间层60所吸 收，从而可以减少从等离子体管阵列表面发生的异常噪音。
作为噪音吸收层发挥功能的中间层60优选使用例如杨氏模量为 10~200KPa的软质材料。其例子可以包括具有透光性的材料，诸如 硅树脂凝胶、聚乙烯凝胶、丙烯酸类凝胶、氨基曱酸乙酯凝胶、丙烯 酸氨基曱酸乙酯凝胶、丁二烯凝胶、异戊二烯凝胶、丁基凝胶、苯乙 烯丁二烯凝胶、乙烯乙酸乙烯共聚物凝胶、乙烯-丙烯-二烯三元共 聚合物凝胶、氟凝胶等。
优选将例如杨氏模量为1000 ~4000KPa的硬质材料用作作为音 反射层发挥功能的背面支撑板70。可以举出具有透光性并可用于高分 子膜的材料，诸如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚苯乙烯、聚萘 二曱酸乙二醇酯、聚丙烯酸酯、聚醚醚硐、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙 烯、诸如尼龙6等的聚酰胺、聚酰亚胺、诸如三醋酸纤维素酯等纤维 素类树脂、聚氨基甲酸乙酯、诸如聚四氟乙烯等的氟树脂、诸如聚氯 乙烯等的乙烯化合物、聚丙烯酸、聚丙烯酸酯、聚丙烯腈、诸如乙烯 化合物等的加成聚合物、聚甲基丙烯酸酯(polymethacrylate)、聚 甲基丙烯酸酯(polymethacrylic acid ester )、诸如聚偏二氯乙烯等的 亚乙烯基化合物、氟化亚乙烯/三氟乙烯共聚物、诸如乙烯/醋酸乙烯 共聚物等的乙烯化合物或氟类化合物的共聚合体、诸如聚氧化乙烯等 的聚醚、环氧树脂、聚乙烯醇、聚乙烯醇缩丁醛等。
如上所述，根据第四实施方式，中间层60作为噪音吸收层发挥 功能，这可以有效地抑制从等离子体管阵列表面发生的固有的异常噪 音从显示装置的正面侧泄漏出来。因此，可以提供不会给观察图像的 人带来由于声音引起的不适感的显示装置。
另外，在第一实施方式的结构的基础上对第四实施方式进行了说明。但是，如果中间层60由凝胶状的材料制成，则利用第二和第三 实施方式的结构当然也起到相同的效果。
可以进行各种变更而不脱离本发明的范围。例如，用于中间层 60以及粘接层37、 38的材料当然不限于上述材料，而可以根据中间 层60要填充多少来进行选择。
权利要求
1.一种等离子体管阵列型显示子模块，包括地址电极支承片，其上形成有多个地址电极；显示电极支承片，其上形成有多个显示电极；以及多个等离子体管，平行配置并被夹持在所述地址电极支承片与所述显示电极支承片之间，且每个所述等离子体管都填充有放电气体，其中，所述等离子体管阵列经由中间层而被固定在子模块框架上，所述中间层能够沿着所述地址电极支承片的背面侧的表面形状而变形。
2. 根据权利要求l所述的等离子体管阵列型显示子模块，其中，将所述地址电极支承片接合在所述等离子体管上的粘接层是溶 剂型粘接层，所述粘接层在所述粘接层不与所述中间层相接触的位置 处将所述地址电极支承片接合在所述等离子体管上。
3. 根据权利要求2所述的等离子体管阵列型显示子模块，其中， 对于所述粘接层和所述中间层都使用溶剂型丙烯酸类树脂。
4. 根据权利要求l所述的等离子体管阵列型显示子模块，其中，以及相邻的所述等离子体管间的间隙而与第 一粘接层和第二粘接^ 相接触，其中所述第 一粘接层将由所述多个等离子体管所分割的所述 地址电极支承片与所述等离子体管接合，所述第二粘接层将所述显示 电极支承片与所述等离子体管接合。
5. 根据权利要求l所述的等离子体管阵列型显示子模块，其中， 所述中间层被形成为经由相邻的所述地址电极支承片间的间隙以及相邻的所述等离子体管间的间隙而与第一粘接层相接触，所述第 一粘接层将由所述多个等离子体管所分割的所述地址电极支承片与 所述等离子体管接合；而将所述显示电极支承片与所述等离子体管接 合的笫二粘接层在不与所述中间层相接触的位置处将所述显示电极 支承片与所述等离子体管接合。
6. 根据权利要求5所述的等离子体管阵列型显示子模块，其中， 对于所述第 一粘接层和所述第二粘接层都使用溶剂型丙烯酸类 树脂。
7. —种显示装置，包括彼此连接的多个根据权利要求1所述的 等离子体管阵列型显示子模块。
8. —种显示装置，包括 每个都填充有放电气体的多个等离子体管； 位于背面侧并具有沿所述等离子体管的长度方向形成的多个地址电极的地址电极支承片；位于正面侧并具有沿横切所有所述等离子体管的方向延伸的多 个显示电极的显示电极支承片，并且所述多个等离子体管平行地设置并被夹持在所述地址电极支承 片与所述显示电极支承片之间，其中，经由具有足以沿所述地址电极支承片的背面侧的表面形状 变形的柔性的中间层，设置有硬质的背面支撑板。
9. 根据权利要求8所述的显示装置，其中，所述中间层由杨氏模量大于等于10KPa且小于等于200KPa的 凝胶状材料制成。
10. 根据权利要求8所述的显示装置，其中， 所述背面支撑板由杨氏模量大于等于lOOOKPa且小于等于4000KPa的硬质塑料制成。
11. 根据权利要求9所述的显示装置，其中， 所述背面支撑板由杨氏模量大于等于lOOOKPa且小于等于4000KPa的-更质塑料制成。
12. —种显示装置，包括 每个都填充有放电气体的多个等离子体管；位于背面侧并具有沿所述等离子体管的长度方向形成的多个地 址电极的地址电极支承片；位于正面侧并具有沿横切其上的所有所述等离子体管的方向延伸的多个显示电极的显示电极支承片，并且所述多个等离子体管平行地设置并被夹持在所述地址电极支承 片与所述显示电极支承片之间，其中，经由可以沿所述地址电极支承片的背面侧的表面形状变形 的具有噪音吸收功能的中间层，设置有具有噪音反射功能的硬质的背 面支撑板。
13.根据权利要求12所述的显示装置，其中，所述中间层由凝胶状材料制成，所述背面支撑板由硬质塑料制
全文摘要
本发明提供一种等离子体管阵列型显示子模块以及显示装置，即使在等离子体管阵列的背面侧产生了不规则的情况下，也可以降低在制造工序中在等离子体管阵列中发生故障的可能性。在等离子体管阵列型显示子模块中，在形成有地址电极的地址电极支承片与形成有显示电极的显示电极支承片之间，夹持着平行配置有多个等离子体管的等离子体管阵列，其中，等离子体管阵列经由中间层固定在子模块框架上，该中间层由比等离子体管阵列柔软的材料形成，并能够沿着等离子体管阵列的地址电极支承片上的不规则而变形。
文档编号H01J11/18GK101609782SQ20091015052
公开日2009年12月23日 申请日期2009年6月18日 优先权日2008年6月20日
发明者四户耕治, 平川仁, 文野贵充, 涩川芳雄, 筒井长德, 粟本健司, 郭滨刚 申请人:筱田等离子有限公司