皮秒激光加工装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及激光蚀刻机【技术领域】，尤指一种皮秒激光加工装置，包括机架，机架安装有皮秒激光器，所述机架还安装有Z轴升降台，皮秒激光器的输出端连接有第一反射镜，所述Z轴升降台设有振镜、场镜以及可从第一反射镜接收激光束的第二反射镜，振镜分别与第二反射镜和场镜连接，所述Z轴升降台还安装有可对工件进行定位和聚焦的CCD视觉系统；本实用新型提供了一种皮秒激光加工装置，其结构简单，可以对工件准确定位和聚焦，并且能够使激光的焦点准确定位于工件表面，工件的加工质量较高。
【专利说明】皮秒激光加工装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及激光蚀刻机【技术领域】，尤指一种皮秒激光加工装置。
【背景技术】
[0002]激光蚀刻机采用激光加工原理，利用高能量密度激光束对工件表面进行局部照射，使表层材料迅速气化或发生颜色变化，从而露出深层物质，或者导致表层物质的化学物理变化而刻出痕迹，或者是通过光能烧掉部分物质，显出所需刻蚀的图案、文字或进行精密的钻孔、切割和刻线加工。
[0003]激光蚀刻机可广泛应用于ITO电路光刻、PCB薄膜电路光刻等领域。现有技术中，激光蚀刻机的激光加工装置结构较复杂，不能对工件进行准确的定位和聚焦，并且激光的焦点经常跑偏，从而影响工件的加工质量。
【发明内容】
[0004]针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种皮秒激光加工装置，其结构简单，可以对工件准确定位和聚焦，并且能够使激光的焦点准确定位于工件表面，工件的加工质量较闻。
[0005]为达到以上目的，本实用新型皮秒激光加工装置主要采用以下技术方案:
[0006]一种皮秒激光加工装置，包括机架，机架安装有皮秒激光器，所述机架还安装有Z轴升降台，皮秒激光器的输出端连接有第一反射镜，所述Z轴升降台设有振镜、场镜以及可从第一反射镜接收激光束的第二反射镜，振镜分别与第二反射镜和场镜连接，所述Z轴升降台还安装有可对工件进行定位和聚焦的CCD视觉系统。
[0007]优选地，所述皮秒激光器的输出端与第一反射镜之间还安装有第三反射镜，第一反射镜与第三反射镜之间的夹角为90度。
[0008]优选地，所述皮秒激光器的输出端与第三反射镜之间安装有扩束镜。
[0009]更进一步地，所述第一反射镜和第二反射镜之间的夹角为90度。
[0010]优选地，所述Z轴升降台还设有光栅安装板，所述光栅安装板安装有光栅尺。
[0011]优选地，所述皮秒激光器设有底板，皮秒激光器通过底板安装于机架。
[0012]优选地，所述Z轴升降台还安装有抽烟罩，抽烟罩安装于场镜下方。
[0013]本实用新型皮秒激光加工装置的有益效果为:
[0014](I)本实用新型通过设置的C⑶视觉系统对工件的位置进行定位和聚焦，其结构简单，可以高精度抓靶定位；
[0015](2)通过设置的Z轴升降平台，能根据不同工件的厚度或不同场镜的焦点调整加工工件表面与激光焦点重合，充分发挥激光焦点的能量。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1是本实用新型皮秒激光加工装置的结构示意图。[0017]图2是本实用新型皮秒激光加工装置的第二光路系统的结构示意图。
[0018]附图标记说明:1、机架，2、皮秒激光器，3、Z轴升降台，4、第一反射镜，5、第二反射镜，6、振镜，7、场镜，8、C⑶视觉系统，9、抽烟罩，10、底板，11、扩束镜，12、光栅安装板，13、第
三反射镜。
【具体实施方式】
