电介质屏蔽放电灯及灯组件的制作方法

专利名称：电介质屏蔽放电灯及灯组件的制作方法
技术领域：
本发明涉及ー种电介质屏蔽放电灯及灯组件。
背景技术：
电介质屏蔽放电灯用于对被处理物(用于半导体、液晶显示装置的玻璃基板等)进行光清洗。现有的电介质屏蔽放电灯以如下方式构成，即，在例如放电管的上表面配置贝塔(ベタ)电极，在下表面配置网状电极，从该网状电极的网眼的间隙射出紫外线(參照专利文献I)。并且，通过将该紫外线照射到被处理物的表面，分解被处理物表面的有机物，从而清洗被处理物。专利文献I :日本特开2000-260396号公报 发明要解决的课题如上所述，在现有的电介质屏蔽放电灯中，在用于从放电管中取出光的光取出区域(下表面)配置网状电扱。因此，从光取出区域射出的光的一部分被网状电极的网眼遮光而相应地导致透光率降低。

发明内容
本发明是根据上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够提高光取出区域的透光率的电介质屏蔽放电灯。(用于解决课题的手段)作为用于解决上述目的的手段，本发明涉及ー种电介质屏蔽放电灯，其特征在干，具备封入有放电气体的长条状的放电管；一对电极，所述放电管的沿着该放电管的长度方向的外周面的一部分为用于将在所述放电管内产生的光取出到外部的光取出区域，所述一对电极以所述光取出区域在所述外周面的周向上位于所述一对电极之间的方式分别配置在所述外周面上。根据本发明，一对电极以光取出区域在放电管的外周面的周向上位于两电极之间的方式配置，在该光出射区域内不存在电极。因此，与电极配置在光取出区域的现有结构相比，能够提高透光率。另外，根据本发明，由于光取出区域的内表面没有直接暴露于等离子体，因此，能够减小透光率的降低。然而，在从具备网状电极的放电灯取出光时，为了防止在网状电极产生的微溅射引起的透光率降低，需要光透过性的保护膜(例如MgF2等)，从而成本变高。然而，根据本发明，由于可以不设置引起微溅射的网状电极，因此可以不配置光透过性的保护膜。本发明的电介质屏蔽放电灯可以形成为以下的结构。(I)可以具备分别保持所述放电管的所述长度方向上的各端部的ー对保持块，所述ー对电极中的至少一方电极为沿所述长度方向延伸的棒状构件，该棒状的电极的各端部分别与所述保持块连结。根据这种结构，作为棒状构件的电极连结在对放电管的长度方向上的各端部进行保持的一对保持块之间，从而作为构造件(梁)发挥保护放电管的作用。因此，与设置有电极之外的构造件的结构相比，能够降低部件件数。以(I)的结构为基础，可以如下方式形成，S卩，所述放电管是截面为圆形的圆管，所述棒状形状的电极的与所述放电管对置的内侧面为曲面，该内侧面的曲率为所述放电管的外周面的曲率以下。当放电管的内侧面的曲率比放电管的曲率大时，在两者之间产生的溅射容易向外部泄漏，溅射所产生的金属膜等附着在光取出区域，有可能导致该光取出区域的透光率降低。在此，当为如上所述的结构时，能够抑制溅射向外部泄漏。以(I)的结构为基础，可以在所述棒状形状的电极的与所述放电管对置的内侧面以外的外侧面上，在相邻的面之间形成锥面。 根据这种结构，由于能够使电极不存在棱角部分，因此，能够抑制在外侧面产生电晕放电。以(I)的结构为基础，所述保持块的与所述放电管的所述长度方向上的端部对置的对置面上可以形成有收容所述放电管的放电管收容部；以夹着所述放电管收容部的方式配置而分别收容所述一对电极的电极收容部。根据这种结构，能够利用保持块以放电管夹在一对电极之间而一体化的状态进行保护。以上述结构为基础，可以在所述保持块上形成有贯通孔，该贯通孔与所述电极收容部的与所述电极的端面对置的里面相连而到达所述保持块的与所述对置面相反侧的非对置面，在所述电极的端面形成有供从所述贯通孔插入的螺钉螺合的螺纹孔。根据这种结构，通过使从电极收容部的贯通孔插入的螺钉与形成在电极的端面的螺纹孔螺合而将电极牢固地固定在保持块上。以上述结构为基础，可以设定为使所述电极的端面相对于与所述放电管的所述长度方向垂直的方向所成的角度和所述电极收容部的所述里面相对于与所述放电管的所述长度方向垂直的方向所成的角度不同，所述电极与所述保持块连结时，所述电极按压所述放电管。根据这种结构，在将电极与保持块连结之际，由于电极按压放电管，所以能够可靠降低放电管与电极的非接触区域。以(I)的结构为基础，可以将导电性的弹性构件以弹性变形的状态插入所述放电管与所述一方的电极之间。根据这种结构，由于利用弹性构件降低放电管与电极的非接触区域，因此，能够抑制放电管的点灯时在放电管与电极之间产生放电的情况。(2)可以具备一对保持块，其分别保持所述放电管的所述长度方向上的各端部；梁构件，其为沿所述长度方向延伸的棒状构件，使所述长度方向上的各端部分别与所述保持块连结，所述一对电极中的至少一方电极配置在所述放电管的外周面与所述梁构件之间，被与所述保持块连结的所述梁构件向所述外周面侧按压。根据这种结构，至少一方电极通过梁构件被按压到放电管的外周面，因此，能够使该电极与外周面更可靠地接触。另外，梁构件自身作为构造件使用，因此不需要使上述一方的电极自身为高强度。以(2)的结构为基础，可以形成为所述一对电极中的至少一方电极呈沿所述长度方向延伸的平板状，在所述梁构件的与所述外周面对置的对置面形成有沿所述长度方向的槽，通过与所述保持块连结，所述一方的电极被所述对置面的所述槽的两侧缘按压而弯曲成U字形且同时被压向所述外周面侧。根据这种结构，由于平板状的电极被形成在梁构件侧的槽的两侧缘弯曲成U字形且同时被压向放电管的外周面侧，因此能够使上述一方的电极的两侧缘侧与外周面侧更可靠地接触。以(2)的结构为基础，可以在沿所述长度方向延伸的平板状的电极上设置多个狭縫。根据这种结构，可以在平板状的电极受热时，从狭缝散热，从而能够防止热膨胀引起的变形。另外，以⑵的结构为基础，可以在沿所述长度方向延伸的平板状的电极上设有错位防止突部，该错位防止突部朝向与所述长度方向交叉的方向突出形成并插入所述梁构件的槽，从而防止所述平板状的电极错位。根据这种结构，电极被定位在梁构件的规定位置而不易错位。
