硅棒加工用轮刷的制作方法

文档序号:3367142阅读:214来源:国知局
专利名称:硅棒加工用轮刷的制作方法
技术领域
本发明涉及一种刷子,特别是一种用于加工硅棒使其表面光洁度高,减少下道工 序切片制作硅片的报废率使用的硅棒加工用轮刷。
背景技术
随着经济的蓬勃发展,人们生活水平的提高,人们对赖以生存的空间和环境的要 求也越来越高,需要低碳生活环境,使用无污染的能源,为此有关太阳能能源的开发利用的 专利也应运而生。单(多)硅晶片是太阳能行业上使用的重要、关键原料,硅晶片的生产原材料主要 为单晶硅棒或多晶硅锭经开方——磨面——滚圆(倒角)——端面——多线切片,上述加 工工序中还需对硅棒的表面作抛光去毛刺处理,磨面和滚圆所用工具就是磨头(毛刷),仅 对硅块表面进行研磨精加工,并且要求硅棒表面的加工越光滑越好,否则会发生用硅棒作 切片加工时硅片因周边蹦边、碎裂报废的现象,而且报废率还很高,造成很大的经济损失。若硅棒的截面为矩形不需剖方,但同样需进行表面处理,使其表面光洁度达到切 片的要求。但现市场上销售、使用的用于处理硅棒表面光洁度的轮刷,仅由用胶水固化固定 在金属盘周边上的环形刷毛构成,不仅连接不牢靠刷毛还易脱落,在高速运转时若冷却水 压力不稳定还会造成刷毛结块的现象,而轮刷质量的好坏将直接影响加工产品硅片的加工 质量和成品率。专利号200710040834. 5 “用于清洗硅片的刷片头”能有效提高硅片表面颗粒的去 除率,减少停留于刷子毛间的颗粒对硅片表面产生的划伤和二次沾污,但此专利也未公开 所使用刷片头的结构。专利申请号200910095528. 0“一种太阳能级单晶硅棒的抛光处理方法”,仅提到用 抛光设备对太阳能级单晶硅棒表面进行机械打磨抛光,但也未公开所用具体的抛光设备。

发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种硅棒加工用轮刷,其结构简单易制作,而 且刷毛不会结块、不易脱落,能提高产品的加工质量和加工档次,延长使用寿命,降低使用 成本。本发明解决上述问题所采用的技术方案硅棒加工用轮刷,包括固定在带有进水 孔的底盘上的刷毛,所述刷毛通过胶水和胶体层固化成整体,所述刷毛被分割成有间隙槽 的刷毛块,所述刷毛块外周边还有和刷毛块固化成整体的箍带,所述胶体层与所述底盘固 定成整体,所述底盘上的进水孔和刷毛块一一对应。与现有技术相比,本发明的优点在于1、因将刷毛分割成均布的刷毛块,各刷毛 块间留有间隙槽,冷却水可流入到刷毛中间,因此渗透效果好、降温快、刷毛又不易结块,同 时冷却水只能沿着间隙槽为导向集中定向流动,直到刷毛块的工作端面上,除降温效果好
3外,还因每个进水孔都对应一个刷毛块,水程短、水压大、分布均勻,能及时冲刷掉抛光所产 生的污物或颗粒,刷毛块上的污垢,避免二次污染和划伤硅棒的表面,提高硅块的表面光洁 度,具有镜面抛光功能,表面粗糙度可达RaO. 1 μ m RaO. 04 μ m ;2、在刷毛块的外表面上打箍,保证刷毛在高速转动时刷毛不倒伏、不松散开始终 成束状,因此抛光去毛刺效果好,可修正硅块在开方加工时表面上产生的显微裂纹,大大的 减少了在后工序切片中产生蹦边,同时可对原硅锭的四边平面垂直度起到修正作用,确保 硅锭四面及棱边的损伤层有效去除,也不会将硅棒的边棱抛洗掉,若将硅棒的边棱抛掉即 造成硅棒的塌角,而由有塌角的硅棒切片加工硅片只能是B级产品,仅能使用在民用产品 或要求不高的地方,否则为A级产品用在军工和要求高、重要的地方使用,因此可提高加工 硅片的成品率和档次;3、刷毛块是直接固定在由胶水构成的胶体层内,不会松散、不受外界影响,并胶体 层用预埋螺母和螺钉固定在金属底盘上,因此刷毛块为双重固定,连接牢靠,刷毛不易脱 落,延长了使用寿命,降低了生产成本;4、金属底盘的下表面上还加工有环凹槽导向槽,环凹槽的两侧壁分别为向外、向 内倾斜并平行的弧面,便于冷却水沿轮刷转动的切线方向上的导向槽进入轮刷内部,充分 集中利用了冷却水的压力冲洗刷毛块和工作面,并减少冷却水的用量节约使用成本。


