扫描电镜用角度可调多用试样座的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种扫描电镜用角度可调多用试样座，包括试样支承座，试样支承座为沿轴向分割的四分之一圆柱体，其截面呈直角扇形，它通过两端设置的旋转轴与U型支架活动连接，试样支承座可绕旋转轴相对于U型支架进行90°旋转；U型支架两侧对应旋转轴的位置设置有刻度指示盘，试样支承座两端的旋转轴上设置有角度指针；U型支架两侧还设置有紧固定位螺栓，紧固螺栓穿过U型支架侧壁，与试样支承座两端顶紧配合。本设计可以实现同时观察试样表面及断面，且可以同时放置多组试样，大大提高观察效率；试样支承座可绕轴旋转90°，且可定位在0～90°任一角度，只需旋转试样支承座，即可满足试样不同角度的观察要求，无需反复取下试样，避免对试样造成损伤。
【专利说明】扫描电镜用角度可调多用试样座
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及扫描电镜实验室设备，具体地指一种扫描电镜用角度可调多用试样座。
【背景技术】
[0002]在扫描电镜实验室实验中，常常需要对薄片试样进行表面、断面或倾斜一定角度进行观察。一般在观察试样表面及倾斜一定角度观察试样时直接用导电胶将试样粘附在扫描电镜试样台上，而观察试样断面时则用导电胶将试样竖立粘附在试样座上观察，或者用夹具夹持观察。但由于观察表面与观察截面时试样放置方式不同，更改试样放置方式时需要破坏扫描电镜试样室的真空环境，将试样从试样台取下，且容易污染待观察面。尤其是硅片等脆性试样，更改试样放置方式时很容易破碎；并且现有的试样座即使作单一水平或断面观察也不能同时放置多种试样，观察效率极低。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的就是要克服现有扫描电镜观察试样台存在的缺陷，提供一种能够便于更改试样角度及观察面，提高观察效率的扫描电镜用角度可调多用试样座。
[0004]为实现上述目的，本实用新型所设计的扫描电镜用角度可调多用试样座，包括试样支承座，其特殊之处在于:所述试样支承座为沿轴向分割的四分之一圆柱体，其截面呈直角扇形，它通过两端设置的旋转轴与U型支架活动连接，所述试样支承座可绕旋转轴相对于U型支架进行90°旋转；所述U型支架两侧对应旋转轴的位置设置有刻度指示盘，与之配合的，所述试样支承座两端的旋转轴上设置有角度指针；所述U型支架两侧还设置有紧固定位螺栓，所述紧固螺栓穿过U型支架侧壁，与试样支承座两端顶紧配合。
[0005]作为优选方案，所述试样支承座沿轴向设置有弧形槽。这样，可以提高试样扫描的准确性，避免影响试样断面扫描图像效果。
[0006]本实用新型的优点在于:本设计结构简单、便于操作，可以实现同时观察试样表面及断面，且由于试样支承座较长，可以同时放置多组试样，大大提高了观察效率；试样支承座可绕轴旋转90°，并且可以定位在O?90°任一角度，只需旋转试样支承座，即可满足试样不同角度的观察要求，无需反复取下试样，避免对试样造成损伤。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1为本实用新型扫描电镜用角度可调多用试样座的立体结构示意图。
[0008]图2为图1的A向结构示意图。
[0009]其中:U型支架I ;试样支承座2 ;旋转轴3 ;刻度指示盘4 ;角度指针5 ;紧固定位螺栓6 ;弧形槽7 ;试样8。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
[0011]图中所示的扫描电镜用角度可调多用试样座，包括试样支承座2，试样支承座2为沿轴向分割的四分之一圆柱体，其截面呈直角扇形，且其扇形圆心处沿轴向设置有弧形槽7，它通过两端设置的旋转轴3与U型支架I活动连接，试样支承座2可绕旋转轴3相对于U型支架I进行90°旋转；U型支架I两侧对应旋转轴3的位置设置有刻度指示盘4，与之配合的，试样支承座2两端的旋转轴3上设置有角度指针5 ；U型支架I两侧还设置有紧固定位螺栓6，紧固螺栓6穿过U型支架I侧壁，与试样支承座2两端顶紧配合。
[0012]本实用新型所设计的扫描电镜用角度可调多用试样座使用步骤如下:1、将固体导电胶粘贴在试样支承座2的两个切面上；
[0013]2、将一对匹配的试样分别通过导电胶粘贴固定在试样支承座2切面上；
[0014]3、通过U型支架I上的刻度指示盘4与试样支承座2两端角度指针5配合，将试样支承座2调整到需要的角度；
[0015]4、拧紧U型支架I端部的紧固定位螺栓6将试样支承座2固定；
[0016]5、将试样座放入扫描电镜试样室,对试样室抽真空,并观察试样的其中一组表面与断面；
[0017]6、撤除真空，调整试样支承座2的角度；
[0018]7、再次试样室抽真空，观察试样另一组表面与断面。
[0019]本实用新型即针对现有试样座的不足进行改进，其试样支承座2为为沿轴向分割的四分之一圆柱体，两侧切面互成90°，由于一般试样在制作断口时，形成的一对断口是相匹配的，可将一只断口通过导电胶水平粘附在试样支承座2—侧的切面上，另一匹配断口则粘附在另一侧对应切面上；这样可使同一试样的表面与断面在试样支承座2上处于同一水平面，在观察时，只需一次抽真空就可以同时观察到同一试样的其中一组表面与断面，观察另一组时仅需将试样支承座2旋转90° ;如果还需要观察倾斜一定角度，则将试样室除去真空状态，将试样支承座2倾斜至需要的角度锁紧即可，不需要重新粘附，可以避免损坏试样。
【权利要求】
1.一种扫描电镜用角度可调多用试样座，包括试样支承座(2),其特征在于:所述试样支承座(2)为沿轴向分割的四分之一圆柱体，其截面呈直角扇形，它通过两端设置的旋转轴⑶与U型支架⑴活动连接，所述试样支承座(2)可绕旋转轴(3)相对于U型支架(I)进行90°旋转；所述U型支架(I)两侧对应旋转轴(3)的位置设置有刻度指示盘(4)，与之配合的，所述试样支承座(2)两端的旋转轴(3)上设置有角度指针(5);所述U型支架(I)两侧还设置有紧固定位螺栓￠)，所述紧固螺栓￠)穿过U型支架(I)侧壁，与试样支承座(2)两端顶紧配合。
2.根据权利要求1所述的扫描电镜用角度可调多用试样座，其特征在于:所述试样支承座(2)沿轴向设置有弧形槽(7)。
【文档编号】H01J37/20GK204011358SQ201420502222
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年9月2日 优先权日:2014年9月2日
【发明者】张彦文, 王志奋, 吴立新, 陈士华, 周顺兵, 徐国涛 申请人:武汉钢铁(集团)公司