(3)所述放电管可以为截面圆形的圆管，在所述放电管设有卡合部，在所述ー对保持块中的至少一方的保持块上设有与所述卡合部卡合的被卡合部。当电极与放电管相对旋转时，因在放电管中与电极的间隙和在电极的边缘部分产生的微放电而导致电极件向放电管溅射，由此被污染的区域构成光取出区域的一部分，其结果是，可能导致该光取出区域的透光率降低。然而，根据上述的这种结构，通过使卡合部与被卡合部卡合，可抑制电极与放电管相对地旋转，从而能够抑制该光取出区域中的透光率降低的情況。(4)在所述放电管的被所述ー对电极夹着的两个部分中，一方的部分可以为所述光取出区域，在另一方的部分可以形成有绝缘性的反射膜。根据这种结构，不需要另行设置反射板。另外，由于反射膜为绝缘性的膜，因此，能够防止ー对电极之间短路。另外，作为实现上述目的的手段，本发明涉及一种灯组件，其特征在干，具备电介质屏蔽放电灯列，其通过多个电介质屏蔽放电灯沿与所述放电管的长度方向交叉的方向排列配置而成；第一支承构件，其整合地支承所述电介质屏蔽放电灯的所述长度方向上的一方的保持块；第二支承构件，其整合地支承所述多个电介质屏蔽放电灯的所述长度方向上的另一方的保持块。根据该发明，能够利用支承构件及梁构件以与现有结构相比多个光取出区域的透光率得到提高的电介质屏蔽放电灯排列配置的状态使其一体化。因此，例如从多个规定的设置场所集中取出多个电介质屏蔽放电灯而进行更换作业等，能够提高便利性。本发明的灯组件可以为以下结构。可以为所述各电介质屏蔽放电灯具有的所述ー对电极中的至少一方电极呈沿所述长度方向延伸的棒状形状，且通过该棒状形状的电极的各端部与所述第一支承构件和所述第二支承构件连结而构成所述梁构件。根据这种结构，各电介质屏蔽放电灯具有的一对电极中的至少一方电极为导电性的棒状构件，由于构成梁构件，因此通过该一方的电极而保护各电介质屏蔽放电灯的放电管。另外，通过使电极与梁构件共用化，从而与两者为不同构件的结构相比，能够降低部件件数。
所述梁构件可以相对于所述各电介质屏蔽放电灯至少各设置一个，所述各电介质屏蔽放电灯具有的一对电极中的至少一方电极配置在所述放电管的外周面和一个所述梁构件之间，被与所述第一支承构件和所述第二支承构件连结的所述梁构件按压到所述外周面侧。根据这种结构，至少一方的电极被梁构件按压到放电管的外周面，从而能够使该电极与外周面更可靠地接触。另外，各梁构件自身作为构造件发挥作用，因此上述一方的电极自身不需要具备高强度。可以是所述第一支承构件为连接到与电源相连的第一电源端子侧的供电构件，所述第二支承构件为连接到与所述电源相连的第二电源端子侧的供电构件，在相邻的两个所述电介质屏蔽放电灯之间相互对置的所述电极彼此共同与所述第一支承构件及所述第二支承构件的任一方连接。根据这种结构，在相邻的两个电介质屏蔽放电灯之间相互对置的电极彼此共同与 第一支承构件及第二支承构件的任一方连接。因此，可以避免在例如对置的电极的一方与第一支承构件连接且另一方与第二支承构件连接的结构中出现两电极短路的情况，能够缩窄电介质屏蔽放电灯彼此的间隔。所述第一支承构件可以为沿所述交叉的方向延伸的导电性的棒状构件，且为连接到与电源相连的第一电源端子侧的供电构件，所述第二支承构件为沿所述交叉方向延伸的导电性的棒状构件，且为连接到与所述电源相连的第二电源端子侧的供电构件，所述各电介质屏蔽放电灯具有的所述一对电极中一方的电极与所述第一支承构件电连接，另一方的电极与所述第二支承构件电连接。根据这种结构，使第一支承构件与第二支承构件为棒状构件即作为沿电介质屏蔽放电灯的排列方向(上述交叉的方向)的构造件，并且能够作为从电源向电极供给电力的供电构件发挥作用。可以在相邻的两个电介质屏蔽放电灯之间设置施力构件，该施力构件朝向使所述对置的所述电极彼此向离开的方向施力。根据这种结构，由于通过施力构件的作用力将各电极向放电管的外周面侧按压，因此，能够降低电极与放电管的非接触区域，抑制放电管点灯时在放电管电极之间产生放电的情况。(发明效果)根据本发明，能够提高光取出区域的透光率。


图I是实施方式I的灯组件的俯视图。 图2是灯组件的主视图。图3是灯组件的左侧视图。图4是灯组件的右侧视图。图5是电介质屏蔽放电灯的俯视图。图6是电介质屏蔽放电灯的侧视图。图7是图6的B-B剖视图。
图8是图6的C-C剖视图。图9是图5的A-A剖视图。图IOA是表示连结前的侧面电极与保持块的放大图。图IOB是表示连结后的侧面电极与保持块的放大图。图IIA是表示实施方式2的侧面电极与保持块连结前的放电管与侧面电极的示意图。图IlB是表示侧面电极与保持块连结后的放电管与侧面电极的示意图。图12A是实施方式3的电介质屏蔽放电灯的剖视图。图12B是放电管、电极及梁构件的分解图。 图13是示意地表示实施方式4的各电介质屏蔽放电灯I的放电管及侧面电极的俯视图。图14是实施方式5的灯组件的仰视图。图15是电介质屏蔽放电灯的仰视图。图16是电介质屏蔽放电灯的侧视图。图17是放电管、电极及梁构件的分解侧视图。图18是将错位防止突部折弯前的电极的俯视图。符号说明1,101...电介质屏蔽放电灯2,102...电介质屏蔽放电灯列3，103··.放电管3A, 103A...光取出区域3B···凸部(卡合部)5...侦愐电极(电极、梁构件)105···电极7，110···保持块7E. · ·凹部(被卡合部)9···反射膜10，100···灯组件21,121...供电构件(支承构件)21A, 121A...供电构件(第一支承构件)21B, 121B...供电构件(第二支承构件)33...螺旋弹簧(弹性构件)43...梁构件51...螺旋弹簧(施カ构件)106...狭缝107...错位防止突部130. ··梁构件132...梁构件的槽
具体实施例方式<实施方式1>参照图I 图10对本发明的实施方式I进行说明。需要说明的是，各图所示的X的箭头方向表示灯组件10、电介质屏蔽放电灯I的右方(电介质屏蔽放电灯I的长度方向)，Y的箭头方向表示前方，Z的箭头方向表示上方。I.灯组件的整体结构图I是本实施方式的灯组件10的俯视图，图2是其主视图，图3是左侧视图，图4是右侧视图。如图I所示，灯组件10是将多个(例如10个)电介质屏蔽放电灯I以沿前后方向排列的状态而一体化后的部件。具体而言，灯组件10具备上述多个电介质屏蔽放电灯
