带有保护板构件的波纹罩的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及一种例如在加工中心、车床或铣床等工作机械、或者划片机等半导体制造装置等的机械用具或装置中安装的带有保护板构件的波纹罩。
【背景技术】
[0002]在利用加工中心或者磨床等工作机械焊接金属或者研磨金属的情况下，飞溅、研磨肩或者冷却液飞散的情况很多，另外，在划片机中，被切断的半导体晶片的破片飞散，在这些飞散物附着于在这些机械或装置上安装的波纹罩上的情况下，存在有在该波纹罩上开孔的情况。另外，在上述研磨肩或破片侵入到上述波纹罩上所形成的波峰部与波峰部之间的状态下，伴随着上述工作机械等的驱动而进行的波纹罩的伸缩动作长时间反复进行，从而该波纹罩被切断而开孔，由此上述研磨肩等附着于在该波纹罩的内侧配置的滚珠丝杠及其它的驱动系统上，从而对正确的定位造成障碍。而本申请人为了解决这样的因研磨肩等而造成在波纹罩主体上开孔等的问题，提出了在伸缩的波纹罩主体上具有金属制或者树脂制的保护板构件(狭板或板条，以下称为板条或者保护板构件)的带有保护板构件的波纹罩的方案(参照专利文献1、2)。该专利文献1、2中公开的各个波纹罩具有:波纹罩主体，其构成为，波峰部和波谷部交替形成，且沿着与该波峰部以及波谷部的长度方向平行的方向自由伸缩;波纹罩支撑板或者保形板，其在该波纹罩主体的内侧且上端与形成于该波纹罩主体上的各波峰部的背面相抵接等而加以固定;板条，其在构成上述波纹罩主体的各波峰部附近，且在中间夹着波纹罩主体的状态下各个基端被固定在上述波纹罩支撑板或者保形板上。
[0003]因此，根据上述专利文献1、2公开的带有保护板构件的波纹罩，通过配置多个上述板条，即使是在研磨肩或半导体晶片的破片等飞散的情况下，也能够利用上述板条来保护上述波纹罩主体，避免被开孔的危险性。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:JP特开2008-12639号公报；
[0007]专利文献2: JP特开2014-30886号公报。
【发明内容】
[0008]发明要解决的问题
[0009]但是，在上述波纹罩上固定的各板条，由于长时间反复进行伸缩动作，一部分变形或者破损，或者，在波纹罩的运送中或安装于机械用具等之际失误落下，或者不经意的与工件或其它的机械用具相冲突，因此原因而变形等的情况之外，例如在利用工作机械的驱动而反复进行伸缩动作的中途，在板条与板条之间夹入切削粉或加工片，或者它们进行堆积，从而发生破损或者变形的情况也不少。另外，上述加工片或加工时使用的冷却液与一部分的板条或者特定的板条的一部分集中冲突等，由于该圧力等而使得板条发生变形的情况也存在。
[0010]但是，上述专利文献1以及专利文献2所公开的波纹罩上固定的各个板条，如上所述，是在中间夹着波纹罩主体的状态下各个基端被固定到上述波纹罩支撑板或者保形板上，一旦被固定的板条之后就不能从波纹罩主体卸下。
[0011]因此，在由于上述的任何的情况，使得固定有多个的板条的一部分发生破损或者变形的情况下，即使是在其它的板条没有任何问题而能够继续使用的情况下，通常也必须将波纹罩整体更换。
[0012]而本发明是为解决上述的以往的波纹罩所具有的问题而提出的，其目的在于提供一种新的带有保护板构件的波纹罩，即使是在固定有多个的板条(保护板构件)的一部分发生破损或变形的情况下，也不用将波纹罩整体更换，能够仅更换上述破损等的板条。
[0013]解决问题的手段
