一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台的制作方法

本实用新型涉及半导体生产设备领域，具体为一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台。

背景技术：

半导体、液晶面板生产过程中使用的、或产生的气体，大多是具有毒性、腐蚀性及可燃性等特性的气体，能够对人类环境造成严重影响的气体。因此，在将这些气体排放到大气之前，必须经过净化处理。针对上述气体特性，对于半导体、液晶面板制程尾气处理设备中所使用的管道零部件的材质以及加工工艺提出了更高的要求。特别是焊接工艺，尤其体现在法兰与管道(包括管道与管道)的焊接上面。传统粗放型的焊接工艺中，将法兰置于固定平面上，管道放置于法兰上，继而进行焊接，焊接过程中焊接工人需要根据焊接部位的不同不断的调整焊接姿势和位置，操作过程冗繁，难以控制焊枪角度、焊枪与焊件的距离以及焊接速度，极易出现焊接裂纹、气孔、夹渣、未焊透、烧穿等质量缺陷。此类产品进入工业现场使用，极易出现渗漏、腐蚀透气等现象，极大危害现场和人员安全。而且焊接效率低下，劳动强度较大。同时焊接过程中焊渣容易溅射到工人的身上造成烫伤等问题。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的提供一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，通过电机带动设置于机架上方的卡盘座及设置在卡盘座上的的三爪自定心卡盘转动，三爪自定心卡盘定位法兰，管道置于法兰上，法兰和管道一起转动，台架顶部位于卡盘座外侧的位置焊接有弧形挡板，可以有效的解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，包括台架，所述台架内表面顶部中间偏右的位置焊接有电机固定支架，所述电机固定支架的左侧设有电机，所述电机输出轴的轴心与所述台架顶部中心点在同一条轴线上，所述电动机输出轴末端通过联轴器固定连接有连接轴，所述连接轴位于台架顶部外侧的一端固定连接有卡盘座，所述卡盘座顶部中间位置通过螺栓固定连接有三爪自定心卡盘，所述台架正面右侧靠近台架顶部的位置设有电机控制器，所述电机控制器输出端与电机电性连接，所述电机控制器输入端与外设电源电性连接，所述台架顶部位于卡盘座外侧的位置螺栓连有弧形挡板。

进一步的，所述弧形挡板左侧靠近台架正面和背面的对称位置设有腰座，所述腰座顶部设有腰形槽，腰形槽内表面与螺栓活动连接。

进一步的，所述台架顶部位于弧形挡板和卡盘座直接且靠近弧形挡板的位置开设有滑槽，所述滑槽内表面滑动连接有可移动挡板。

进一步的，所述弧形挡板的顶部通过紧定螺钉连接有限位块，所述限位块的内表面与可移动挡板滑动连接。

进一步的，所述限位块可拆卸。

工作原理和有益效果：通过电机带动设置于台架上方的卡盘座及设置在卡盘座上的的三爪自定心卡盘转动，三爪自定心卡盘定位法兰，管道置于法兰上，法兰和管道一起转动；使用时，使用三爪自定心卡盘卡住法兰，法兰上放置需要焊接的管道，电机控制器调频控制电机转动的速度，焊接工人站在靠近台架顶部位于卡盘座外侧螺栓连接有弧形挡板的位置，使用焊枪焊接，由于法兰和管道在电机带动下转动，焊接工人在焊接过程中无需跟随焊接部位的不同所作焊接位置及姿势的调整，工人可以站在原地完成焊接，可以准确的控制焊枪角度、焊枪与焊件的距离以及焊接速度，从而有效的提高工作效率，提高焊接质量；所述弧形挡板左侧靠近台架正面和背面的对称位置设有腰座，所述腰座顶部设有腰形槽，腰形槽内表面与螺栓活动连接，用螺栓连接到台架顶部，可以根据不同的工况调整位置，同时便于拆卸，和调整弧形挡板的位置，可以提高装置的实用性；所述台架顶部位于卡盘座外缘且靠近弧形挡板的位置开设有滑槽，所述滑槽内表面滑动连接有移动挡板，所述弧形挡板的顶部紧定螺钉连接有限位块，所述限位块的内表面与可移动挡板滑动连接，可移动挡板可以配合弧形挡板增加阻挡焊渣溅射到身体的保护范围；所述限位块可拆卸，限位块可以固定在与弧形挡板靠近机架正面的位置，即此时移动挡板设置于靠近机架正面的位置，可以根据需要改变移动挡板移动的方向，可以为左右手不同的焊接工人提供最大范围的防止焊渣溅射保护。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的俯视结构示意图。

