具有流体增压紧迫定位功能的对位平台的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种具有流体增压紧迫定位功能的对位平台，包括：基座和活动平台；基座与活动平台之间设置有至少两组导动装置；构件装设面中央凸设定位有中空限位座，中空限位座内部形成腔室、端面中央则设有一轴孔贯通腔室；活动平台内面凸设定位有抵靠板，抵靠板与活动平台内面之间界定形成有间隔空间；构件装设面与活动平台内面之间设有工字型迫紧座；通过工字型迫紧座的浮动盘与中空限位座的腔室之间的环状间隙空间相对构成一流体增压接口；流体增压接口连接有流体导入单元；本发明令活动平台的定止状态获得一种流体增压迫紧式的加强稳固功能与效果，达到增益活动平台结构强度与稳固性、大幅提升加工精度质量的目的。
【专利说明】具有流体增压紧迫定位功能的对位平台
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种对位平台装置，特别涉及一种具有流体增压紧迫定位功能的创新对位平台。
【背景技术】
[0002]按，随着高科技时代的来临，多种制造加工的处理模式已进入奈米等级，众多精密产品于制程中有更高更严苛的精度要求，尤其是光电及晶圆产品，其精密定位技术成为必备条件。
[0003]精密加工制程中，对位平台(或称对位滑台)为产业界普遍采用的设备；目前现有对位平台的典型结构形态，主要是在一活动平台与一基座之间横设有数组X轴向与Y轴向的螺杆导动装置，螺杆导动装置的组装座部被定位于基座，螺杆导动装置的伸缩作动端则呈滑动配合状态连结于活动平台；藉此，其运作时能够透过控制螺杆导动装置的其中单组作动或整体同动等方式，达到驱使活动平台位移或转动以调校加工精准度的目的。
[0004]前述对位平台结构于使用上虽确可达到其精密位移调校的功能，但其问题点却是出在于定位的部份，概因，现有对位平台结构无论处于作动状态或定止状态时，其活动平台的支撑力与定位性完全是仰赖螺杆导动装置的连接关系来达成，然而，由于螺杆导动装置与活动平台之间呈滑动配合连接关系，此种组合状态于二者各相连结处难免存在有配合公差，而配合公差累积的结果，势必造成对位平台于定止状态时并无法达到刚性稳固定位状态的问题，亦即对于侧向作用力并无足够的承载支撑能力，此一问题对于三轴配置形态的对位平台而言尤为严重，因其活动平台定止时，其中一导动轴呈较大自由度连结状态，故承载支撑能力较弱；而另一种四轴配置形态现有对位平台，其侧向承载力虽优于前述三轴配置形态者，但其缺点是制造成本大幅提高，且仍旧存在组合累进公差问题而无法达到刚性稳固支撑状态；是以综合上揭现有对位平台的结构设计，其加工过程中当活动平台受力达一定程度时，往往容易产生抖振、偏移现象而严重影响到最终产品加工精度与质量，如此而难以符合产业界预期的高精度要求，实有必要再加以思索突破。
【发明内容】
[0005]本发明的主要目的在于提供一种具有流体增压紧迫定位功能的对位平台。
[0006]为达到上述目的，本发明采用以下技术方案:
[0007]—种具有流体增压紧迫定位功能的对位平台包括:
[0008]—基座,为具有一面积与厚度的座体形态，该基座包括一着置面以及一构件装设面；
[0009]一活动平台，设于基座的构件装设面一间隔距离位置处，该活动平台包括一加工台面以及一内面；
[0010]至少两组导动装置，呈不同作动轴向分布形态设置连接于基座的构件装设面与活动平台的内面之间，导动装置用于驱使控制活动平台产生多方向平移调整运动；
[0011]一中空限位座，凸设定位于基座的构件装设面中央，该中空限位座内部形成一腔室，中空限位座的端面中央则开设有一轴孔贯通该腔室；
[0012]一抵靠板，凸设定位于活动平台的内面一间隔距离处，该抵靠板与活动平台内面之间界定形成有一间隔空间，抵靠板具一抵靠作用面与活动平台内面间隔相对，且抵靠板中央开设有一穿透口，又该抵靠板与中空限位座的端面之间呈相互抵靠状态；
[0013]一工字型迫紧座，设于基座的构件装设面与活动平台的内面之间的中央区域，该工字型迫紧座包括平行间隔配置的一浮动盘、一迫紧盘以及垂直向连结定位于该浮动盘与迫紧盘之间中央位置的一连动轴，其中该浮动盘置于中空限位座的腔室中，且浮动盘周边设有止密环而与腔室之间呈气密配合关系，迫紧盘置于抵靠板与活动平台内面之间所形成的间隔空间中，该迫紧盘具有一迫紧面与抵靠板的抵靠作用面相对应，该连动轴则穿组于中空限位座所设轴孔；
[0014]一流体增压接口，通过工字型迫紧座的浮动盘与中空限位座的腔室之间的环状间隙空间所相对构成；
[0015]一流体导入单元，包括设于中空限位座一侧的流体压力导入通道以及连通该流体压力导入通道的一流体导管，其中该流体压力导入通道内端连通流体增压接口。