[0019]如图f图2所示，一种皮秒激光加工装置，包括机架1，机架I安装有皮秒激光器2，所述机架I还安装有Z轴升降台3，皮秒激光器2的输出端连接有第一反射镜4，所述Z轴升降台3设有振镜6、场镜7以及可从第一反射镜4接收激光束的第二反射镜5,振镜6分别与第二反射镜5和场镜7连接，所述Z轴升降台3还安装有可对工件进行定位和聚焦的CCD视觉系统8。具体地，其中，本实用新型的激光束依次经过皮秒激光器2、第一反射镜4、第二反射镜5、振镜6和场镜7，从场镜7射出的激光束对工件进行加工。本实用新型的光路系统主要由第一光路系统和第二光路系统两部分组成，第一光路系统为安装于机架I的皮秒激光器2和第一反射镜4,第二光路系统为安装于Z轴升降台3的第二反射镜5、振镜6和场镜7，两部分分开设置，方便调节；本实用新型通过设置的CCD视觉系统8对工件的位置进行定位和聚焦，其结构简单，可以高精度抓靶定位；通过设置的Z轴升降平台，能根据不同工件的厚度或不同场镜7的焦点调整加工工件表面与激光焦点重合，充分发挥激光焦点的能量。
[0020]所述皮秒激光器2的输出端与第一反射镜4之间还安装有第三反射镜13，第一反射镜4与第三反射镜13之间的夹角为90度。通过设置的第三反射镜13，方便操作人员对激光束进行调节。
[0021]所述皮秒激光器2的输出端与第一反射镜4之间安装有扩束镜11。扩束镜11能够对激光光束的直径扩大并进行准直，使出射光束的平行度更佳，并且能够控制光斑的大小和激光能量，有利于将光束在后续的系统中进行聚焦。
[0022]所述第一反射镜4和第二反射镜5之间的夹角为90度，具体地，两个反射镜均为45度反射镜，两个45度反射镜能将激光束的方向在空间上改变90度，实现激光束能够准确从激光器到达振镜6的目的。
[0023]所述Z轴升降台3还设有光栅安装板12，所述光栅安装板12安装有光栅尺(图中未标示)。通过设置的光栅尺，可以准确反馈当前Z轴升降台3所处的位置，方便对Z轴升降台3的位置进行调节，从而使加工工件表面与激光焦点重合，充分发挥激光焦点的能量。
[0024]所述皮秒激光器2设有底板10，皮秒激光器2通过底板10安装于机架I。所述底板10采用通用化的设计，可以对不同型号的激光器进行固定，方便拆卸和维修。
[0025]所述Z轴升降台3还安装有抽烟罩9，抽烟罩9安装于场镜7下方。通过设置的抽烟罩9，能及时、高效的将激光蚀刻产生的灰尘通过外部抽风系统带走，防止灰尘污染镜头。
[0026]以上所述实施方式，只是本实用新型的较佳实施方式，并非来限制本实用新型实施范围，故凡依本实用新型申请专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均应包括在本实用新型专利申请范围内。
【权利要求】
1.一种皮秒激光加工装置，包括机架，机架安装有皮秒激光器，其特征在于，所述机架还安装有Z轴升降台，皮秒激光器的输出端连接有第一反射镜，所述Z轴升降台设有振镜、场镜以及可从第一反射镜接收激光束的第二反射镜，振镜分别与第二反射镜和场镜连接，所述Z轴升降台还安装有可对工件进行定位和聚焦的CCD视觉系统。
2.如权利要求1所述的皮秒激光加工装置，其特征在于，所述皮秒激光器的输出端与第一反射镜之间还安装有第三反射镜，第一反射镜与第三反射镜之间的夹角为90度。
3.如权利要求2所述的皮秒激光加工装置，其特征在于，所述皮秒激光器的输出端与第三反射镜之间安装有扩束镜。
4.如权利要求1任意所述的皮秒激光加工装置，其特征在于，所述第一反射镜和第二反射镜之间的夹角为90度。
5.如权利要求1所述的皮秒激光加工装置，其特征在于，所述Z轴升降台还设有光栅安装板，所述光栅安装板安装有光栅尺。
6.如权利要求1所述的皮秒激光加工装置，其特征在于，所述皮秒激光器设有底板，皮秒激光器通过底板安装于机架。
7.如权利要求1所述的皮秒激光加工装置，其特征在于，所述Z轴升降台还安装有抽烟罩，抽烟罩安装于场镜下方。
【文档编号】B23K26/03GK203509350SQ201320600784
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年9月27日 优先权日:2013年9月27日
【发明者】陶雄兵 申请人:东莞市盛雄激光设备有限公司