I(电介质屏蔽放电灯列2)以及一对供电构件21 (第一支承构件21A及第二支承构件21B的一例)。2.各电介质屏蔽放电灯的结构图5是电介质屏蔽放电灯I的俯视图，图6是其侧视图，图7是图6的B-B剖视图。各电介质屏蔽放电灯I具备放电管3、一对侧面电极5、5(电极的一例)和一对保持块7、7。在沿放电管3的左右方向(长度方向)的外周面中，下表面侧(“外周面的一部分”的一例)构成用于将该放电管3内产生的光向外部取出的光取出区域3A(参照图6)。一对侧面电极5、5以在放电管3的外周面的周向上光取出区域3A位于两电极5、5之间的方式分别配置在放电管3的外周面上。以下，在对两侧面电极进行区别时称为“侧面电极5A”、“侧面电极5B”。(I)放电管放电管3具有将合成石英玻璃制的圆筒的两端关闭的单管结构。S卩，如图7所示，放电管3是截面为圆形的圆管。在放电管3内部形成的放电空间6内填充有电介质阻挡放电用气体。需要说明的是，该电介质屏蔽放电灯I将通用的圆管几乎不进行复杂加工地直接作为放电管3使用。即，以将圆筒形的原管(圆管)的两端以具有排气管(尖端管)的方式加工成前端细的形状，从尖端管封入放电用气体。并且，通过进行尖端关闭的密封加工而成为放电管。从而，与使用扁平的角筒状的放电管的结构相比，能够降低加工负担、成本。需要说明的是，作为电介质阻挡放电用气体使用氙(Xe)、氩(Ar)、及氪(Kr)等稀有气体、以及氟(F2)、氯(Cl2)等卤族气体等。电介质屏蔽放电灯I根据气体种类而发出不同波长(172nm、222nm、308nm等波长)的受激准分子光。例如，为了进行电子器件的清洗即分解附着于电子器件上的有机化合物而使用以172nm为中心波长的受激准分子光。从而，在该情况下，使用含有氙(Xe)的气体。需要说明的是，对于气体的封入压力没有特别限定，但通常以10 80KPa程度的压力封入。(2)侧面电极各侧面电极5为与放电管3具有大致同等长度的棒状形状的构件(梁构件的一例)(参照图6)。作为侧面电极5的材质为铝合金、不锈钢(SUS)、黄铜等具有导电性的材料即可，但从成本和加工性方面考虑优选铝合金。需要说明的是，各侧面电极5可以通过挤出成形或切削来制造。另外，各侧面电极5通过铝阳极化处理而在表面形成氧化被膜。侧面电极5的端面的螺纹孔5C为了确保导通而未被铝阳极化处理。另外，如图7所不,一对侧面电极5A、5B配置在从前后方向夹着放电管3的位置。更具体而言，一对侧面电极5A、5B配置成将各自位置与放电管3的中心轴O连结的直线彼此所成的角度Θ I为大致180度。进而，如图7所示，各侧面电极5中与放电管3对置的内侧面11成为与该放电管3的外表面成 为大致相同曲率的曲面。需要说明的是，内侧面11的曲率优选与放电管3的曲率相同、或比其曲率小。其理由如下。即，当内侧面11的曲率比放电管3的曲率大时，在两者3、11之间产生的溅射容易向外部泄漏。如此ー来，该溅射所产生的金属膜等附着于光取出区域3A，可能使该光取出区域3A的透光率降低。相对于此，若内侧面11的曲率成为放电管3的曲率以下，则能够抑制溅射向外部泄漏。另外，针对各侧面电极5中的上述内侧面11以外的外侧面，在构成其的上表面和前表面(或后表面)之间、下表面与前表面(或后表面)之间分别形成锥面13。通过形成该锥面13而使各侧面电极5没有棱角突出的部分，从而能够抑制在外侧面产生电晕放电。需要说明的是，若将外侧面整体形成为曲面形状，则能够更有效地抑制电晕放电。(3)反射膜在放电管3夹在电极5A、5B之间的两个部分中，下侧部分成为光取出区域3A，在上侧部分的外表面形成有绝缘性的反射膜9。该反射膜9使用例如将绝缘性的微粒子烧结而成的反射膜或电介质多层膜等公知的材料。 (4)保持块图8是图6的C-C剖视图，图9是图5的A-A剖视图。其中，在图8、9中，仅例示出两个所述的电介质屏蔽放电灯，并且，在表示用于连结这些灯的上述供电构件21、21这点与图5 7不同。ー对保持块7、7如图5、6所示以分别保持放电管3的各端部的方式配置。以下，在对两保持块7、7进行区别时称为“保持块7A”、“保持块7B”。各保持块7由例如陶瓷制品等具有绝缘性的材料形成。各保持块7作为整体为长方体状，其中，在与放电管3对置的对置面7C上形成有放电管收容部23和一对电极收容部
25。放电管收容部23为与放电管3的外形对应的截面圆形的凹部，能够收容放电管3的端部。需要说明的是，放电管收容部23的里侧对应于放电管3的端部形状而形成为前端细状。一对电极收容部25以前后夹着放电管收容部23的方式配置。各电极收容部25是与侧面电极5的外形对应的截面大致矩形的凹部，从而能够收容侧面电极5的端部。另夕卜，在各电极收容部25的里面25A形成有到达与保持块7中上述对置面7C的相反侧的非对置面7D的贯通孔27。该贯通孔27沿放电管3的左右方向延伸，由靠电极收容部25的螺钉穿过部分27A和比该螺钉穿过部分27A直径大的大径部分27B构成。另ー方面，在各侧面电极5的端面形成有螺纹孔5C。并且，如图8所示，保持块7A、7B分别嵌入放电管3及侧面电极5的各端部，从贯通孔27插入的螺钉29的螺纹部通过螺钉穿过部分27A与侧面电极5的螺纹孔5C螺合。由此，一对侧面电极5、5夹着放电管3且同时作为连结保持块7A、7B之间的梁而发挥保护放电管3的功能，由此，使放电管3和ー对侧面电极5、5 —体化。(5)用于抑制放电管的旋转的结构可以采用将侧面电极5通过蒸镀等与放电管3接合的结构，但在本实施方式中，为了抑制蒸镀等引起的作业负担和高成本，不使放电管3与侧面电极5接合。因此，可能因例如振动等使放电管3相对于侧面电极5相对旋转。在此，若允许该相对旋转，则因放电管3中与侧面电极5的边缘部分之间产生的放电而污染的部分构成光取出区域3A的一部分，其结果是，可能使该光取出区域3A的透光率降低。在此，在本实施方式中，在电介质屏蔽放电灯I设有用于抑制放电管3的旋转的结构。具体而言，如图5、7所示，在放电管3的靠端部的部分形成有凸部3B(卡合部的一例)。另一方面，在保持块7上形成有能够与该凸部3B卡合的凹部7E (该图的切入部分、被卡合部的一例)。并且，通过使两者3B、7E卡合，从而能够抑制放电管3相对于侧面电极5相对地旋转。(6)用于降低放电管与侧面电极的非接触区域的结构图IOA是表示连结前的侧面电极5与保持块7的放大图，图IOB是表示连结后的侧面电极5与保持块7的放大图。 如上所述，由于放电管3与侧面电极5未接合，因此，在两者3、5之间可以有较多的非接触区域。如此一来，向侧面电极5施加电压时，在两者3、5之间容易产生放电，存在因该放电使放电管3或侧面电极5发生劣化而寿命缩短的可能性。在此，在将侧面电极5和保持块7连结前，使电极收容部25的里面25A和侧面电极5的端面相对于前后方向(与侧面电极5A、5B的排列方向、放电管的长度方向垂直的方向)的角度不同。由此，在由螺钉29实现连结时，侧面电极5被向放电管3按压。在图IOA所示的例子中，侧面电极5A的端面与前后方向大致平行，另一方面，电极收容部25的里面25A稍朝向放电管收容部23侧地相对于前后方向倾斜。因此，在侧面电极5A与保持块7B通过螺钉29连结之际，在两面OT、25A之间产生使侧面电极5A向放电管3侧弯曲的力，其结果是，侧面电极5A被放电管3按压。由此，能够减少上述非接触区域。