专利名称：抛光材的制造方法
技术领域：
本发明是有关于一种抛光材的制造方法，其中该抛光材可适用于光学材料、电子材料的研磨抛光，特别是适用于半导体晶圆研磨的抛光材。
目前传统的抛光材的制造方法有一、将弹性基底层浸覆盖于聚氨酯树脂液，经水凝固后表面研磨和除尘成一抛光材；二、以一聚酯膜涂布聚氨酯树脂形成一连续多孔聚氨酯树脂皮膜，将此一连续多孔聚氨酯树脂皮膜经研磨和表面除尘后，使连续性孔洞裸露出来，而成为一抛光材。
参阅
图1-图3所示，为传统具有连续多孔皮膜的抛光材半成品10是由弹性基底层12涂覆聚氨酯树脂液并经水凝结形成一连续多孔层11，经研磨制程A将连续多孔层11表面研磨，可得一传统抛光材20和剩余粉屑21，其中传统抛光材20成为由裸露开孔层11a和弹性基底层12所构成，其中残余粉屑21残留于裸露开孔层11a，须再一表面除尘处理。此制程的主要缺点在于因为产生剩余粉屑沉积于孔洞内，需后段除尘清除粉屑，且不易清洁而费时，研磨的表面平坦度较差，且不易控制。
本发明的第一目的是提供一种抛光材的制造方法，制得较平整均匀清洁的抛光材表面，利用剖片取代研磨和除尘清除工程，增加晶圆抛光后的均匀性，达到避免抛光材残余粉屑的污染的目的。
本发明的第二目的是提供一种抛光材的制造方法，利用减少表面除尘流程，简化制程，并将表层皮膜再加了成为一抛光材或晶元载体，达到简化制程并降低成本和减少废料的目的。
本发明的第三目的是提供一种抛光材的制造方法，利用剖片将一连续多孔聚氨酯树脂皮膜切开，同时得到一体成形具有弹性基底层和裸露开孔层的抛光材和一种经贴合而成并具不同弹性特质的抛光材或晶圆载体，达到使产量和种类增加的目的。
本发明的目的是这样实现的一种抛光材的制造方法，其特征是它是由弹性基底层涂覆聚氨酯树脂液，并经水凝固形成一连续多孔层；将连续多孔层以剖片制程均匀切割，得到第一抛光材和开孔皮膜，其中该第一抛光材是一体成形具裸露开孔层和弹性层的抛光材，另该开孔皮膜粘附贴合另一弹性基底层而形成第二抛光材，其中该第二抛光材为具裸露开孔层并有适当弹性特质的复合抛光材。
该第一抛光材或第二抛光材的弹性基底层是选自压克力树脂、橡胶弹性体、发泡泡棉、聚酯膜、不织布填充聚氨脂树脂或压克力树脂。该第二抛光材的弹性基底层是选自聚烯烃类、聚酯类薄膜、热塑性聚氨基甲酸酯或织布基材，该第二抛光材为表面平坦均匀的晶圆载体。
本发明还提供另一种抛光材的制造方法，其特征是它是由聚氨酯树脂制得一连续多孔层，该连续多孔层以剖片制程平均切割，得到二个开孔皮膜，该两开孔皮膜分别粘附贴合一弹性基底层而形成一种具裸露开孔层并有适当弹性特质的复合抛光材或晶圆载体。
该弹性基底层是选自橡胶弹性体、发泡泡棉、聚酯膜、不织布填充聚氨脂树脂、压克力树脂、聚烯烃树脂、聚酯、热塑性聚氨基甲酸酯或织布基材。
本发明的抛光材的制造方法为先将弹性基底层涂覆聚氨酯树脂液后经水凝固形成一具连续多孔皮膜的弹性层，以剖片取代研磨制程和后段表面除尘制程，将该皮膜平均切开，如此，可得一种具有较平整均匀的表面并一体成形具有弹性基底层和裸露开孔层的抛光材，而后将上层薄皮膜贴合不同弹性基底层形成一种经贴合而成并具有不同弹性特质的抛光材或晶元载体，其中该弹性基底层可为压克力树脂、橡胶弹性体、发泡泡棉、聚酯膜、不织布填充聚氨脂树脂或压克力树脂所构成。
下面结合较佳实施例和附图进一步说明。
图2为传统制法得到的抛光材纵剖侧视放大图。
图3为传统制法得到的抛光材俯视放大示意图。
图4为本发明的制造方法示意图。
图5为本发明制法所得的抛光材半成品纵剖侧视放大示意图。
图6为本发明所得的抛光材纵剖侧视放大示意图。
图7为本发明所得的抛光材俯视放大示意图。