[0016]藉此创新独特设计，使本发明对照先前技术而言，当该流体导入单元导入流体压力令流体增压界面之间隙膨胀时，整体工字型迫紧座会朝基座方向位移，驱使迫紧盘的迫紧面朝抵靠板的抵靠作用面产生抵紧作用，令活动平台的定止状态获得一种流体增压迫紧式的加强稳固功能与效果，进而达到增益精密对位平台的活动平台结构强度与稳固性、大幅提升加工精度质量且结构简单而易于量产制造等诸多实用进步性。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1为本发明结构较佳实施例的分解立体图。
[0018]图2为本发明结构较佳实施例的组合立体图。
[0019]图3为本发明结构较佳实施例的组合剖视图。
[0020]图4为本发明可利用流体压力迫紧定位的作动状态示意图。
[0021]图5为本发明的流体增压释放界面导入流体压力状态示意图。
【具体实施方式】
[0022]请参阅图1、2、3，本发明具有流体增压紧迫定位功能的对位平台A包括下述构成:
[0023]—基座10,为具有一面积与厚度的座体形态,该基座10包括一着置面11以及一构件装设面12 ；
[0024]一活动平台20，设于基座10的构件装设面12 —间隔距离位置处，该活动平台20包括一加工台面21以及一内面22 ；
[0025]至少两组导动装置30，呈不同作动轴向分布形态设置连接于基座10的构件装设面12与活动平台20的内面22之间，导动装置30藉以驱使控制活动平台20产生多方向平移调整运动(通常为X轴、Y轴以及旋转运动)；
[0026]一中空限位座40，凸设定位于基座10的构件装设面12中央，该中空限位座40内部形成一腔室41，中空限位座40的端面42中央则开设有一轴孔43贯通该腔室41 ；
[0027]—抵靠板50，凸设定位于活动平台20的内面一间隔距离处，该抵靠板50与活动平台20内面之间界定形成有一间隔空间51，抵靠板50具一抵靠作用面52与活动平台20内面22间隔相对，且抵靠板50中央开设有一穿透口 53，抵靠板50与中空限位座40的端面42之间呈相互抵靠状态；
[0028]一工字型迫紧座60，设于基座10的构件装设面12与活动平台20的内面22之间的中央区域，该工字型迫紧座60包括平行间隔配置的一浮动盘61、一迫紧盘62以及垂直向连结定位于该浮动盘61与迫紧盘62之间中央位置的一连动轴63，其中该浮动盘61置于中空限位座40的腔室41中呈可限位滑移浮动状态，且浮动盘61周边设有止密环612而与腔室41之间呈气密配合关系，迫紧盘62置于抵靠板50与活动平台20内面22之间所形成的间隔空间51中，该迫紧盘62具有一迫紧面624与抵靠板50的抵靠作用面52相对应，该连动轴63则穿组于中空限位座40所设轴孔43呈可轴向枢动状态；
[0029]一流体增压接口 70，通过工字型迫紧座60的浮动盘61与中空限位座40的腔室41之间的环状间隙空间所相对构成；
[0030]一流体导入单元80，包括设于中空限位座40 —侧的流体压力导入通道81以及藉以导入一外部流体(为气体或油)压力并连通该流体压力导入通道81的一流体导管82，其中该流体压力导入通道81内端连通流体增压界面70。
[0031]通过上述结构组成设计，本发明对位平台A实际应用上，其所能达到的创新独特功能如图4所示，当该流体导入单元80导入流体压力(如箭号LI所示)令流体增压界面70之间隙膨胀时，整体工字型迫紧座60会朝基座10方向位移(如箭号L2所示)，驱使迫紧盘62的迫紧面624朝抵靠板50的抵靠作用面52产生抵紧作用(如箭号L3所示)，藉此令活动平台20的定止状态能够获得一种流体增压迫紧式的加强稳固功能与效果，此即为本发明所欲诉求与达到的主要功效及目的。
[0032]如图3所示，其中该抵靠板50与中空限位座40的端面之间更可形成一流体增压释放界面54，且于中空限位座40 —侧设一第二组流体导入单元90，包括设于中空限位座一侧的流体压力导入孔道91以及藉以导入一外部流体压力并连通该流体压力导入孔道91的一流体输送管92，其中该流体压力导入孔道91内端连通流体增压释放界面54 ;藉此实施例设计，其作动上如图5所示，当该流体增压释放界面54导入流体压力时(如箭号L4所示)，能够令抵靠板50与中空限位座40之间产生流体压力撑张浮动效果(亦即令抵靠板50连同抵靠板50产生浮升效果，如箭号L5所示)，以利于抵靠板50的顺畅调整位移。
[0033]其中，该工字型迫紧座60的迫紧盘62可采用具有一第一硬度的金属材质(如铁)所构成，该抵靠板50的抵靠作用面52则可采用具有一第二硬度的金属材质(如铝)所构成，其中所述第一硬度大于第二硬度。藉此材质差异式设计，主要可再增进该迫紧盘62抵迫于抵靠作用面52时的紧密度与稳固性，具有迫紧效果增益的优点。
