一种倾斜角调整装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种倾斜角调整装置，该装置包括弹性部件、螺母座、传动杆和轴座，其中，该弹性部件包括弹性本体和三个形变端，其中第一形变端设置在弹性本体的上侧；第二形变端和第三形变端设置在弹性本体的下侧两端的位置上；第三形变端通过螺栓固定在该螺母座上，该螺母座具有内螺纹；该传动杆上端具有外螺纹，并通过该外螺纹与螺母座的内螺纹连接；该传动杆穿过该轴座，并在轴座的上下两端通过固定环将所述传动杆固定在该轴座中。所述倾斜角调整装置安装在工作台与机床之间，其中所述第一形变端固定在工作台上，所述第二形变端固定在机床上，所述轴座固定在机床上。本发明的倾斜角调整装置结构简单，安装使用方便，调整精度高，能够达到一微米以下。
【专利说明】一种倾斜角调整装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于硅片加工设备的倾斜角调整装置，属于硅片精密加工【技术领域】。
【背景技术】
[0002]各种硅片加工设备中经常会包含有需要调节工作台倾斜角的对象体，例如硅片磨削设备砂轮倾斜角调整，载片台倾斜角调整等。现有的倾斜角调整装置有的是通过丝杆直接作用于调整对象，但这种方式存在调整精度不高的缺点，很难实现一微米以下的调整量；同时也存在能够实现一微米以下的调整装置，但设计精密，通常需要通过控制系统来调节，价格昂贵。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种倾斜角调整装置，用于调整硅片加工设备中各对象体的倾斜角，其在手动调节时能够实现一微米以下的调整量。
[0004]为实现上述目的，本发明采用以下技术方案:
[0005]一种倾斜角调整装置，该装置包括弹性部件、螺母座、传动杆和轴座，其中，该弹性部件包括弹性本体和三个形变端，其中第一形变端设置在弹性本体的上侧；第二形变端和第三形变端设置在弹性本体的下侧两端的位置上；第三形变端通过螺栓固定在该螺母座上，该螺母座具有内螺纹；该传动杆上端具有外螺纹，并通过该外螺纹与螺母座的内螺纹连接；该传动杆穿过该轴座，并在轴座的上下两端通过固定环将所述传动杆固定在该轴座中。
[0006]所述倾斜角调整装置安装在工作台与机床之间，其中所述第一形变端固定在工作台上，所述第二形变端固定在机床上，所述轴座固定在机床上。
[0007]在所述倾斜角调整装置中，所述第一形变端位于靠近第二形变端，远离第三形变端的位置上。
[0008]在所述倾斜角调整装置中，所述三个形变端与所述弹性本体的连接处均为弧状结构。
[0009]在所述倾斜角调整装置中，所述传动杆下端设有调节端，该调节端上设有刻度。
[0010]在所述倾斜角调整装置中，所述传动杆下端通过联轴器安装减速器和驱动电机，该驱动电机连接到控制系统。
[0011]在所述倾斜角调整装置中，所述弹性部件由不锈钢材料制成。
[0012]本发明的优点在于:
[0013]本发明的倾斜角调整装置结构简单，安装使用方便，调整精度高，能够达到一微米以下。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为本发明倾斜角调整装置的结构示意图。[0015]图2为具有带有刻度的调节端的传动杆的结构示意图。
[0016]图3为带有控制系统的倾斜角调整装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]如图1所示，本发明的倾斜角调整装置包括能够产生形变的弹性部件1、螺母座2、传动杆3、轴座4、固定环5。其中弹性部件I包括弹性本体Id和三个形变端，三个形变端位于弹性本体Id的上下两侧，其中第一形变端Ia位于弹性本体Id的上侧，第二形变端lb、第三形变端Ic位于弹性本体Id的下侧，第一形变端Ia位置上靠近第二形变端lb，远离第三形变端lc。采用这种设置方式时，利用杠杆原理，当第三形变端Ic上升或下降时，在第一形变端Ia产生的上升或下降量会远小于第三形变端Ic的上升或下降量。
