一种电镜原位加热装置结合焊料的纳米焊接方法与流程

文档序号:11118964阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电镜原位加热装置结合焊料的纳米焊接方法,其特征在于包括如下步骤:

1)利用纳米操纵器将纳米焊料输送至母体纳米材料的待焊接部位;

2)将承载有母体纳米材料的硅片与电镜原位加热装置中的加热板紧密接触,

3)利用SEM-FIB电镜中的离子束清洗待焊接部位,清除焊接区域表面的杂质;

4)在真空的扫描环境中,加热加热板,使焊料周围的温度达到预设温度并保温,所述的预设温度高于焊料的熔点且低于母体材料的熔点,焊料完全融化,母体材料无损伤,通过熔融焊料与母体材料的扩散作用达到焊接的目的。

2.根据权利要求1所述的纳米焊接方法,其特征在于所述的母体纳米材料为金属或非金属,母体纳米材料的形貌为零维颗粒、一维纳米线/棒、二维纳米片/带/薄膜。

3.根据权利要求1所述的纳米焊接方法,其特征在于所述的纳米焊料为单质金属,二元、三元或多元合金。

4.根据权利要求1所述的纳米焊接方法,其特征在于所用的纳米焊料的形貌为零维颗粒、一维纳米线/棒。

5.根据权利要求1所述的纳米焊接方法,其特征在于所用焊料与母体材料的润湿角小于90°。

6.根据权利要求1所述的纳米焊接方法,其特征在于所述的预设温度高于焊料熔点30℃,低于母体材料熔点200℃。

7.根据权利要求1所述的纳米焊接方法,其特征在于所述的保温时间为1-5min。

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