需要说明的是，作为其他例子，电极收容部25的里面25A与前后方向大致平行，另一方面，侧面电极5A的端面稍朝向放电管收容部23侧地相对于前后方向倾斜。3.供电构件的结构如图8所示，多个电介质屏蔽放电灯I沿前后方向排列，通过棒状的供电构件21、21而能够实现一体化。以下，对两供电构件21、21进行区别时，称为“供电构件21A”、“供电构件2IB ”。如图3及图4所示，各供电构件21为沿前后方向延伸的扁平的棒状形状的构件。作为供电构件21的材质为铝合金、不锈钢(SUS)、黄铜等具有导电性的材料即可，但从成本和加工性方面考虑，优选铝合金。供电构件21A与施加交流电压的电源装置的高电压端子(未图示的第一电源端子的一例)侧电连接，且同时作为将多个电介质屏蔽放电灯I的保持块7A整合地支承的第一支承构件21A发挥作用。另一侧的供电构件21B与电源装置的接地端子(未图示的第二电源端子的一例)侧电连接，且同时作为将多个电介质屏蔽放电灯I的保持块7B整合地支承的第二支承构件21B发挥作用。具体而言，上述螺钉29包括头部长的第一螺钉29A和头部短的第二螺钉29B两种，至少第一螺钉29A由具有导电性的材料形成。另外，在第一螺钉29A的头部形成有螺纹孔 29C。侧面电极5A的一侧的端面(右侧端面)与第一螺钉29A螺合，从形成于供电构件21A的螺钉穿过孔21C穿过的螺钉31与该第一螺钉29A的头部螺合。因此，侧面电极5A与供电构件21A电连接。另外，侧面电极5A的另一侧的端面(左侧端面)与第二螺钉29B螺合，该第二螺钉29B与供电构件21B分离。因此，侧面电极5A与供电构件21B成为绝缘状态。反之，侧面电极5B的一侧的端面5D(右侧端面)与第二螺钉29B螺合，使该第二螺钉29B与供电构件21A分离。因此，侧面电极5B与供电构件21A成为绝缘状态。另外，侧面电极5B的另一侧的端面5D(左侧端面)与第一螺钉29A螺合，从形成于供电构件21B的螺钉穿过孔21C穿过的螺钉31与该第一螺钉29A的头部螺合。因此，侧面电极5B与供电构件21B电连接。如上所述，侧面电极5A与供电构件21A直接连结，且经由保持块7B与供电构件21B间接地连结。另外，侧面电极5B与供电构件21B直接连结，且经由保持块7A与供电构件21A间接连结。并且，侧面电极5A经由供电构件21A与电源装置的上述高电压端子侧连接，侧面电极5B经由供电构件21B与接地端子侧连接。并且，在相邻的两个电介质屏蔽放电灯1、1 之间相互对置的侧面电极5A、5B共同与供电构件21A及供电构件21B任一方连接。在图8中，前侧的电介质屏蔽放电灯I的侧面电极5B与后侧的电介质屏蔽放电灯I的侧面电极5A与供电构件21B连接。另外，该后侧的电介质屏蔽放电灯I的侧面电极5B和更后侧的电介质屏蔽放电灯(未图示)的侧面电极5A与供电构件21A连接。因此，能够避免例如在对置的一侧的侧面电极5A与供电构件2IA连接且另一侧的侧面电极5B与供电构件2IB连接的结构中，两电极5A、5B短路的情况，能够使各电介质屏蔽放电灯I彼此接近配置。4.本实施方式的效果根据本实施方式，一对侧面电极5、5以在放电管3的外周面的周向上光取出区域3A位于两电极5、5之间的方式分别配置在放电管3的外周面上。因此，在光取出区域3A不存在电极。从而，与在光取出区域配置网状电极的现有结构相比，能够提高透光率。另外，在利用电介质屏蔽放电灯对被处理物(例如液晶面板的玻璃基板)进行光清洗的情况下，由于从气氛中的喷雾和被处理物产生的分解气体而污染光取出区域，从而导致该光取出区域的透光率降低。因此，需要除去该污染部。然而，在上述专利文献I记载的现有结构(以往结构)中，网状电极成为阻碍而难以除去光取出区域的污染部。相对于此，在本实施方式的电介质屏蔽放电灯I中，由于光取出区域3A不存在电极，因此，能够简单地除去光取出区域3A的污染部。另外，在现有结构中，当向电极施加电压时，在网状电极产生溅射而使金属膜附着在放电管的表面，从而存在光取出区域的透光率降低的可能性。相对于此，在本实施方式的电介质屏蔽放电灯I中，在光取出区域3A不存在电极，因此，例如即使在侧面电极5产生溅射，金属膜也不易附着于光取出区域3A，从而能够抑制光取出区域3A的透光率降低。另外，在如现有结构那样使用网状电极的情况下，为了将该网状电极形成在放电管上而耗费工时和成本，而根据本实施方式，由于不使用网状电极，因此，能够降低这种工时和成本。进而，在现有结构中，存在形成于光取出区域的网状电极与被处理物接触等而断线，从而电介质屏蔽放电灯自身无法使用的可能性，然而，在本实施方式中，能够抑制这种情况的产生。进而，根据本实施方式，由于在放电管3上设有凸部3B (卡合部)，在保持块7上设有凹部7E (被卡合部)，因此，通过使卡合部与被卡合部卡合，从而能够抑制电极5与放电管3相对旋转，进而抑制光取出区域3A的透光率降低。进而，根据本实施方式，在多个电介质屏蔽放电灯排列配置的状态下通过供电构件21 (支承构件)及侧面电极5 (梁构件)实现一体化。因此，在将多个电介质屏蔽放电灯I在规定的设置场所作为平面灯使用的同时，能够从该设置场所集中取出而进行更换作业等，从而提闻便利性。进而，在本实施方式中，ー对保持块7、7分别保持放电管3的各端部，侧面电极5、5为呈棒状形状的构件，通过将ー对保持块7、7之间连结并作为构造件(梁)来保护放电管3而发挥作用。因此，与设置电极之外的构造件的结构相比，能够降低部件件数。另外，通过作为侧面电极5使用棒状形状的电极，从而与网状电极等相比，截面积大而阻抗变低，从而能够降低电极的功率损耗。此外，在本实施方式中，在侧面电极5、5之间，在与光取出区域3A不同的部分形成 有绝缘性的反射膜9。因此，不需要另行设置反射板。另外，由于反射膜9为绝缘性，因此能够防止侧面电极5、5之间短路。〈实施方式2>图IlAUlB表不实施方式2。与上述实施方式I不同的是放电管3与侧面电极5的接触方法，其他方面与所述实施方式I相同。从而，与实施方式I标注相同符号而省略重复的说明，仅对不同的部分进行如下说明。图IlA是表示侧面电极5和保持块7连结前的放电管3与侧面电极5的示意图，图IlB是表示侧面电极5与保持块7连结后的放电管3与侧面电极5的示意图。在本实施方式中，在放电管3与侧面电极5之间，导电性的缓冲构件(弹性构件)以弹性变形的状态被插入。具体而言，在侧面电极5中与放电管9对置的对置面5E沿左右方向形成槽5F，在该槽5F内插入有螺旋弹簧33 (缓冲构件的一例)(參照图11A)。并且，当侧面电极5与保持块7连结吋，螺旋弹簧33夹在放电管3与侧面电极5之间而压缩变形。由此，能够减少两者3、5的非接触区域。