专利名称：喷镀用高熔点金属粉末及使用了该金属粉末的高熔点金属喷镀膜和喷镀零件的制作方法
技术领域：
本发明涉及Mo和W等喷镀用高熔点金属粉末及使用了该喷镀用高熔点金属粉末的高熔点金属喷镀膜和喷镀零件，特别是涉及处理性及成膜性良好、粒径的不均少、容易得到厚度均匀的喷镀膜、且无需烧结操作而容易制备的喷镀用高熔点金属粉末及使用了该喷镀用高熔点金属粉末的高熔点金属喷镀膜和喷镀零件。
背景技术：
喷镀是指将陶瓷材料或金属材料进行加热、熔融后吹附到基材(被施工物)的表 面上形成被膜的成膜方法。作为加热用的热源，使用燃烧火焰或等离子体等。喷镀方式有火焰喷镀、爆炸喷镀、电气式喷镀、高速火焰喷镀等，近年来还开发出了在不将材料熔融的情况下形成被膜的冷喷法。关于喷镀，只要是熔融的材料即可适用，因而可以使用金属、陶瓷、金属陶瓷或塑料等各种材料。因此，喷镀得到的被膜的用途也多种多样，被用作耐磨耗性膜、耐蚀性膜、耐热性膜等，应用于汽车零件、产业机械零件、成膜装置用零件等各种产业领域中。另外，为了进行喷镀，要将喷镀材料制成粉末或线材(丝线状、棒状)后供至加热源。以火焰喷镀为例，将使用线状的喷镀材料的方式称为熔线式火焰喷镀(wire flamespraying)法，将使用粉末状的熔融材料的方式称为粉末式火焰喷镀(powder flamespraying)法。根据上述熔线式火焰喷镀法，由于能够向燃烧火焰连续地供给线状喷镀材料，因而具有以下优点容易恒定地控制材料的供给量，从而容易得到均匀的喷镀膜。但是，由于必须要将喷镀材料加工成线材，因此虽然对于碳钢、铝和锌等比较容易加工的材料是适合的，但当应用于钥和钨等较硬的高熔点金属时，已成为成本增高的主要原因。因此，将高熔点金属进行喷镀时多采用粉末式火焰喷镀法。作为喷镀用粉末，例如在日本特开2004-300555号公报(专利文献I)中公开了。在专利文献I中，将平均粒径为IOym以下的Mo粉末通过造粒烧结法制得了粒径范围(粒度范围)为5 75 的喷镀用粉末和45 250 u m的喷镀用粉末。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2004-300555号公报
发明内容
发明要解决的技术问题根据上述以往的喷镀用粉末的制备方法，通过将微细的原料粉末利用造粒烧结法进行处理来增大平均粒径，从而能够增大供至喷镀喷嘴(燃烧火焰)的喷镀材料的供给量，因而能够使成膜量及成膜速度增加。但是，利用造粒烧结法得到的粒径范围如5 75 y m或45 250 y m那样，粒径的不均较大。例如，当粒径范围为5 75 u m时，会形成5 u m的粉末和75 y m的粉末混合存在的状态。若以小的粒子和大的粒子混合存在的状态进行喷镀，则存在下述问题由于瞬间的喷镀用粉末的供给量会产生不均，因此很难得到厚度均匀的膜。另外，若将造粒得到的粉末通过烧结一体化，则由于需要烧结的工序，因此成为了成本增高的主要原因。本发明是为了解决上述现有问题而完成的发明，其目的在于提供处理性及成膜性良好、粒径的不均少、容易得到厚度均匀的喷镀膜、且无需烧结操作而容易制备的喷镀用高熔点金属粉末及使用了该喷镀用高熔点金属粉末的高熔点金属喷镀膜和喷镀零件。用于解决技术问题的手段本发明的喷镀用高熔点金属粉末的特征在于，I次粒子的平均粒径为flOiim，该I次粒子粘接而成的2次粒子的平均粒径为2(Tl50 u m,粒径为2(Tl50 y m的2次粒子的比例为整体的70质量％以上。另外，对于上述喷镀用高熔点金属粉末，进一步优选上述粒径为2(Tl50 U m的2次粒子的比例为9(T100质量％。进而，对于上述喷镀用高熔点金属粉末，优选上述2次粒子是通过利用树脂粘合剂将I次粒子粘接而制备的。