技术总结
一种抑制微细电化学加工杂散腐蚀的加工装置和方法，该装置包括：储液槽；微细加工电极；高频脉冲电源；垂直位移台，用于带动所述微细加工电极实现加工所需的垂直进给运动；绝缘罩，所述绝缘罩包围在所述微细加工电极的外围；三维位移台，用于带动所述绝缘罩和所述垂直位移台实现水平的xy向以及垂直的z向运动；其中所述绝缘罩的垂直位置由所述三维位移台的z向运动控制，所述微细加工电极的垂直进给运动由所述垂直位移台控制，所述微细加工电极的平面扫描运动由所述三维位移台的xy向运动控制。本发明的加工装置和加工方法既可抑制型腔表面的杂散腐蚀，也可避免固定绝缘层对铣削侧壁加工的影响。
技术研发人员：张旻;胡艳涛;王晓浩
受保护的技术使用者：清华大学深圳研究生院
文档号码：201610844656
技术研发日：2016.09.22
技术公布日：2017.01.04