需要说明的是，除螺旋弹簧33以夕卜，也可以为例如钢丝或导电性橡胶等。根据本实施方式，由于利用螺旋弹簧33来降低放电管3与侧面电极5的非接触区域，因此能够抑制向侧面电极5施加电压时，在放电管3与侧面电极5之间产生放电。〈实施方式3>图12A、12B表示实施方式3。与上述实施方式I不同的是电极的结构以及用于保护放电管3的梁构造,其他点与所述实施方式I相同。因此，与实施方式I标注相同符号而省略重复的说明，仅对不同的部分进行如下说明。图12A是从左右方向观察本实施方式的电介质屏蔽放电灯I"的剖视图，图12B是将放电管3、ー对电极41、41、一对梁构件43、43组合前的分解图。以下，在对两电极41、41进行区别的情况下，称为“电极41A”、“电极41B”，在对两梁构件43、43进行区别的情况下，称为“梁构件43A”、“梁构件43B”。各电极41为沿放电管3的左右方向延伸的平板状的板簧。作为原料为磷青铜、不锈钢、铍铜等具有导电性的材料即可，尤其优选耐腐蚀性高的材质，在本实施方式中，为厚度大致为O. 03mm的不锈钢制的板簧。
各梁构件43为沿放电管3的左右方向延伸的棒状的构件。具体而言，在各梁构件43中与放电管3的外周面对置的对置面开ロ形成有沿上述左右方向的槽45，由此，从左右方向观察各梁构件43时，截面呈大致“ C”字形(有棱角“ C”)。需要说明的是，各梁构件43只要为不锈钢制，则不需要铝阳极化处理，例如，若利用用于例如镜保持等的通用的C管，则能够进ー步降低成本。在ー对保持块WヽV上形成有与各梁构件43的左右方向的各端部的截面形状对应的电极收容部25'、25'。并且，如图12B所示，各梁构件43配置成在与放电管3之间夹着各电极41，左右方向的各端部收容于ー对保持块7'、7'的电极收容部25'内且与电极收容部25'连结。需要说明的是，各梁构件43为具有导电性的不锈钢制构件，例如，各端部被闭塞，在此，优选经由与上述实施方式I同样的螺钉29A、29B固定在各保持块7'上，其结果是，优选成为各电极41与各供电构件21电连接的结构。此外，通过将各梁构件43与ー对保持块7'、7'连结，从而各电极41被各梁构件43压向放电管3的外周面侧。更具体而言，各电极41被梁构件43的开ロ端(槽45的两侧缘)47、47按压，从而以仿形于放电管3的外周面的方式弯曲成U字形(參照图12A)。由 此，能够使各电极的上下方向上的两侧缘侧更可靠地与放电管3的外周面接触。另外，由于将梁构件43自身作为构造件使用，因此，对电极不要求具备上述实施方式1、2那样的強度。〈实施方式4>图13表不实施方式4。与上述实施方式I的不同点在于将电极向放电管按压的方法，其他点与所述实施方式I相同。因此，与实施方式I标注相同符号而省略重复的说明，仅对不同的部分进行如下说明。图13是示意地示出各电介质屏蔽放电灯I的放电管3及侧面电极5的俯视图。如该图所示，在相邻的两个电介质屏蔽放电灯1、1之间，向使该对置的侧面电极5A、5B彼此离开的方向施力的螺旋弹簧51 (施力构件的一例)以压缩变形的状态进行配置。根据本实施方式，通过螺旋弹簧51的反弾力(作用力)，各侧面电极5被向放电管3的外周面侧按压。因此，能够减少侧面电极5与放电管3的非接触区域，能够抑制放电管3点亮时在放电管3与侧面电极5之间产生放电的情况。〈实施方式5>參照图14 图18对本发明的实施方式5进行说明。图14是从下侧观察本实施方式的灯组件100而示出的仰视图。如图14所示，灯组件100是通过将多个(例如10个)电介质屏蔽放电灯101以沿前后方向排列的状态ー体化后的部件。具体而言，灯组件100具备将上述多个电介质屏蔽放电灯101排列而成的电介质屏蔽放电灯列102、以及ー对供电构件121、121 (第一支承构件121A及第ニ支承构件121B 的一例)。如图14所示，电介质屏蔽放电灯列102以将多个电介质屏蔽放电灯101邻接的电介质屏蔽放电灯101的连接片135 (详细后述)相邻的方式排列而成(将在图14的右下侧具有连接片135的电介质屏蔽放电灯101称为101A，将在该图右上侧具有连接片135的电介质屏蔽放电灯101称为101B)。如图15 图17所不，电介质屏蔽放电灯101具备放电管103、一对电极105、105、一对梁构件130、130、ー对保持块110、110、将梁构件130和保持块110连接的连接片135。图15是从下侧观察电介质屏蔽放电灯101而示出的仰视图，图16是电介质屏蔽放电灯101的侧视图，图17是放电管103、电极105及梁构件130的分解侧视图。在沿放电管103的长度方向(图15的左右方向)的外周面中的下表面侧设有用于将在该放电管103内产生的光取出到外部的光取出区域103A，在上侧部分的外表面形成有绝缘性的反射膜(未图示)。一对电极105、105在放电管103的外周面的周向上以光取出区域103A位于两电极105、105之间的方式分别配置在外周面上。以下，在对两侧面的电极105、105进行区别的情况下，称为“电极105A”、“电极105B”。需要说明的是，反射膜的结构与上述实施方式I相同。图15中的104为放电空间。放电管103的靠端部的部分不具有凸部3B这一点与实施方式I不同，其他结构与实施方式I的电介质屏蔽放电灯I的放电管3大致相同。各电极105为沿放电管103的长度方向延伸的平板状的板簧。作为原料为磷青铜、不锈钢、铍铜等具有导电性的材料即可，尤其优选耐腐蚀性高的材质，在本实施方式中， 使用厚度为大致略O. 03mm的不锈钢制的板簧。在本实施方式中，如图18所示，在各电极105上设有沿与长度方向交叉的方向形成的多个狭缝106。狭缝106在沿电极105的长度方向的缘部及中央部分形成有多个。这些狭缝106在电极105受热之际进行散热，具有防止电极105因热膨胀而变形的功能。需要说明的是，在本实施方式中，与实施方式3相同，也通过使一对梁构件130、130与一对保持块110、110连结，从而使各电极105被各梁构件130、130向放电管103的外周面侧按压。由此，能够使各电极105的上下方向的两侧缘侧更可靠地与放电管103的外周面接触。进而，如图18所示，在各电极105上设有沿与长度方向交叉的方向(宽度方向)突出形成的多个突部107。多个突部107大致垂直地折弯而插入梁构件130、130的槽131中，由此，电极105不会错位而组装在梁构件130、130的规定位置。即，设置在电极105上的突部107为防止电极105错位的部位(“错位防止突部”的一例)。