一种透明材料的超快激光切割装置的制作方法

文档序号:23935486发布日期:2021-02-09 21:51阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种透明材料的超快激光切割装置,包括激光发生装置、光转向组件、光学头、工作平台,光学头和工作平台间设有三维运动机构,其特征在于:所述激光发生装置为超快脉冲串激光器,所述超快脉冲串激光器主要由半导体激光器、光纤放大器和准直器构成,所述半导体激光器提供一波长在1020纳米~1090纳米之间的脉冲串种子激光;所述光学头为贝塞尔切割头;所述半导体激光器发出的脉冲串种子激光经光纤放大器放大后,进入准直器,输出超快脉冲串激光,由光转向组件导入贝塞尔切割头,在工作平台上的被加工材料内部形成三个以上的聚焦点。2.根据权利要求1所述的透明材料的超快激光切割装置,其特征在于:所述工作平台上方固定设置有机架,以工作平台所在平面为x-y平面,z轴垂直于x-y平面,所述激光发生装置位于机架上,机架前侧设有x轴运动模组,x轴运动模组的运动件上设有z轴运动模组,贝塞尔切割头固定在z轴运动模组的运动件上,工作平台具有y轴运动机构;所述光转向组件由4个全反射镜片组成,其中第一镜片和第二镜片固定在机架上,将激光束引导至贝塞尔切割头上方,第三镜片和第四镜片设置在z轴运动模组的运动件上,使激光束转为竖直向下方向并进入贝塞尔切割头。3.根据权利要求1所述的透明材料的超快激光切割装置,其特征在于:每一激光脉冲串里包括至少四个激光脉冲,每一所述激光脉冲的脉冲宽度小于60ps,脉冲的峰值功率大于1mw,脉冲串内的相邻激光脉冲间的时间小于30ns;相邻脉冲串间的间隔时间大于100ns。4.根据权利要求1所述的透明材料的超快激光切割装置,其特征在于:每一激光脉冲串中的激光脉冲数是4~50个。5.根据权利要求4所述的透明材料的超快激光切割装置,其特征在于:每一激光脉冲串中的激光脉冲数是4~15个。
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