图1、本发明的结构示意图。图2、图1的俯视图。图3、本发明的结构剖示图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明的实施例作进一步描述底盘4为中间有通孔的金属圆盘,周边有安装用的均布的沉头通孔,上端面边缘 有内止口,下端面上有一环凹槽为导向槽5,环凹槽的底面上有均布的进水孔6,导向槽的 两侧壁为分别向内、向外倾斜一角度并平行的斜弧面。用液体胶水作原料用模具加工胶体层1,将刷毛放入上层模具各均布的格子中,根 据需要设计格子的数量,下层模具放入胶水,模具下方的空腔内放入螺母嵌件8,再将上层 模具反转扣合在下层模具上,然后将整个上、下层模具加热,使胶水、刷毛、固化成整体,再 拿掉上、下层模具,这时胶水已制作成了胶体层1,刷毛在格子中粘结固定成整体的刷毛块 3并延伸到胶体层1外,刷毛块3间有间隔槽7,并使每个进水孔6都对准相对应的刷毛块 3,再将制成的带刷毛块3的胶体层1利用其上的螺母嵌件8用螺钉和底盘4连接成整体。最后在刷毛块3的外周边用绑带打箍构成箍带2,箍的宽度为使刷毛块3端面露出 3-8mm,并加胶水将箍带2与刷毛块3固化成整体,轮刷制作成。上述所用胶水都为环氧树脂胶水。使用时,将此轮刷通过底盘4中间的螺孔安装在抛光机的连接轴上就可使用,冷 却水从底盘4沿轮刷转动的切线方向进入导向槽5,然后通过进水孔6流入轮刷的内侧,并 经相邻的间隙槽7流入刷毛块3的加工端面,进行冷却和及时冲刷掉抛光时留下的污物或颗粒,因刷毛块外周边已打箍有箍带2,使刷毛成整体的束状,不会松散,因此对所加工硅棒 的边棱不会造成损伤,不会发生塌角现象,延长了使用寿命,并轮刷抛光去毛刺效果好,大 大提高了加工效率,避免切片加工时硅片边缘蹦边现象的发生,从而大大提高了硅片的成 品率,并使其质量上一个档次。
权利要求
一种硅棒加工用轮刷,包括固定在带有进水孔(6)的底盘(4)上的刷毛,其特征在于所述刷毛通过胶水和胶体层(1)固化成整体,所述刷毛被分割成有间隙槽(7)的刷毛块(3),所述刷毛块(3)外周边还有和刷毛块(3)固化成整体的箍带(2),所述胶体层(1)与所述底盘(4)固定成整体,所述底盘(4)上的进水孔(6)和刷毛块(3)一一对应。
2.根据权利要求1所述的硅棒加工用轮刷,其特征在于所述底盘(4)的下端面上有环 凹槽为导向槽(5),导向槽(5)底面上有均布的进水孔(6),导向槽(5)的两侧壁为分别向 内、向外倾斜一角度并平行的弧面。
3.根据权利要求1所述的硅棒加工用轮刷,其特征在于所述胶体层(1)中间有螺母嵌 件(8),底盘(4)用螺钉、螺母嵌件(8)和带有刷毛块(3)的胶体层(1)固定成整体。
全文摘要
一种硅棒加工用轮刷,包括固定在带有进水孔底盘上的刷毛,刷毛通过胶水和胶体层固化成整体,所述刷毛被分割成有间隙槽的刷毛块,刷毛块外周边有和刷毛块固化成整体的箍带,胶体层与底盘固定成整体,底盘上进水孔和刷毛块一一对应。冷却水通过间隙槽流入刷毛,渗透、降温效果好,刷毛不易结块,同时冷却水沿着间隙槽集中定向流动到刷毛块工作面上,能及时冲刷抛光产生的污物或颗粒及刷毛块上的污垢,箍带保证刷毛高速转动时刷毛不倒伏、不松散始终成束状,抛光去毛刺效果好,不会发生硅棒塌角现象,提高加工硅片的成品率、质量和档次;刷毛块为双重固定连接牢靠,刷毛不易脱落,底盘下有导向槽,冷却水沿轮刷转动切线方向进入导向槽集中利用。
文档编号B24D13/10GK101972997SQ20101055156
公开日2011年2月16日 申请日期2010年11月11日 优先权日2010年11月11日
发明者林德元 申请人:林云彩
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