[0014]本发明是为解决上述问题而提出的，第一的发明(技术方案1记载的发明)的特征是，具有:波纹罩主体，其交替形成有波峰部和波谷部，并且沿着与该波峰部以及波谷部的长度方向垂直的方向自由伸缩;波纹罩支撑板，其在上述波纹罩主体的内侧，以从上述各波峰部向着下方垂下的方式被固定；固定板，其在上述波纹罩主体的外侧，在该波纹罩主体的伸缩方向上具有宽度，该固定板被固定到上述波纹罩支撑板上，且该固定板与上述波纹罩支撑板之间夹着该波纹罩主体;保护板构件，其具有以自由装卸的方式安装在上述固定板上的安装板部和通过弯折部而连续于该安装板部且将上述波纹罩主体的上部覆盖的保护板部;在上述固定板上，沿着该固定板的长度方向形成或者配置有多个一方的卡合部或者一方的卡合构件，并且在上述安装板部或者该安装板部的附近，形成有多个与上述一方的卡合部或者一方的卡合构件分别卡合的另一方的卡合部，通过这些一方的卡合部或者一方的卡合构件与另一方的卡合部相互卡合，以及，通过将该一方的卡合部或者一方的卡合构件与另一方的卡合部的卡合状态解除，从而上述保护板构件相对于上述固定板能够进行装卸。
[0015]在该第一发明的带有保护板构件的波纹罩中，由于通过在固定板上分别形成或者配置的一方的卡合部或者一方的卡合构件与在安装板部形成的另一方的卡合部相互卡合，以及，通过将该一方的卡合部或者一方的卡合构件与另一方的卡合部的卡合状态解除，从而上述保护板构件相对于上述固定板能够进行装卸，因此即使是在固定有多个的保护板构件(板条)的一部分发生破损或变形的情况下，也不用将波纹罩整体更换，能够仅更换上述破损等的保护板构件(板条)。
[0016]另外，构成该第一发明的波纹罩主体，只要至少波峰部和波谷部交替形成且沿着与该波峰部以及波谷部的长度方向垂直的方向自由伸缩的结构即可，不必一定形成有在与上述波峰部或波谷部的长度方向垂直的方向上分别具有长度的足部的结构也是可以的。另夕卜，构成该发明的上述波纹罩支撑板、固定板、保护板构件的材料，可以是金属，也可以是树月旨，但是上述波纹罩支撑板或固定板的壁厚，为了使得波纹罩主体在缩小到最小之际的长度尽可能的短，优选具有一定的刚性并且尽可能的薄。另外，在上述波纹罩主体上固定的固定板，沿着该波纹罩主体的宽度方向(波峰部或波谷部的长度方向)固定有多个(参照技术方案2)，不仅如此，在该波纹罩主体上固定一个的结构(参照技术方案4)也是可以的，而且，该固定板只要至少固定在上述波纹罩主体上即可，也可以具有从固定的部位以离开波纹罩主体的方式延长的部位。
[0017]另外，在该第一发明中，需要在上述固定板上，沿着该固定板部的长度方向形成或者配置多个上述一方的卡合部或者一方的卡合构件，在上述安装板部或者该安装板部的附近，形成多个与上述一方的卡合部或者一方的卡合构件分别卡合的另一方的卡合部，但是这些一方的卡合部或者卡合构件与另一方的卡合部，只要是它们相互卡合的形状或结构即可，并不特别限定它们的形状或位置关系。而且，该发明的带有保护板构件的波纹罩在安装于机械用具或装置之际，通过配置于该机械用具的驱动系统的驱动，不仅沿着水平方向伸缩，还可以沿着上下方向伸缩。
[0018]另外，第二发明(技术方案2记载的发明)的特征是，在上述第一发明中，所述固定板沿着所述波纹罩主体的宽度方向固定有多个，分别形成在该固定板上的所述一方的各卡合部具有第一卡合部和从该第一卡合部的配置位置向着该固定板的宽度方向形成的第二卡合部，并且，在所述安装板部形成的所述另一方的各卡合部具有:第三卡合部，其在对该安装板部从波谷部侧向着波峰部侧作用外力之际与上述第一卡合部相卡合;第四卡合部，其在对上述该安装板部从波峰部侧向着波谷部侧作用外力之际与上述第二卡合部相卡合；通过使上述第一卡合部与第三卡合部相互卡合，并且使上述第二卡合部与第四卡合部相互卡合，以及，通过使上述第一卡合部与第三卡合部的卡合状态解除，并且使上述第二卡合部与第四卡合部的卡合状态解除，从而上述保护板构件相对于上述固定板能够进行装卸。