进而，对于上述喷镀用高熔点金属粉末，优选上述I次粒子是纯度为99. 9质量％以上的钥粉末或钨粉末中的任I种。另外，优选上述I次粒子是通过将Ni、Co、Cr、稀土元素及这些元素的化合物中的至少I种以上的第二成分粉末以0. 005 30质量％的比例与钥粉末或钨粉末中的任I种混合而成的。另外，对于上述喷镀用高熔点金属粉末，优选与上述钥粉末或钨粉末的平均粒径相比，第二成分粉末的平均粒径更小。进而，优选上述2次粒子的体积密度为f5g/cm3。进而，对于上述喷镀用高熔点金属粉末，优选上述喷镀用高熔点金属粉末的流动性为50sec/50g以下。另外，本发明的高熔点金属喷镀膜的特征在于，其是通过喷镀上述喷镀用高熔点金属粉末而在基材上形成的。进而，本发明的喷镀零件的特征在于，在基材表面具备上述高熔点金属喷镀膜。发明效果根据本发明的喷镀用高熔点金属粉末，由于将具有规定粒径范围的2次粒子的重量比例规定为较多，因此能够恒定地控制供至喷镀喷嘴的喷镀用粉末的供给量，且控制管理变得容易，从而能够得到厚度均匀的高熔点金属喷镀膜。另外，由于使用在不实施烧结操作的情况下将I次粒子粘接而成的2次粒子，因此还能够防止成本增高。
图I是表示本发明的高熔点金属粉末的一个实施例的图。图2是表示本发明的喷镀用高熔点金属的一个例子的图。图3是表示本发明的喷镀用高熔点金属的另一个例子的图。
具体实施方式
本发明的喷镀用高熔点金属粉末的特征在于，I次粒子的平均粒径为flOiim，该I次粒子粘接而成的2次粒子的平均粒径为2(Tl50 u m,粒径为2(Tl50 y m的2次粒子的比例为整体的70质量％以上。另外，在上述喷镀用高熔点金属粉末中，优选上述粒径为20 150 ii m的2次粒子的比例为90^100质量％。这里，高熔点金属是指钨(熔点为3400°C )、钥(熔点为2620°C )、铼(熔点为3180°C)、铪(熔点为2230°C)等熔点为2000°C以上的金属。另外，I次粒子是指I个高熔点金属粉末，2次粒子是指多个I次粒子凝聚而成的粒子。I次粒子凝聚是指聚集并凝聚而成的状态、或者介由粘接剂或粘合剂等相互粘接而成的状态。图I表示I次粒子I和二次粒子2混合存在的状态的一个例子。图中，符号I为喷镀用高熔点金属粉末的I次粒子，符号2为喷镀用高熔点金属粉末的2次粒子。本发明的喷镀用高熔点金属粉末的特征在于，I次粒子的平均粒径为flOiim，将
该平均粒径为广10 u m的粒子彼此粘接而结合得到的2次粒子的平均粒径为2(T150 u m,粒径为2(Tl50 ii m的2次粒子的比例为整体的70质量％以上。I次粒子粘接而成的2次粒子优选使用粘接剂或粘合剂等有机物将I次粒子粘接来制备。当为有机物时，由于会因喷镀工序的热而烧掉，因此对高熔点金属粉末的特性造成的不良影响少。另外，当I次粒子的平均粒径低于Ium时，各个粉末过于微细，处理性变差，另一方面，当平均粒径超过10 y m而变粗大时，2次粒子的尺寸变得过大，喷镀材料的供给速度有可能会变得不稳定。另外，当2次粒子的平均粒径低于20 y m时，制成2次粒子的效果小，而当平均粒径超过150 时，由于尺寸过大，因此会导致喷镀工序中的材料供给量不均，均匀的成膜操作变得困难。在本发明中，规定了粒径为2(Tl50iim的2次粒子的重量比例达到80质量％以上。进而，该粒径为2(Tl50 ii m的2次粒子的重量比例进一步优选为90质量％以上且100
