技术总结
本发明公开了一种电镜原位加热装置结合焊料的纳米焊接方法。本发明焊接过程均在SEM‑FIB中进行，利用位于扫描电镜腔室内的原位加热装置对焊接部位进行加热，同时借助离子束清洗焊接区域，去除纳米材料表层的杂质(如焊料表面氧化物，碳类化合物，有机物等)，只使焊料变成熔融状态，而对母体材料无损伤，通过保温一定时间，熔融焊料与同样被加热的母体材料发生持续且强烈的扩散作用，最终实现焊接纳米图案的目的。本发明可精确控制加热温度，只使低熔点的焊料发生融化，而对母体材料无损伤，对于焊接高熔点的氧化物半导体纳米材料具有显著的优势。该焊接方法可实时观测整个焊接过程，可控性极强且方便快捷，可同时实现多处纳米图案的焊接，效率高。
技术研发人员：彭勇;张悬;郑修军;张宏;马鸿斌;关超帅;张军伟;薛德胜
受保护的技术使用者：兰州大学
文档号码：201611107702
技术研发日：2016.12.06
技术公布日：2017.02.15