专利名称：旋转溅射电弧柱靶装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及旋转电弧柱靶装置，特别涉及旋转溅射电弧柱靶装置，属 于表面处理设备，主要用于在柱形靶材表面喷涂薄层。
背景技术：
在给靶材表面喷涂薄层时，常采用的是利用电极进行喷涂，对于一些柱形 靶材的表面喷涂，常采用的是旋转电弧柱靶装置，图1是现有的旋转电弧柱靶
装置，它包括底部的柱靶下盖，固定在柱靶下盖上的磁心磁钢20，与磁心磁钢 连接并由阴极法兰固定的柱靶阴极13，套置于柱靶阴极外的阴极水套ll，安装 于阴极水套上并与柱靶阴极内腔相通的出水口 9，安装于阴极水套外的真空室顶 板，位于柱靶阴极顶部的进水口9，位于真空室顶板一侧的电机支架2及电机支 架上的电机l，电机通过齿轮3与柱靶阴极顶端相连。这种旋转电弧柱靶装置在 使用时，将靶材放于磁心磁钢外，镀层常常会沉积于阴极法兰上，影响柱靶与 真空机壳的绝缘性能，同时，由于电机支架位于真空室顶板一侧，电机在转动 过程中会产生较大的晃动，从而使磁心旋转不稳定，无法保证柱靶的密封性能。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种能防止镀层沉积于阴极法兰上，保证柱靶 与真空机壳的绝缘性能，磁心旋转稳定，保证柱靶的密封性能的旋转电弧柱靶 装置。
本实用新型的目的是通过如下技术方案来实现的旋转电弧柱耙装置，包 括柱靶下盖、磁心磁钢、柱靶上盖、柱靶阴极、真空室顶板、柱靶固定法兰、 阴极绝缘法兰、柱靶阴极法兰、阴极水套、水套绝缘法兰、安装于阴极水套上 并与柱靶阴极内腔相通的出水口和位于柱靶阴极顶部的进水口，柱靶下盖、磁心磁钢、柱靶上盖、真空室顶板、柱靶固定法兰、阴极绝缘法兰、柱靶阴极法 兰、阴极水套、水套绝缘法兰由下向上依次相连，其特征在于电机支架的中心 截面为方形，电机支架下底面固定在柱靶阴极法兰上，上表面固定在水套绝缘 法兰上，电机固定在电机支架上表面，电机支架上的电机通过齿轮与柱靶阴极 顶端相连。
在柱耙上盖与柱靶固定法兰之间设置屏蔽筒，屏蔽筒套于柱靶阴极外并固 定在柱靶固定法兰上。
本实用新型由于采用了上述结构，电机固定在中心截面为方形的电机支架 上，磁心旋转稳定，不易产生晃动保证的柱靶的密封性能，同时，在柱靶上盖 与柱靶固定法兰之间设置屏蔽筒，防止了镀层沉积于阴极法兰上，保证柱靶与 真空机壳的绝缘性能。
图1为现有旋转电弧柱靶装置结构示意图2为本实用新型旋转电弧柱靶装置结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步阐述
参见图2，本实用新型的旋转电弧柱靶装置，包括柱靶下盖21、磁心磁钢
20、柱靶上盖18、柱靶阴极、真空室顶板5、柱靶固定法兰6、阴极绝缘法兰 17、柱靶阴极法兰16、阴极水套ll、水套绝缘法兰12、安装于阴极水套上并与 柱靶阴极内腔相通的出水口 8和位于柱靶阴极顶部的进水口 9，柱靶下盖、磁心 磁钢、柱靶上盖、真空室顶板、柱靶固定法兰、阴极绝缘法兰、柱靶阴极法兰、 阴极水套、水套绝缘法兰由下向上依次相连，电机支架2的中心截面为方形， 电机支架下底面固定在柱靶阴极法兰上，上表面固定在水套绝缘法兰上，电机1 固定在电机支架上表面，电机支架上的电机通过齿轮3与柱靶阴极顶端相连，在柱耙上盖与柱耙固定法兰之间设置屏蔽筒7，屏蔽筒套于柱靶阴极外并固定在 柱耙固定法兰上，在阴极绝缘法兰17与柱靶固定法兰6之间设有阴极密封胶圈 4。
以上所述仅为实用新型的较佳实施例而已，并不仅以上限制实用新型，凡 在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包
括在本实用新型的保护范围内。
权利要求1、旋转电弧柱靶装置，包括柱靶下盖、磁心磁钢、柱靶上盖、柱靶阴极、真空室顶板、柱靶固定法兰、阴极绝缘法兰、柱靶阴极法兰、阴极水套、水套绝缘法兰、安装于阴极水套上并与柱靶阴极内腔相通的出水口和位于柱靶阴极顶部的进水口，柱靶下盖、磁心磁钢、柱靶上盖、真空室顶板、柱靶固定法兰、阴极绝缘法兰、柱靶阴极法兰、阴极水套、水套绝缘法兰由下向上依次相连，其特征在于电机支架的中心截面为方形，电机支架下底面固定在柱靶阴极法兰上，上表面固定在水套绝缘法兰上，电机固定在电机支架上表面，电机支架上的电机通过齿轮与柱靶阴极顶端相连。
2、 如权利要求1所述的旋转电弧柱靶装置，其特征在于在柱靶上盖与柱靶固定 法兰之间设置屏蔽筒，屏蔽筒套于柱靶阴极外并固定在柱靶固定法兰上。
3、 如权利要求1或2所述的旋转电弧柱靶装置，其特征在于在阴极绝缘法兰与
专利摘要本实用新型公开旋转电弧柱靶装置，包括柱靶下盖、磁心磁钢、柱靶上盖、柱靶阴极、真空室顶板、柱靶固定法兰、阴极绝缘法兰、柱靶阴极法兰、阴极水套、水套绝缘法兰、安装于阴极水套上并与柱靶阴极内腔相通的出水口和位于柱靶阴极顶部的进水口，柱靶下盖、磁心磁钢、柱靶上盖、真空室顶板、柱靶固定法兰、阴极绝缘法兰、柱靶阴极法兰、阴极水套、水套绝缘法兰由下向上依次相连，其特征在于电机支架的中心截面为方形，电机支架下底面固定在柱靶阴极法兰上，上表面固定在水套绝缘法兰上，电机固定在电机支架上表面，电机支架上的电机通过齿轮与柱靶阴极顶端相连。本实用新型由于采用了上述结构，磁心旋转稳定，不易产生晃动保证的柱靶的密封性能。
文档编号C23C14/34GK201424502SQ200920056379
公开日2010年3月17日 申请日期2009年5月12日 优先权日2009年5月12日
发明者苏东艺 申请人:广州今泰科技有限公司