一对梁构件130、130为沿放电管103的长度方向延伸的棒状的构件，与实施方式3的梁构件43相同，也在与放电管103的外周面对置的对置面上开口形成有沿着长度方向的槽131。由此，本实施方式的梁构件130从左右方向观察时，其截面也大致C字形。需要说明的是，作为各梁构件130若使用不锈钢制的构件，则不需要铝阳极化处理，若利用例如用于镜保持的通用的C管，则能够进一步降低成本。各梁构件130的长度方向上的两个端部130C、130D通过螺钉构件140 (第二螺钉构件140B)的螺合而与各保持块110、110连接。在各梁构件130的两个端部130CU30D分别设有与保持块110直接连接的第一连接孔132A和与连接片135 —起与保持块110连接的第二连接孔132B。需要说明的是，在对一对梁构件130、130进行区别的情况下，称为“梁构件130A”、“梁构件130B”。如图15及图16所示，一对保持块110、110分别保持放电管103的各端部。以下，在对两保持块110、110进行区别的情况下，称为“保持块110A”、“保持块110B”。各保持块110由例如陶瓷制品等具有绝缘性的材料形成。各保持块110整体呈大致圆筒状，其中，在与放电管103对置的对置面IlOC上形成有放电管收容部111。放电管收容部111是与放电管103的外形对应的截面圆形的凹部，能够收容放电管103的端部。需要说明的是，放电管收容部111的里侧与放电管103的端部形状对应而形成为前端细的形状。在各保持块110的外侧面形成有向外侧方向突出形成且与连接片135和供电构件121连接的连接突部112。连接突部112以从保持块110的对置面IlOC经由对置面IlOC相反侧的面IIOD (非对置面110D)而与对置面IIOC相连的方式形成为大致U字状，连接突部112的一端部112A和另一端部112B配置于在对置面IlOC上对置的位置。在保持块110的非对置面IlOD能够以将连接片135夹在中间的方式与将保持块与供电构件121连接的螺钉构件140 (第一螺钉构件140A)螺合。连接突部112的到达非对置面IlOD侧的部分为呈弧状的弧状部112D，容易添加连接片135的弯曲部138。在保持块110的对置面IlOC上，梁安装部113、113设置在对置的位置上，所述梁安装部113、113与连接突部112的端部112AU12B相连，并且突出形成在放电管103的中央方向侧(图15 图17的中央方向侧)，而且安装有梁构件130的端部130C、130D。在梁安装部113与连接突部112之间形成有台阶114，梁构件130的端部130C、130D与该台阶 114处抵接而被固定。通过第二螺钉构件140B与各梁安装部113的螺合能够将连接片135及梁构件130连接。连接片135为对保持块110和梁构件130进行连接且对保持块110和供电构件121进行连接的构件，如图17所示，连接片135为呈大致L字状的导电性构件。连接片135具有与保持块110的非对置面IlOD重叠且与供电构件121连接的第一连接部136、与安装在保持块110上的梁安装部113的梁构件130连接的第二连接部137。从连接片135的第一连接部136至第二连接部137的弯曲部138以成为沿保持块110的弧状部112D的形状(弧状)的方式弯曲。在连接片135的第一连接部136设有第一螺钉构件140A可穿过的螺钉穿过孔(未图示)，在连接片135的第二连接部137设有供第二螺钉构件140B穿过的螺钉穿过孔(未图示)。另外，在连接片135的第二连接部137设有从宽度方向夹持保持块110的连接突部112的ー对夹持片137B、137B。连接片135相对于ー个保持块110各安装ー个。具体而言，在图15的右侧的保持块IlOA安装在梁构件130A侧，在该图左侧的保持块IlOB安装在梁构件130B侧。将多个电介质屏蔽放电灯101 —体化的ー对供电构件121、121为沿放电管103的排列方向延伸的棒状的构件，与梁构件130同样，也开ロ形成有沿着长度方向的槽122，能够使形成在保持块110、110的非对置面IlOD上的连接突部112嵌入该槽122被保持。以下，在对ー对供电构件121、121进行区别时，称为“供电构件121A”、“供电构件121B”。作为各供电构件121的材质为铝合金、不锈钢SUS)、黄铜等具有导电性的材料即可，但从成本方面和加工性考虑优选不锈钢和铝合金。作为各供电构件121使用与梁构件130同样的不锈钢制的通用的C管时，能够进一歩降低成本，因而尤其优选。供电构件121A与施加交流电压的电源装置的高电压端子(未图示，第一电源端子的一例)侧电连接，并且作为整合地支承多个电介质屏蔽放电灯101的保持块IlOA的第一支承构件121A而发挥作用。另ー侧的供电构件121B与电源装置的接地端子(未图示，第二电源端子的一例)侧电连接，并且作为整合地支承多个电介质屏蔽放电灯101的保持块IlOB的第二支承构件121B发挥作用。
在供电构件121、121形成有能够将第一螺钉构件140A插入的螺钉插入孔123，供电构件121、121通过第一螺钉构件140A的螺合而与连接片135及各电介质屏蔽放电灯101的保持块110连接。安装有电介质屏蔽放电灯IOlA的电极105A的梁构件130B的一方的端部130D (图14中的左侧端部)通过第二螺钉构件140B的螺合而与连接片135连接，该连接片135通过第一螺钉构件140A的螺合与供电构件121B连接。因此，电极105A与供电构件121B被电连接。另一方面，安装了电极105A的梁构件130B的另一方的端部130C(图14中的右侧端部)通过第二螺钉构件140B的螺合与保持块IlOA连接，因此，电极105A和供电构件121A成为绝缘状态。并且，安装了电介质屏蔽放电灯IOlA的电极105B的梁构件130A的一方的端部130D (图14中的右侧端部)通过第二螺钉构件140B的螺合而与连接片135连接，该连接片135通过第一螺钉构件140A的螺合而与供电构件121A连接。因此，电极105B和供电构件 121A被电连接。另一方面，安装有电极105B的梁构件130A的另一方的端部130C(图14中的左侧端部)通过第二螺钉构件140B的螺合与保持块IlOB连接，因此，电极105B和供电构件121B成为绝缘状态。另一方面，安装了电介质屏蔽放电灯IOlB的电极105A的梁构件130B的一方的端部130D(图14中的右侧端部)通过第二螺钉构件140B的螺合而与连接片135连接，该连接片135通过第一螺钉构件140A的螺合与供电构件121A连接。因此，电极105A和供电构件121A被电连接。