[0019]在该第二发明的带有保护板构件的波纹罩中，由于采用在对该安装板部从波谷部侧向着波峰部侧作用外力之际使上述第一卡合部与第三卡合部相互卡合，并且在对上述该安装板部从波峰部侧向着波谷部侧作用外力之际使上述第二卡合部与第四卡合部相互卡合的结构，因此即使是在波纹罩主体的伸缩动作反复进行的情况下，也不存在保护板构件不经意的从该波纹罩主体脱落的危险性。
[0020]另外，上述第一卡合部与第三卡合的卡合状态和第二卡合部与第四卡合部的卡合状态，如上所述，为对安装板部从波谷部侧向着波峰部侧作用外力之际进行卡合，或者对该安装板部从波峰部侧向着波谷部侧作用外力之际进行卡合的结构，在此基础上，也可以是分别在波纹罩主体的宽度方向(波峰部或波谷部的长度方向)上也相互卡合的结构。通过采用这样的结构，保护板构件在波纹罩主体的宽度方向上也确实的被定位，能够确保更加稳定的安装状态。
[0021]另外，第三发明(技术方案3记载的发明)的特征是，在上述第二发明中，在所述固定板或者所述安装板部的任意一个上，形成有一边总是保持着所述第一卡合部与第三卡合部的卡合状态和所述第二卡合部与第四卡合构件的卡合状态一边向着该固定板与安装板部相互离开的方向施力的弹性片。
[0022]在该第三发明的带有保护板构件的波纹罩中，在上述固定板上，向着总是保持所述第一卡合部与第三卡合部的卡合状态和所述第二卡合部与第四卡合构件的卡合状态的方向对所述安装板部施力的弹性片，由于形成在上述固定板或者安装板部的任意一个上，因此不仅有效避免在上述固定板上安装的各个保护板构件不经意的脱落的危险性，在波纹罩主体反复进行伸缩动作之际，或者，在波纹罩主体瞬间极高速的伸长或收缩之际，能够避免该保护板构件与该固定板之间产生松动，避免由于该松动而产生噪音或异音，进而由于上述第一卡合部与第三卡合部或者第二卡合部与第四卡合部的滑动接触而使得各个卡合部产生磨损的危险性也能够避免。
[0023]另外，构成上述第三发明的弹性片，向着总是保持第一卡合部与第三卡合部的卡合状态和所述第二卡合部与第四卡合部的卡合状态的方向对所述安装板部施力的弹性片，只要在上述固定板或者安装板部的任意一个上形成即可，另外，并不特别限定该弹性片的数量。
[0024]另外，第四发明(技术方案4记载的发明)的特征是，在所述第一发明中，所述固定板作为一个板体而构成，且在所述波纹罩主体的宽度方向上具有长度，所述一方的卡合部或者一方的卡合构件是具有上端比该固定板的表面突出的轴部和在该轴部的上端形成的圆盘部的卡合部或者卡合构件，在所述安装板部上，形成有与构成上述的各卡合部或者卡合构件的轴部相卡合的卡合孔来作为所述另一方的卡合部，并且，这些卡合孔具有插通上述圆盘部的圆盘部插通用孔和与该圆盘部插通用孔相连通且插通上述轴部的轴插通用长孔，该轴插通用长孔从该圆盘部插通用孔向着所述波纹罩主体的宽度方向形成。
[0025]在该第四发明的带有保护板构件的波纹罩中，由于构成第一发明的一方的卡合部或者一方的卡合构件是具有上端比该固定板的表面突出的轴部和在该轴部的上端形成的圆盘部的卡合部或者卡合构件，在所述安装板部上，形成有与构成上述的各卡合部或者卡合构件的轴部相卡合的卡合孔来作为所述另一方的卡合部，并且，这些卡合孔具有插通上述圆盘部的圆盘部插通用孔和与该圆盘部插通用孔相连通且插通上述轴