质量％以下。另外，在火焰喷镀等喷镀工序中，要向喷镀火焰中供给喷镀材料。但是，当喷镀材料为粉末时，根据喷镀材料的粉末尺寸的大小的不同，所得的喷镀膜的膜厚、成膜速度会发生变化。也就是说，即使使用了相同组成的喷镀材料，对于粒径为Ium的喷镀材料和粒径为20 iim的喷镀材料而言，成膜量也大大不同。为了向喷镀火焰稳定地供给喷镀材料，一直以来采用将高熔点金属制成线材或棒材的方法，但为了将高硬度的高熔点金属加工成线材或棒材，需要复杂的工序，成为喷镀操作的成本增高的主要原因。与此相对，在本发明中，通过将微细的I次粒子加工成具有一定程度的粒径的2次粒子，并增多该2次粒子的比例，从而使供至喷镀火焰的高熔点金属粉末的供给量变得稳定。由于供至喷镀火焰的高熔点金属粉末的供给量稳定，因此成膜量也稳定，从而容易得到膜厚均匀的高熔点金属膜。另外，与线材和棒材相比粉末状的喷镀材料更容易熔融，因此当为相同的燃烧火焰(喷镀火焰)时能够提高成膜速度。只要高熔点金属粉末的粒径的绝对值为本发明中规定的范围，即可降低作为喷镀材料的高熔点金属粉末的供给不均。图2及图3示出了本发明的喷镀用高熔点金属粉末的2次粒子的构成例。
在图2及图3中，符号2为喷镀用高熔点金属粉末的2次粒子。图3中记载了表示2次粒子的粒径的L。简而言之，喷镀用高熔点金属粉末的I次粒子及2次粒子的粒径可用以下方法来测定。即，下述方法拍摄各粉末组的放大照片，以其拍到的粒子的最大直径作为粒径，分别对50个粒子进行测定，取其平均粒径。关于I次粒径，也可以采用FSSS粒径。另外，优选使用将多个I次粒子利用树脂粘合剂相互粘接而成的2次粒子。关于2次粒子，如上所述是I次粒子彼此粘接而成的粒子，作为其粘接方式，有·利用应力进行的接合、利用树脂粘合剂进行的接合等各种方式。当为利用树脂粘合剂粘接而成的金属粉末时，由于投入喷镀火焰后树脂粘合剂会烧掉，因此能够将熔融后的I次粒子成分进行成膜。另一方面，当为利用应力接合而成的金属粉末时，由于2次粒子本身会发生熔融而成膜，因此当2次粒子的尺寸过大时会导致成膜的厚度或成膜量不均。树脂粘合剂只要是树脂就没有特别限定，但优选聚乙烯醇(PVA)、有机硅树脂、环氧树脂等会在1000°c以上的喷镀火焰中烧掉的树脂。另外，高熔点金属粉末优选I次粒子由纯度为99. 9质量％以上的钥粉末或钨粉末中的任I种构成。高熔点金属的纯度可根据所需的喷镀膜的特性而定，但纯度高时由于熔点的不均少而更容易得到稳定的喷镀膜。特别是高熔点金属难以加工成线材或棒材，钥或钨更优选以粉末状态进行使用。另外，高熔点金属粉末的I次粒子还可以是通过将Ni、Co、Cr、稀土元素及这些元素的化合物中的至少I种以上的第二成分粉末以0. 005 30质量％与钥粉末或钨粉末中的任I种混合而成的粒子。根据喷镀膜所需的特性，将Ni、Co、Cr、稀土元素及这些元素的化合物中的至少I种以上的第二成分粉末以0. 005 30质量％的比例混合也是有效的。关于混合，优选在高熔点金属粉末中混合第二成分的粉末的方式。例如，虽然也可以预先制造高熔点金属和第二成分的合金粉末，但合金化工序会成为成本增高的主要原因。另一方面，若是将第二成分的粉末进行混合的方式，则只要将粉末进行混合即可，因此喷镀用高熔点金属粉末的制备变得极其简单。另外，由于将高熔点金属粉末进行喷镀的喷镀火焰的温度非常高，因此第二成分粉末通过喷镀火焰被喷镀。另外，第二成分粉末的平均粒径与高熔点金属粉末同样地优选为fIOiim的范围。另外，优选与钥粉末或钨粉末的平均粒径相比，第二成分粉末的平均粒径更小。若第二成分的平均粒径大于高熔点金属粉末(钥、钨等)，则有可能在混合粉末中会产生第二成分未均匀混合的区域。通常，第二成分的熔点低于高熔点金属粉末。因此，当粒径过大时，会成为喷镀膜的组成不均的原因。为了降低喷镀膜的组成不均，第二成分粉末的混合量优选为10质量％以下。另外，2次粒子的体积密度优选为f 5g/cm3。在本发明中，优选2次粒子的比例更多。但是，当2次粒子的体积密度低于lg/cm3而过低时，相对地树脂粘合剂量变得过多，高熔点金属粉末供至喷镀火焰的供给量降低。另一方面，当上述2次粒子的体积密度超过5g/cm3而较高时,在I次粒子之间不会进入树脂粘合剂，容易形成I次粒子彼此通过应力直接接合而成的状态，因而不优选。上述2次粒子的体积密度可通过阿基米德法来测定。