图8为本发明所得的另一抛光材纵剖侧视放大示意图。
开孔皮膜31经粘附贴合C在另一弹性基底层32形成第二抛光材40(请阅图8)，其中该弹性基底层32针对不同需求选择具适当弹性的材料，其材料为压克力树脂、橡胶弹性体、发泡泡棉、聚酯膜或不织布填充聚氨脂树脂所构成。
或者弹性基底层32由聚烯烃类或聚酯类薄膜或热塑性聚氨基甲酸酯或不织布等基材所构成，使得第二抛光材40成为晶圆载体的用途。
本发明的主要特点可以从比较图1与图6看出，其分别为传统制法和本发明所得的抛光材，明显比较出本发明的第一抛光材较传统抛光材的裸露开孔层更有一较均匀平整的表面。
本发明还具有以下功效一、提供一种可得较平整均匀清洁抛光材表面的抛光材制造方法。
二、提供一种可同时得到一体成形具有弹性基底层和裸露开孔层的第一抛光材和一种经贴合而成并具适当弹性特质的复合第二抛光材或晶圆载体的抛光材的制造方法。
三、提供一种简化制程的抛光材的制造方法。
本发明可在不偏离主要的精神及特征下以其它不同的形式实施。因此，本发明的抛光材的制造方法亦可先由一聚氨酯树脂制得一连续多孔层，将连续多孔层以剖片制程平均切割，得到二个开孔皮膜，其中该两开孔皮膜分别粘附贴合一弹性基底层而形成一种具裸露开孔层并有适当弹性特质的复合抛光材或晶圆载体，其中弹性基底层是由压克力树脂、橡胶弹性体、发泡泡棉、聚酯膜、不织布填充聚氨脂树脂、聚烯烃类、聚酯类薄膜、热塑性聚氨基甲酸酯或织布等基材所构成，是以，依本发明的方法可简单制得各种所需的抛光材和晶圆载体。
上述的较佳实施例只是以举例的方式说明，且不应将其视为本发明的限制。凡依本发明所作的等效变化或修改，都是落于本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种抛光材的制造方法，其特征是它是由弹性基底层涂覆聚氨酯树脂液，并经水凝固形成一连续多孔层；将连续多孔层以剖片制程均匀切割，得到第一抛光材和开孔皮膜，其中该第一抛光材是一体成形具裸露开孔层和弹性层的抛光材，另该开孔皮膜粘附贴合另一弹性基底层而形成第二抛光材，其中该第二抛光材为具裸露开孔层并有适当弹性特质的复合抛光材。
2.根据权利要求1所述的抛光材的制造方法，其特征是该第一抛光材或第二抛光材的弹性基底层是选自压克力树脂、橡胶弹性体、发泡泡棉、聚酯膜、不织布填充聚氨脂树脂或压克力树脂。
3.根据权利要求1所述的抛光材的制造方法，其特征是该第二抛光材的弹性基底层是选自聚烯烃类、聚酯类薄膜、热塑性聚氨基甲酸酯或织布基材，该第二抛光材为表面平坦均匀的晶圆载体。
4.一种抛光材的制造方法，其特征是它是由聚氨酯树脂制得一连续多孔层，该连续多孔层以剖片制程平均切割，得到二个开孔皮膜，该两开孔皮膜分别粘附贴合一弹性基底层而形成一种具裸露开孔层并有适当弹性特质的复合抛光材或晶圆载体。
5.根据权利要求4所述的抛光材的制造方法，其特征是该弹性基底层是选自橡胶弹性体、发泡泡棉、聚酯膜、不织布填充聚氨脂树脂、压克力树脂、聚烯烃树脂、聚酯、热塑性聚氨基甲酸酯或织布基材。
全文摘要
一种抛光材的制造方法，同时得到一种一体成形具有弹性基底层和裸露开孔层的第一抛光材和一种经贴合而成并具适当弹性特质的第二抛光材或晶圆载体，其中两种抛光材均具有均匀平整的表面。具有避免抛光材残余粉屑的污染、简化制程、降低成本、减少废料及使产量和种类增加的功效。
文档编号B24D18/00GK1475330SQ0212982
公开日2004年2月18日 申请日期2002年8月15日 优先权日2002年8月15日
发明者王敬堂, 林孟经, 姚伊蓬, 王格峰 申请人:三芳化学工业股份有限公司