另一方面，安装了电极105A的梁构件130B的另一方的端部130C(图14中的左侧端部)通过第二螺钉构件140B的螺合与保持块IlOB连接，因此，电极105A与供电构件121B成为绝缘状态。并且，安装了电介质屏蔽放电灯IOlB的电极105B的梁构件130A的一方的端部130D (图14中的左侧端部)通过第二螺钉构件140B的螺合而与连接片135连接，该连接片135通过第一螺钉构件140A的螺合而与供电构件121B连接。因此，电极105B和供电构件121B被电连接。另一方面，安装了电极105B的梁构件130A的另一方的端部130C (图14中的右侧端部)通过第二螺钉构件140B的螺合与保持块IlOA连接，因此，电极105B和供电构件12IA成为绝缘状态。而且，所述电介质屏蔽放电灯IOlB的电极105A经由梁构件130及供电构件121A与电源装置的上述高电压端子侧连接，所述电介质屏蔽放电灯IOlB的电极105B经由梁构件130及供电构件121B与接地端子侧连接。并且，在相邻的两个电介质屏蔽放电灯101A、IOlB之间相互对置的电极105AU05B共同连接供电构件121A及供电构件121B的任一方。在图14中，电介质屏蔽放电灯IOlA的电极105B和与其邻接的电介质屏蔽放电灯IOlB的电极105A与供电构件121A连接。另外，电介质屏蔽放电灯IOlB的电极105B和与其邻接的电介质屏蔽放电灯IOlA的电极105A与供电构件121B连接。因此，能够避免在例如对置的一方的电极105A与供电构件121A连接且另一方的电极105B与供电构件121B连接的结构中，两电极105AU05B短路的情况，能够靠近配置各电介质屏蔽放电灯101A、101B。其次，对本实施方式的效果进行说明。在本实施方式中，一对电极105、105分别配置成在放电管103的外周面的周向上光取出区域103A位于两电极105、105之间，在光取出区域103A不存在电极105。从而，根据本实施方式，与实施方式I同样，也能够提高透光率，并且能够简单地除去光取出区域103A的污染部，而且，即使在电极105产生溅射，金属膜也不易附着在光取出区域103A，能够抑制光取出区域103A的透光率的降低。另外，根据本实施方式，由于没有使用网状电扱，因此，能够减少在放电管103上形成网状电极的エ时和成本，并且能够抑制使用了网状电极的结构所产生的问题(网状电极与被处理物接触而导致发生断线等)。另外，根据本实施方式，多个电介质屏蔽放电灯101以并排配置的状态通过供电构件121 (支承构件)及梁构件130实现一体化。因此，能够将多个电介质屏蔽放电灯101在规定的设置场所作为平面灯使用，且同时能够从该设置场所集中取出而进行更换作业等，从而能够提闻便利性。另外，本根据本实施方式，与实施方式3同样,也通过使ー对梁构件130、130与一 对保持块110、110连结，使各电极105、105通过各梁构件130、130被压向放电管103的外周面侧，因此，能够使各电极105、105的上下方向的两侧缘侧更可靠地与通过放电管103的外周面接触。尤其是，根据本实施方式，在电极105上设有错位防止突部107，该错位防止突部107在与长度方向交叉的方向上突出形成，并插入梁构件130的槽131内，从而防止平板状的电极105、105的错位，因此，能够将电极105定位到梁构件130的规定位置，从而能够确保没有错位地良好的接触状态。进而，在本实施方式中，在电极105上的与长度方向交叉的方向设有多个狭缝106，因此，在电极105受热时，能够从狭缝106散热，从而防止热膨胀导致的变形。〈其他实施方式〉本发明并没有限定于上述记载及图面说明的实施方式，例如下述各种方式也包含在本发明的技术范围内。(I)在上述实施方式中，光取出区域为朝向被处理物侧的对置部分(放电管3的下侧部分)，但本发明并不限定于此，也可以是该对置部分相反侧的部分(放电管3的上侧部分)。例如，在紫外线照射装置中，在电介质屏蔽放电灯的上方(被处理物侧的相反侧)设有反射板，从电介质屏蔽放电灯的上侧部分射出的光被反射板反射而向被处理物照射。在如此使用的电介质屏蔽放电灯中，该放电管的上侧部分为光取出区域。(2)在上述实施方式中，ー对侧面电极5、5配置成将各自的位置和放电管3的中心轴连接的直线彼此所成的角度为大致180度，但本发明并不限定于此。例如，也可以配置成为132度。总之,ー对侧面电极5、5“以在外周面的周向上光取出区域位于ー对电极之间的方式分别配置在外周面上”即可。其中，一对电极5、5需要离开不会发生短路程度的距离。(3)在上述实施方式中，使用了棒状形状和平板状的侧面电极5A、5B，但本发明的电极不限定于此。可以为例如网状、条纹状、放射状、或涡卷状导电体所构成的电极。进而，也可以是通过镀敷、喷镀、蒸镀或溅射而形成在放电管3上的薄膜电极或被印制的电极。其中，只要是上述实施方式I的结构(棒状的电极)，则具有能够将电极5A、5B作为构造件(梁)发挥作用的优点。薄膜电极的材质为铝的情况下，容易反射紫外线，因此具有提高紫外线强度的优点，当膜厚过小时，电阻变大，当膜厚过大时，应力变大而容易剥离。考虑到这些方面，对于能够实现适当膜厚的电极这一方面，优选通过喷镀形成电极。在蒸镀中需要真空腔，但在喷镀过程中，不需要真空腔，因而成本低。需要说明的是，通过喷镀形成电极的情况下，从密接性良好的方面出发，优选喷镀铝。(4)在上述实施方式中，将反射膜9形成在放电管3的外表面，但本发明并不限定于此，也可以形成在放电管3的内表面。特别是，当在反射膜9因紫外线照射等劣化而产生微粒而该微粒落下到被处理物上这种问题出现时，优选将反射膜9形成在放电管3的内表面。其中，这种结构使制造负载、成本变高，因此，只要不产生上述问题，优选采用上述实施方式的结构。(5)在上述实施方式I及实施方式2中，两侧面电极5、5为棒状的构件，但本发明并不限定于此。例如，使两侧面电极5、5中的至少一个为网状电极等，可以将保持块7、7之间由其他构造件连结。其中，只要是上述实施方式的结构，则具有降低部件件数等的优点。 (6)在上述实施方式3中，利用了板簧构成的电极41，但本发明并不限定于此。例如，可以是不锈钢制以外的导电体(包含导电橡胶)构成的电极。而且可以是网状电极。(7)在上述实施方式中，作为梁构件发挥作用的构件(侧面电极5和梁构件43)按一个各电介质屏蔽放电灯而设置有两个，但本发明并不限定于此。例如，作为灯组件整体，可以为仅具有一个梁构件的结构，也可以为在前后方向的端部各具有一个梁构件的结构。另外，将上述实施方式1、2的相邻的侧面电极5A、5B共用化为同一构件。(8)在上述实施方式中，作为施力构件利用了螺旋弹簧51，但本发明并不限定于此。只要能够朝向使对置的电极离开的方向施力即可，例如可以为板簧或橡胶构件。(9)在上述实施方式5中，示出了具备在与电极的长度方向交叉的方向形成有狭缝106，且具备形成有错位防止突部107的电极105、105的结构，但本发明并不限定于此。可以是仅形成有错位防止突部107及狭缝106中的任一方的电极，狭缝106的形成方向可以与长度方向大致平行。(10)在上述实施方式中，示出了具备合成石英玻璃制的放电管的结构，但放电管的材料并不限定于此。例如，只要是222nm等比200nm以下的真空紫外区域波长高的区域的发光，则可以使用合成石英玻璃以外的玻璃。作为放电用气体使用氟系的情况下，可以在玻璃内表面实施耐氟处理。