另外，喷镀用高熔点金属粉末的流动性优选为50seC/50g以下。此时的流动性是表示喷镀装置中喷镀材料的流动程度的指标，在仅由喷镀用高熔点金属粉末构成的情况、或由高熔点金属粉末和树脂粘合剂混合而成的情况等任一情况下均成为管理项目。即，关于喷镀材料向喷镀火焰的供给，一边向设于喷镀喷嘴附近的供给口投入喷镀材料一边实施。此时，若赋予喷镀材料一定程度的流动性，则通过使供给口稍微倾斜即可利用重力自然流下，因此可实现喷镀材料的稳定供给，使成膜量变得稳定。另外，当对喷镀材料赋予了流动性时，喷镀用高熔点金属粉末向喷镀火焰的供给系统也容易自动化。另外，上述流动性的测定操作可通过如下方法来实施使用依据JIS-K-6760的挤出型塑性计，以树脂粘合剂与喷镀用高熔点金属粉末的混合物50g从规定孔被挤出为止所需的时间(秒)来测定。在使用本发明的喷镀用高熔点金属粉末的情况下，与使用线材的情况相比不仅能够实现大幅的成本降低，而且还能够谋求成膜量的均匀化。另外，即使在形成混合了第二成 分的喷镀膜的情况下，也只要在高熔点金属粉末中混合第二成分粉末即可简单地制备喷镀 用金属粉末，因此也能够灵活地应对成膜材料的变更。另外，通过控制喷镀用高熔点金属粉末的体积密度和流动性，不仅能够实现成膜量的均匀化，而且还能够提高成膜工序的自动化等喷镀设备的简化及喷镀用高熔点金属粉末的处理性。通过将这样的喷镀用高熔点金属粉末进行喷镀而在基材上成膜，可得到各种高熔点金属喷镀膜。另外，还可适用于具备这样的喷镀膜的各种喷镀零件。喷镀零件只要是具有喷镀膜的零件就没有特别限定，可适用于具备耐磨耗性膜、耐蚀性膜、耐热性膜等功能的汽车零件、产业机械零件、成膜装置用零件等各种领域。另外，喷镀膜的膜厚没有特别限定，优选为10飞00 u m的范围。进一步优选为2(T400 u m的范围。接着，对本发明的喷镀用高熔点金属粉末的制造方法进行说明。本发明的喷镀用高熔点金属粉末只要具有上述构成，其制造方法就没有特别限定，作为以高效率进行制造的方法，可举出以下的方法。首先，准备平均粒径为f 10 U m的高熔点金属粉末。例如，当目标材料为高纯度Mo粉末时，预先准备纯度为99. 9%以上的Mo粉末。通常，即使是I次粒子的平均粒径为f 10 u m的高熔点金属粉末，也多是一部分结合而成的2次粒子混合存在的粉末。该2次粒子是I次粒子通过应力结合而成的粒子。因此，为了使I次粒子充分破碎并松解，利用旋转式雾化器等来实施粉碎工序。另外，在使用第二成分的情况下，优选在作为第一成分的高熔点金属粉末中混合第二成分粉末的方法。接着，使用喷雾干燥器等造粒机重新形成2次粒子。此时，若根据需要混合树脂粘合剂，则能够容易地得到利用树脂粘合剂将I次粒子粘接而成的2次粒子。关于上述树脂粘合剂的添加量，虽然是任意的，但优选以2次粒子的体积密度达到f5g/cm3的范围、流动性达到50seC/50g以下的方式进行混合。接着，当得到的2次粒子的平均粒径为2(T150 y m时，可直接作为成品，当想要进一步使粒径以绝对值计达到2(Tl50 ii m时，实施使用不会使粒径为20 ii m以上的粒子通过的筛子以及不会使粒径超过150 u m的粒子通过的筛子这2种筛子的筛分工序是有效的。[实施例](实施例I 5及比较例I)
