专利名称：钨钼平面靶材放置架的制作方法
技术领域：
钨钼平面靶材放置架技术领域:本实用新型属于钨钥制品技术领域，具体涉及一种钨钥平面靶材放置架。
背景技术：
:溅射靶材主要用于平面显示器、薄膜太阳能电池的电极和配线材料以及半导体的阻挡层材料。这些是基于钨、钥的高熔点、高电导率、较低的比阻抗、较好的耐腐蚀性以及良好的环保性能。以前，平面显示器的配线材料主要是铬，但随着平面显示器的大型化和高精度化，越来越需要比阻抗小的材料。另外，环保也是必须考虑的问题。而钥具有比阻抗和膜应力仅为铬的I / 2的优势，而且不存在环境污染问题，因此成为了平面显示器溅射靶材的首选材料之一。此外，钥靶材使用在LCD的元器件中，可使液晶显示器在亮度、对比度、色彩以及寿命方面的性能大大提升。目前在存放钨钥靶材时，一般是将钨钥靶材两端支撑，靶材水平放置在支撑架上，由于钨、钥靶材一般长度相对较长，靶材水平放置，两端支撑，此种存放方式，长时间存放，靶材的中部缺乏支撑，受重力影响会出现向下的弯曲变形，从而影响平面靶材后续的使用。实用新型内容:综上所述，为了克服现有技术问题的不足，本实用新型提供了一种钨钥平面靶材放置架，它是沿靶材的长度方向设置三个支撑架，在支撑架上设置立式的卡槽，沿靶材的宽度方向，将靶材立起来，然后放进支撑架上的立式卡槽内，从而实现将钨钥平面靶材立式放置，且沿靶材的长度方向，左中右三点支撑，可有效的防止靶材的弯曲变形，保证靶材能够正常的使用。为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是这样实现的:一种钨钥平面靶材放置架，其中:包括支撑架、卡座及卡槽，沿靶材的长度方向，靶材的左端、右端及中部各设置一个支撑架，支撑架上设置有卡座，卡座上设置有卡槽，卡槽宽度比靶材的厚度大2-3mm。进一步，所述的支撑架为阶梯状金属架，所述阶梯状金属架的台阶水平面上设置有卡座。进一步,所述的卡座为木质卡座,卡座内设置有多个卡槽，卡槽的深度大于等于革巴材宽度的三分之一。本实用新型的有益效果为:1、本实用新型是是沿靶材的长度方向设置三个支撑架，在支撑架上设置立式的卡槽，沿靶材的宽度方向，将靶材立起来，然后放进支撑架上的立式卡槽内，从而实现将钨钥平面靶材立式放置，且沿靶材的长度方向，左中右三点支撑，可有效的防止靶材的弯曲变形，保证靶材能够正常的使用。2、本实用新型结构简单紧凑，使用方便、成本低，能够很好的解决现有平面靶材存放时产生的靶材中部弯曲变形的问题，保证靶材长时间存放后仍然能够使用。
[0015]图1为本实用新型的结构示意图；图2为本实用新型的左视示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。如图1、图2所示，一种钨钥平面靶材放置架，包括支撑架1、卡座2及卡槽3，沿靶材4的长度方向，靶材4的左端、右端及中部各设置一个支撑架1，支撑架I为阶梯状金属架，所述阶梯状金属架的台阶水平面上设置有卡座2，卡座2为木质卡座2，卡座2内设置有多个卡槽3，卡槽3的深度大于等于靶材4宽度的三分之一。卡槽3宽度比靶材4的厚度大2-3mm。使用时，沿靶材4的宽度方向，将钨钥等平面靶材4侧立，然后将钨钥等平面靶材4侧立放置在本实用新型的卡槽3内即可。要说明的是，上述实施例是对本实用新型技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的其它修改，只要没超出本实用新型技术方案的思路和范围，均应包含在本实用新型所要求的权利范围之内。
权利要求1.一种钨钥平面靶材放置架，其特征在于:包括支撑架(I)、卡座(2)及卡槽(3)，沿靶材(4)的长度方向，靶材(4)的左端、右端及中部各设置一个支撑架(1)，支撑架(I)上设置有卡座(2)，卡座(2)上设置有卡槽(3)，卡槽(3)宽度比靶材(4)的厚度大2-3mm。
2.根据权利要求1所述的钨钥平面靶材放置架，其特征在于:所述的支撑架(I)为阶梯状金属架，所述阶梯状金属架的台阶水平面上设置有卡座(2 )。
3.根据权利要求2所述的钨钥平面靶材放置架，其特征在于:所述的卡座(2)为木质卡座，卡座(2)内设置有多个卡槽(3)，卡槽(3)的深度大于等于靶材(4)宽度的三分之一。
专利摘要本实用新型涉及一种钨钼平面靶材放置架，包括支撑架、卡座及卡槽，沿靶材的长度方向，靶材的左端、右端及中部各设置一个支撑架，支撑架上设置有卡座，卡座上设置有卡槽，卡槽宽度比靶材的厚度大2-3mm。本实用新型是沿靶材的长度方向设置三个支撑架，在支撑架上设置立式的卡槽，沿靶材的宽度方向，将靶材侧立起来，然后放进支撑架上的立式卡槽内，从而实现将钨钼平面靶材立式放置，且沿靶材的长度方向，左中右三点支撑，可有效的防止靶材的弯曲变形，保证靶材能够正常的使用。
文档编号C23C14/34GK203065566SQ20132005635
公开日2013年7月17日 申请日期2013年2月1日 优先权日2013年2月1日
发明者王正革, 赵士刚 申请人:洛阳高新四丰电子材料有限公司