图中：1、台架；2、电机固定支架；3、卡盘座；4、三爪自定心卡盘；5、电机控制器；6、弧形挡板；7、滑槽；8、可移动挡板；9、限位块；10、腰座。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-2所示，一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，包括台架1，台架1内表面顶部中间偏右的位置焊接有电机固定支架2，电机固定支架2的左侧设有电机，电机输出轴的轴心与台架1顶部中心点在同一条轴线上，电动机输出轴末端通过联轴器固定连接有连接轴，连接轴位于台架1顶部外侧的一端固定连接有卡盘座3，卡盘座3顶部中间位置通过螺栓固定连接有三爪自定心卡盘4，台架1正面右侧靠近台架1顶部的位置设有电机控制器5，电机控制器5输出端与电机电性连接，电机控制器5输入端与外设电源电性连接，台架1顶部位于卡盘座3外侧的位置螺栓连有弧形挡板6。

本实用新型一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，通过使用时，使用三爪自定心卡盘4卡住法兰，法兰上放置需要焊接的管道，电机控制器5调频控制电机转动的速度，工人站在靠近台架1顶部位于卡盘座3外侧的位置焊接有弧形挡板6的位置，使用焊枪焊接，由于法兰和管道在电机带动下转动，工人可以站在原地完成焊接，可以有效的提高工作效率，提高焊接质量。

其中，弧形挡板6左侧靠近台架1正面和背面的对称位置设有腰座10，腰座1顶部设有腰形槽，腰形槽内表面与螺栓活动连接，可以根据不同的工况调整位置，同时便于拆卸，和调整弧形挡板的位置，可以提高装置的实用性。

其中，台架1顶部位于弧形挡板6和卡盘座3直接且靠近弧形挡板6的位置开设有滑槽7，滑槽7内表面滑动连接有可移动挡板8，弧形挡板6的顶部通过紧定螺钉连接有限位块9，限位块9的内表面与可移动挡板8滑动连接，可移动挡板可以配合弧形挡板增加阻挡焊渣溅射到身体的保护范围。

其中，限位块9可拆卸，限位块可以焊接与弧形挡板靠近机架正面的位置，即此时可移动挡板设置于靠近机架正面的位置，可以根据需要改变可移动挡板移动的方向，可以为左右手不同的焊接工人提供最大防止焊渣溅射保护。

以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。

技术特征：

1.一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，包括台架(1)，其特征在于：所述台架(1)内表面顶部中间偏右的位置焊接有电机固定支架(2)；所述电机固定支架(2)的左侧设有电机；所述电机输出轴的轴心与所述台架(1)顶部中心点在同一条轴线上；所述电机输出轴末端通过联轴器固定连接有连接轴；所述连接轴位于台架(1)顶部外侧的一端固定连接有卡盘座(3)；所述卡盘座(3)顶部中间位置通过螺栓固定连接有三爪自定心卡盘(4)；所述台架(1)正面右侧靠近台架(1)顶部的位置设有电机控制器(5)，所述电机控制器(5)输出端与电机电性连接，所述电机控制器(5)输入端与外设电源电性连接；所述台架(1)顶部位于卡盘座(3)外侧的位置螺栓连有弧形挡板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，其特征在于：所述弧形挡板(6)左侧靠近台架(1)正面和背面的对称位置设有腰座(10)，所述腰座(10)顶部设有腰形槽，腰形槽内表面与螺栓活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，其特征在于：所述台架(1)顶部位于弧形挡板(6)和卡盘座(3)直接且靠近弧形挡板(6)的位置开设有滑槽(7)，所述滑槽(7)内表面滑动连接有可移动挡板(8)。

4.根据权利要求3所述的一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，其特征在于：所述弧形挡板(6)的顶部通过紧定螺钉连接有限位块(9)；所述限位块(9)的内表面与可移动挡板(8)滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，其特征在于：所述限位块(9)可拆卸。

技术总结
本实用新型公开了一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，包括台架，所述电机输出轴的轴心与所述台架顶部中心点在同一条轴线上，所述连接轴位于台架顶部外侧的一端固定连接有卡盘座，所述卡盘座顶部中间位置通过螺栓固定连接有三爪自定心卡盘，所述台架正面右侧靠近台架顶部的位置设有电机控制器，所述电机控制器输入端与外设电源电性连接，所述台架顶部位于卡盘座外侧的位置螺栓连有弧形挡板；本实用新型通过电机带动设置于机架上方的卡盘座及设置在卡盘座上的的三爪自定心卡盘转动，三爪自定心卡盘定位法兰，管道置于法兰上，法兰和管道一起转动，台架顶部位于卡盘座外侧的位置焊接有弧形挡板，可以有效的解决背景技术中的问题。

技术研发人员：项健;揣士敬;孟令二;胡余祥;李克成;沈阳;孙立军;张丹
受保护的技术使用者：合肥亚笙半导体设备科技有限公司
技术研发日：2019.07.04
技术公布日：2020.05.29