作为原料粉末，准备具有表I所示的平均粒径、纯度为99. 9质量％以上的钥粉末。接着，如表I所示那样，根据需要添加第二成分粉末。使用喷雾干燥器将这些原料粉末与树脂粘合剂进行混合。接着，根据需要实施排除粒径低于20 y m及超过150 u m的粒子的筛分工序。通过这些工序，制备表I所示的喷镀用高熔点金属粉末。所得的喷镀用高熔点金属粉末的2次粒子是通过树脂粘合剂粘接而成的粒子。另外，作为比较例1，准备与和树脂粘合剂进行混合工序之前的实施例I相同的Mo原料粉末。对各实施例及比较例的喷镀用高熔点金属粉末中的2次粒子的平均粒径、2次粒子在全部粒子中的比例(wt%)、2次粒子的体积密度及流动性进行调查测定。另外，实施例4的作为第二成分的Co粉末的平均粒径为3ii m，实施例5的Y2O3粉末的平均粒径为5iim。这里，关于2次粒子的平均粒径，通过放大照相来拍摄50个以上的2次粒子，以各
照片中拍到的2次粒子的最大直径作为粒径，将50个的平均值作为2次粒子的平均粒径。另外，对拍到50个以上2次粒子的放大照片中存在的I次粒子和2次粒子的个数进行调查，以质量％(wt%)计算2次粒子的比例。另外，2次粒子的密度用阿基米德法进行调查。流动性用上述挤出型塑性计进行调查。将其调查测定结果示于下述表I中。表I
Mo原料粉末__喷镀用高熔点金属 _
第二成分粉末粒径为一 vr~
--Iv Tn 为
. ,Y; XT 平均20 150pm 2次粒子 Ysa 2次粒子 、
1. °'粒径材质的2次粒的平均粒的体积密\
(^m)(添加量wt%) 子的比例径以m) 度(g/cm3) 8>____(wt%)__比例(Wt%)__
实施例 I I__^__5__25__72__L3__48
实施例 2 3__丢__10__35__95__2^__40
实施例 3 5__56__20__40__98__3A__38
Co
实施例 4 7 ° 24 58 98 3.9 30 .___(IOwt0Zo)______
Y7O^
实施例 5 10 30 120 80 4.7 24___(5wt%)______
比较例I无I-I-(实施例6 10及比较例2)作为原料粉末，准备具有表2所示的平均粒径、纯度为99. 9质量％以上的钨粉末。接着，如表2所示那样根据需要添加第二成分粉末。使用喷雾干燥器将这些各金属粉末与树脂粘合剂进行混合。接着，根据需要实施排除粒径低于20 U m及粒径超过150 U m的金属粉末的筛分工序。通过这些处理工序，制备表2所示的各实施例及比较例的喷镀用高熔点金属粉末。另外，所得的喷镀用高熔点金属粉末中，其2次粒子是利用树脂粘合剂粘接而成的粒子。另外，实施例9中的作为第二成分的Ni粉末的平均粒径为2 ii m，实施例10中的作为第二成分的Cr粉末的平均粒径为I U m。
另外，作为比较例2，准备与和树脂粘合剂进行混合工序之前的实施例6相同的Mo原料粉末。对各实施例的喷镀用高熔点金属粉末中的2次粒子的平均粒径、2次粒子相对于全部粒子的重量比例(wt%)、2次粒子的体积密度及流动性进行调查测定。也就是说，2次粒子的平均粒径如下来测定。即，通过放大照相来拍摄50个以上的2次粒子，以各照片中拍到的2次粒子的最大直径作为粒径，将50个的平均值作为2次粒子的平均粒径。另外，计算拍到50个以上2次粒子的放大照片中存在的I次粒子及2次粒子的个数，以质量％(wt%)表示2次粒子的重量比例。另外，2次粒子的体积密度用阿基米德法进行调查。此外，流动性用上述挤出型塑性计进行调查。将它们的调查测定结果示于 下述表2中。表2
_ W妝料粉木__喷镀用髙熔点金属 _
第二成分粉末粒径为一、,~
--粒径为
讲hT 平均20 150_2次粒子 J.二』 2次粒子 ^掛试样 No. 20~150^im^ 流动性
粒径材质的2次粒的平均粒的体积密，、