[0018]其中，第一形变端Ia通过螺栓固定在工作台6上,第二形变端Ib通过螺栓固定在机床7上，即工作台6通过弹性部件I连接固定在机床7。第三形变端Ic通过螺栓固定在螺母座2上，该螺母座2具有内螺纹；传动杆3的上端具有外螺纹，并通过该外螺纹与螺母座2的内螺纹连接；轴座4通过螺栓固定在机床7上，传动杆3穿过轴座4，并在轴座4的上下两端通过固定环5将传动杆3固定在轴座4中，以防止传动杆3上下移动。
[0019]三个形变端la、lb、Ic与弹性本体Id的连接处均为弧状结构。
[0020]所述倾斜角调整装置的工作方式为:通过扭转传动杆3的下端，传动杆3通过螺纹连接使得螺母座2上升或下降，因为螺母座3固定在弹性部件I的第三形变端Ic上，所以螺母座3的上升或下将降带动弹性部件I的第三形变端Ic上升或下降。由于第一形变端Ia固定在工作台6上,第二形变端Ib固定在机床7上,弹性本体Id与第一形变端la、第二形变端Ib的弧状连接处会因第三形变端Ic的上升或下降而受到力的作用，而第一形变端la、第二形变端Ib的弧状连接处发生形变有一个临界力，当第一形变端la、第二形变端Ib的弧状连接处受到的力大于临界力时，第一形变端la、第二形变端Ib的弧状连接处发生形变。因而，一方面利用杠杆原理，当第三形变端Ic上升或下降时，在第一形变端Ia处产生上升或下降量会远小于第三形变端Ic上升或下降量；另一方面第一形变端la、第二形变端Ib的弧状连接处因形变要抵消掉一部分的力，进而使得第一形变端Ia上升或下降量进一步减小。例如:传动杆3上端螺纹及连接螺母座4的螺距为0.5mm,即扭转传动杆3转动一周，螺母座4上升或下降0.5微米。假设传动杆3转动5°，则第三形变端Ic处上升或下降量为6.94微米，当第一形变端Ia与第三形变端lc、第二形变端Ib之间的距离比为10: I时，同时第一形变端la、第二形变端Ib的弧状连接处因形变要抵消掉一部分的力，所以第一形变端Ia处上升或下降量会小于0.694微米。
[0021]作为可产生弹性形变的弹性部件I可以由不锈钢开模加工而成。
[0022]如图2所示，作为进一步优化，本发明中的传动杆3的下端可以设置调节端8，调节端8设有刻度，从而在手动扭转调节端时能够控制扭转量，使得调整更加方便、精确。
[0023]如图3所示，本发明还可以在传动杆3下端通过联轴器9安装减速器10和驱动电机11，将驱动电机11连接到控制系统12，从而实现通过机器控制更精确的调整量，增强人机交互功能，更加方便操作。
【权利要求】
1.一种倾斜角调整装置，其特征在于，该装置包括弹性部件、螺母座、传动杆和轴座，其中，该弹性部件包括弹性本体和三个形变端，其中第一形变端设置在弹性本体的上侧；第二形变端和第三形变端设置在弹性本体的下侧两端的位置上；第三形变端通过螺栓固定在该螺母座上，该螺母座具有内螺纹；该传动杆上端具有外螺纹，并通过该外螺纹与螺母座的内螺纹连接；该传动杆穿过该轴座，并在轴座的上下两端通过固定环将所述传动杆固定在该轴座中。
2.根据权利要求1所述的倾斜角调整装置，其特征在于，所述倾斜角调整装置安装在工作台与机床之间，其中所述第一形变端固定在工作台上，所述第二形变端固定在机床上，所述轴座固定在机床上。
3.根据权利要求1所述的倾斜角调整装置，其特征在于，所述第一形变端位于靠近第二形变端，远离第三形变端的位置上。
4.根据权利要求1所述的倾斜角调整装置，其特征在于，所述三个形变端与所述弹性本体的连接处均为弧状结构。
5.根据权利要求1所述的倾斜角调整装置，其特征在于，所述传动杆下端设有调节端，该调节端上设有刻度。
6.根据权利要求1所述的倾斜角调整装置，其特征在于，所述传动杆下端通过联轴器安装减速器和驱动电机，该驱动电机连接到控制系统。
7.根据权利要求1所述的倾斜角调整装置，其特征在于，所述弹性部件由不锈钢材料制成。
【文档编号】B24B19/22GK103817576SQ201210465468
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2012年11月16日 优先权日:2012年11月16日
【发明者】葛钟, 闫志瑞, 库黎明, 李青保 申请人:有研半导体材料股份有限公司