一种微粒制造设备的制作方法

文档序号:12384850阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微粒制造设备,其特征在于,所述微粒制造设备包括:激光器、反射镜、凸透镜、承载件和接收件;

所述微粒制造设备的各部件的连接关系为:所述激光器产生激光后,所述激光依次通过所述反射镜和凸透镜后到达所述承载件,放置在所述承载件上的原料受到激光作用后,发生溅射生成微粒,生成的所述微粒到达所述接收件。

2.根据权利要求1所述的微粒制造设备,其特征在于,所述激光器的能量和频率可调节。

3.根据权利要求2所述的微粒制造设备,其特征在于,所述微粒制造设备还包括:控制单元;

所述控制单元分别与所述激光器、所述承载件和所述接收件相连。

4.根据权利要求1所述的微粒制造设备,其特征在于,所述承载件为石英玻璃承载件。

5.根据权利要求4所述的微粒制造设备,其特征在于,所述石英玻璃承载件的透光率大于85%。

6.根据权利要求3所述的微粒制造设备,其特征在于,所述微粒制造设备还包括:移动平台;

所述移动平台设置于所述接收件的下方,所述移动平台与所述控制单元连接。

7.根据权利要求1所述的微粒制造设备,其特征在于,所述微粒制造设备还包括:烘干单元;

所述烘干单元设置在所述接收件的外部。

8.根据权利要求1所述的微粒制造设备,其特征在于,所述微粒制造设备还包括:金属牺牲层;

所述金属牺牲层设置在所述承载件上。

9.根据权利要求1所述的微粒制造设备,其特征在于,所述接收件的表面具有多重级数微结构。

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