(,)(添加最wt%)子的比例径(_) f, FMigfcm3)(咖8)____(wt^__比例(Wt%)__
实施例 6 2__丢__10__30__98__22__40
实施例 7 4__舌__18__40__99__2J__42
实施例 8 6__^__24__84__HM)__32__34
Ni
实施例 9 8 28 100 80 3.0 33 (0.01wt%)_
Cr
实施例 10 10 35 142 70 4.2 70___(3wt%)______
比较例 I I 2 I ￡ I 10 I - I - I - I -接着，使用上述实施例f 10及比较例广2的喷镀用高熔点金属粉末形成喷镀膜。具体而言，使用粉末式火焰喷镀装置(powder flame spraying device)进行成膜。作为基材，使用长30cmX宽30cmX厚度2mm的不锈钢(SUS)。然后，对在基材表面上对长5cmX宽5cm的喷镀膜花一定时间进行喷镀处理后的膜厚的不均进行了调查。在5处形成长5X宽5cm的喷镀膜，求出膜厚的最大值和最小值之差，代入下述算式中计算喷镀膜的膜厚不均。喷镀膜的厚度不均(%) = [(膜厚的最大值-膜厚的最小值)/(膜厚的最大值+膜厚的最小值)]X100(%)。将其测定计算结果示于下述表3中。表权利要求
1.一种喷镀用高熔点金属粉末，其特征在于，I次粒子的平均粒径为f 10 i! m，该I次粒子粘接而成的2次粒子的平均粒径为2(Tl50 u m,粒径为2(Tl50 y m的2次粒子的比例为整体的70质量％以上。
2.根据权利要求I所述的喷镀用高熔点金属粉末，其特征在于，所述粒径为2(T150u m的2次粒子的比例为9(Tl00质量％。
3.根据权利要求I或权利要求2所述的喷镀用高熔点金属粉末，其特征在于，所述2次粒子是通过利用树脂粘合剂将I次粒子粘接而制备的。
4.根据权利要求I至权利要求3中任一项所述的喷镀用高熔点金属粉末，其特征在于，所述I次粒子是纯度为99. 9质量％以上的钥粉末或钨粉末中的任I种。
5.根据权利要求I至权利要求3中任一项所述的喷镀用高熔点金属粉末，其特征在于，所述I次粒子是通过将Ni、Co、Cr、稀土元素及这些元素的化合物中的至少I种以上的第二成分粉末以0. 005 30质量％的比例与钥粉末或钨粉末中的任I种混合而成的。
6.根据权利要求5所述的喷镀用高熔点金属粉末，其特征在于，与所述钥粉末或钨粉末的平均粒径相比，第二成分粉末的平均粒径更小。
7.根据权利要求I至权利要求6中任一项所述的喷镀用高熔点金属粉末，其特征在于，所述2次粒子的体积密度为f 5g/cm3。
8.根据权利要求I至权利要求7中任一项所述的喷镀用高熔点金属粉末，其特征在于，所述喷镀用高熔点金属粉末的流动性为50seC/50g以下。
9.一种高熔点金属喷镀膜，其特征在于，其是通过喷镀权利要求I至权利要求8中任一项所述的喷镀用高熔点金属粉末而在基材上形成的。
10.一种喷镀零件，其特征在于，在基材表面具备权利要求9所述的高熔点金属喷镀膜。
全文摘要
本发明的喷镀用高熔点金属粉末的特征在于，1次粒子的平均粒径为1~10μm，该1次粒子粘接而成的2次粒子的平均粒径为20~150μm，粒径为20~150μm的2次粒子的比例为整体的70质量%以上。另外，优选控制2次粒子的密度和流动性。当使用这种处理性良好且成膜性好的喷镀用高熔点金属粉末来形成喷镀膜时，容易得到厚度均匀的高熔点金属膜。
文档编号C23C4/08GK102985581SQ201180034290
公开日2013年3月20日 申请日期2011年7月11日 优先权日2010年7月12日
发明者森冈勉, 奥畑孝浩, 佐野孝 申请人:株式会社东芝, 东芝高新材料公司