权利要求
1.一种电介质屏蔽放电灯,其特征在于,具备 封入有放电气体的长条状的放电管； 一对电极， 所述放电管的沿着该放电管的长度方向的外周面的一部分为用于将在所述放电管内产生的光取出到外部的光取出区域， 所述一对电极以所述光取出区域在所述外周面的周向上位于所述一对电极之间的方式分别配置在所述外周面上。
2.根据权利要求I所述的电介质屏蔽放电灯，其特征在于， 具备分别保持所述放电管的所述长度方向上的各端部的一对保持块， 所述一对电极中的至少一方的电极为沿所述长度方向延伸的棒状形状，该棒状形状的电极的各端部分别与所述保持块连结。
3.根据权利要求2所述的电介质屏蔽放电灯，其特征在于， 所述放电管是截面为圆形的圆管， 所述棒状形状的电极的与所述放电管对置的内侧面为曲面，该内侧面的曲率为所述放电管的外周面的曲率以下。
4.根据权利要求2或3所述的电介质屏蔽放电灯，其特征在于， 在所述棒状形状的电极的与所述放电管对置的内侧面以外的外侧面，在相邻的面之间形成锥面。
5.根据权利要求2 4中任一项所述的电介质屏蔽放电灯,其特征在于， 在所述保持块的与所述放电管的所述长度方向上的端部对置的对置面上形成有收容所述放电管的放电管收容部；以夹着所述放电管收容部的方式配置且分别收容所述一对电极的电极收容部。
6.根据权利要求5所述的电介质屏蔽放电灯，其特征在于， 在所述保持块上形成有贯通孔，该贯通孔从所述电极收容部的与所述电极的端面对置的里面连接而到达所述保持块的与所述对置面相反侧的非对置面， 在所述电极的端面形成有供从所述贯通孔插入的螺钉螺合的螺纹孔。
7.根据权利要求6所述的电介质屏蔽放电灯，其特征在于， 所述电极的端面相对于与所述放电管的所述长度方向垂直的方向所成的角度和所述电极收容部的所述里面相对于与所述放电管的所述长度方向垂直的方向所成的角度不同，所述电极与所述保持块连结时，所述电极按压所述放电管。
8.根据权利要求2 7中任一项所述的电介质屏蔽放电灯，其特征在于， 导电性的弹性构件以弹性变形的状态插入于所述放电管与所述一方的电极之间。
9.根据权利要求I所述的电介质屏蔽放电灯，其特征在于，具备 一对保持块，其分别保持所述放电管的所述长度方向上的各端部； 梁构件，其为沿所述长度方向延伸的棒状构件，所述长度方向上的各端部分别与所述保持块连结， 所述一对电极中的至少一方的电极配置在所述放电管的外周面与所述梁构件之间，被与所述保持块连结的所述梁构件向所述外周面侧按压。
10.根据权利要求9所述的电介质屏蔽放电灯，其特征在于，所述ー对电极中的至少一方的电极呈沿所述长度方向延伸的平板状， 在所述梁构件的与所述外周面对置的对置面上形成有沿着所述长度方向的槽，通过与所述保持块连结，所述一方的电极被所述对置面的所述槽的两侧缘按压弯曲成U字形且同时被压向所述外周面侧。
11.根据权利要求10所述的电介质屏蔽放电灯，其特征在干， 在沿所述长度方向延伸的平板状的电极上设置有多个狭縫。
12.根据权利要求10或11所述的电介质屏蔽放电灯，其特征在于， 在沿所述长度方向延伸的平板状的电极上设有错位防止突部，该错位防止突部朝向与所述长度方向交叉的方向突出形成并插入所述梁构件的槽中，从而防止所述平板状的电极错位。
13.根据权利要求2 12中任ー项所述的电介质屏蔽放电灯，其特征在于， 所述放电管是截面为圆形的圆管， 在所述放电管上设有卡合部，在所述ー对保持块中的至少一方的保持块上设有与所述卡合部卡合的被卡合部。
14.根据权利要求I 13中任ー项所述的电介质屏蔽放电灯，其特征在于， 在所述放电管上被所述ー对电极夹着的两个部分中，一部分为所述光取出区域，在另一部分形成有绝缘性的反射膜。
15.一种灯组件，其特征在于，具备 电介质屏蔽放电灯列，其通过多个权利要求2 14项中任ー项所述的电介质屏蔽放电灯沿与所述放电管的长度方向交叉的方向排列配置而成； 第一支承构件，其整合地支承所述电介质屏蔽放电灯的所述长度方向上的一方的保持块； 第二支承构件，其整合地支承所述多个电介质屏蔽放电灯的所述长度方向上的另一方的保持块。
16.根据权利要求15所述的灯组件，其特征在干， 所述第一支承构件为连接到与电源相连的第一电源端子侧的供电构件， 所述第二支承构件为连接到与所述电源相连的第二电源端子侧的供电构件， 在相邻的两个所述电介质屏蔽放电灯之间相互对置的所述电极彼此共同连接于所述第一支承构件及所述第二支承构件的任一方。
17.根据权利要求15或16所述的灯组件，其特征在干， 所述第一支承构件为沿所述交叉的方向延伸的导电性的棒状构件，并且为连接到与电源相连的第一电源端子侧的供电构件， 所述第二支承构件为沿所述交叉的方向延伸的导电性的棒状构件，并且为连接到与所述电源相连的第二电源端子侧的供电构件， 所述各电介质屏蔽放电灯具有的所述ー对电极中的一方电极与所述第一支承构件电连接，另一方的电极与所述第二支承构件电连接。
18.根据权利要求15 17中任一项所述的灯组件，其特征在干， 在相邻的两个电介质屏蔽放电灯之间设置有施カ构件，该施カ构件朝向使所述对置的所述电极彼此分离的方向施力。
全文摘要
电介质屏蔽放电灯(101)具备封入有放电气体的长条状的放电管(3)和一对电极(5、5)。放电管(3)的沿着放电管(3)的长度方向的外周面的一部分为用于将在放电管(3)内产生的光取出到外部的光取出区域(3A)。一对电极(5、5)以光取出区域(3A)在放电管(3)的外周面的周向上位于上述一对电极(5、5)之间的方式分别配置在放电管(3)的外周面上。
文档编号H01J65/00GK102822941SQ20118001424
公开日2012年12月12日 申请日期2011年3月8日 优先权日2010年3月18日
发明者畑濑和也, 片桐毅, 细谷浩二 申请人:株式会社杰士汤浅国际