[0034]又如图1、3、5所示，其中该中空限位座40的端面42中央对应轴孔43处更可形成一环凸垣44，并令抵靠板50所设穿透口的口径大于该环凸垣44。
[0035]其中，该基座10的着置面11安装使用形态，包括向下组装形态(即图3所示状态)或者向上悬吊式组装形态(本例图面省略绘示)者。其中所述向上悬吊式组装形态通常应用于微距型冲压设备，亦属本发明可应用的范畴。
[0036]本发明的优点:
[0037]本发明具有流体增压紧迫定位功能的对位平台主要通过所述基座、活动平台、导动装置、中空限位座、抵靠板、工字型迫紧座、流体增压接口、流体导入单元等所构成的创新独特结构形态技术特征，使本发明对照【【背景技术】】所提现有结构而言，当该流体导入单元导入流体(为气体或油)压力令流体增压界面之间隙膨胀时，整体工字形迫紧座会朝基座方向位移，驱使迫紧盘的迫紧面朝抵靠板的抵靠作用面产生抵紧作用，令活动平台的定止状态获得一种流体增压迫紧式的加强稳固功能与效果，可消除对位平台构件组合间隙与累进公差，且有效支撑对抗活动平台的侧向力、重压力及滚压作用力，进而能够达到增益精密对位平台的活动平台结构强度与稳固性、大幅提升加工精度质量且结构简单而易于量产制造等诸多实用进步性。
[0038]以上所述，仅为本发明的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本【技术领域】的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【权利要求】
1.一种具有流体增压紧迫定位功能的对位平台，其特征在于包括: 一基座，为具有一面积与厚度的座体形态，该基座包括一着置面以及一构件装设面； 一活动平台，设于基座的构件装设面一间隔距离位置处，该活动平台包括一加工台面以及一内面； 至少两组导动装置，呈不同作动轴向分布形态设置连接于基座的构件装设面与活动平台的内面之间，导动装置用于驱使控制活动平台产生多方向平移调整运动； 一中空限位座，凸设定位于基座的构件装设面中央，该中空限位座内部形成一腔室，中空限位座的端面中央则开设有一轴孔贯通该腔室； 一抵靠板，凸设定位于活动平台的内面一间隔距离处，该抵靠板与活动平台内面之间界定形成有一间隔空间，抵靠板具一抵靠作用面与活动平台内面间隔相对，且抵靠板中央开设有一穿透口，又该抵靠板与中空限位座的端面之间呈相互抵靠状态； 一工字型迫紧座，设于基座的构件装设面与活动平台的内面之间的中央区域，该工字型迫紧座包括平行间隔配置的一浮动盘、一迫紧盘以及垂直向连结定位于该浮动盘与迫紧盘之间中央位置的一连动轴，其中该浮动盘置于中空限位座的腔室中，且浮动盘周边设有止密环而与腔室之间呈气密配合关系，迫紧盘置于抵靠板与活动平台内面之间所形成的间隔空间中，该迫紧盘具有一迫紧面与抵靠板的抵靠作用面相对应，该连动轴则穿组于中空限位座所设轴孔； 一流体增压接口，通过工字型迫紧座的浮动盘与中空限位座的腔室之间的环状间隙空间所相对构成； 一流体导入单元，包括设于中空限位座一侧的流体压力导入通道以及连通该流体压力导入通道的一流体导管，其中该流体压力导入通道内端连通流体增压接口。
2.根据权利要求1所述的具有流体增压紧迫定位功能的对位平台，其特征在于，所述抵靠板与中空限位座的端面之间形成一流体增压释放接口，且于中空限位座一侧设一第二组流体导入单元，包括设于中空限位座一侧的流体压力导入通道以及连通该流体压力导入通道的一流体导管，其中该流体压力导入通道内端连通流体增压释放界面。
3.根据权利要求2所述的具有流体增压紧迫定位功能的对位平台，其特征在于，所述工字型迫紧座的迫紧盘采用具有一第一硬度的金属材质所构成，该抵靠板的抵靠作用面则采用具有一第二硬度的金属材质所构成，其中所述第一硬度大于第二硬度。
4.根据权利要求3所述的具有流体增压紧迫定位功能的对位平台，其特征在于，所述中空限位座的端面中央对应轴孔处形成一环凸垣，并令抵靠板所设穿透口的口径大于该环凸垣。
5.根据权利要求4所述的具有流体增压紧迫定位功能的对位平台，其特征在于，所述基座的着置面安装使用形态，包括向下组装形态或者向上悬吊式组装形态。
6.根据权利要求5所述的具有流体增压紧迫定位功能的对位平台，其特征在于，所述流体采用气体或油。
【文档编号】B23Q1/38GK104139310SQ201310261979
【公开日】2014年11月12日 申请日期:2013年6月27日 优先权日:2013年5月3日
【发明者】庄运清 申请人:高明铁企业股份有限公司