一种用于摆片研磨抛光的卡具的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于摆片研磨抛光的卡具，其包括：基座，基座上表面中心设有一圆槽，基座下表面为平面度小于λ/4的光滑平面；开有至少一个用于容纳摆片的圆孔的摆片固定板；其贴合固定在基座的下表面；摆片固定板上的圆孔的边缘还具有一个U型缺口；内衬垫，内衬垫置于圆孔内并与基座下表面粘贴在一起。由于摆片夹持在平整度高的基座下表面和抛光盘之间，使摆片在抛光时的平行度更好，提高了成品率，对操作者的技术和经验要求也相应降低。对摆片的厚度检测简单准确，原因是摆片与卡具之间的安装与分离容易，测量时直接将其取下进行测量；研磨抛光工序省略了粘摆片步骤，测量摆片厚度时也不需要去除胶黏剂，使操作更简单，省时省力。
【专利说明】—种用于摆片研磨抛光的卡具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及摆片研磨抛光【技术领域】，特别是涉及一种用于摆片研磨抛光的卡具。
【背景技术】
[0002]摆片是空间用石英挠性加速度计的核心零件，其使用的基本材料是高纯或超纯石英玻璃，加工工序包括滚圆、切片、研磨、抛光、刻图、酸蚀、镀膜等。图纸要求摆片经过研磨抛光工序后必须具备很好的平行度、平面度以及表面光洁度。目前，研磨抛光工艺是将摆片用加热熔化的松香或石蜡粘在研磨抛光盘上，待冷却后摆片即被固定，然后用磨盘或抛光模对摆片进行研磨或抛光。当摆片的一面抛光完毕，对研磨抛光盘进行加热，使松香或石蜡熔化，取下摆片，用煤油或酒精等有机溶剂对摆片进行浸泡清洗、烘干，在已抛光面上涂上保护漆，待漆干后再用加热熔化的松香或石蜡将有漆一面粘在研磨抛光盘上，从而对摆片的另一面进行研磨和抛光。
[0003]这种传统工艺主要有以下缺点:1、粘摆片的松香或石蜡难以达到厚度均匀一致，造成摆片的平行度差，从而降低了成品率，对操作者的技术和经验要求高；2、对摆片的厚度检测困难，原因是摆片粘在盘上，胶的厚度不均，会对摆片厚度的精确测量产生影响；3、研磨抛光工序复杂，耗时耗力。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的是提出一种用于摆片研磨抛光的卡具。
[0005]为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案:一种用于摆片研磨抛光的卡具，包括:基座，所述基座上表面中心设有一圆槽，基座下表面为平面度小于λ/4的光滑平面；摆片固定板，所述摆片固定板上开有至少一个用于容纳摆片的圆孔；所述摆片固定板贴合固定在所述基座的下表面；内衬垫，优选为圆形，所述内衬垫置于所述圆孔内并与基座下表面粘贴在一起。
[0006]优选的，所述基座为圆柱形。
[0007]优选的，所述摆片固定板为圆形，其直径与所述基座的直径相等。
[0008]优选的，所述摆片固定板上开有7个圆孔，摆片固定板中心处一个，其余6个圆孔围绕中心圆孔均匀布置。
[0009]为了更便于摆片的取出，方便取片操作，所述摆片固定板上的圆孔的边缘还具有一个U型缺口。取片时用镊子从U形口处将摆片夹起，使其脱离卡具。
[0010]更优选的，所述圆形内衬垫由阻尼布制成。
[0011]与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于:
[0012]1、摆片夹持在平整度非常高的基座下表面和抛光盘之间，使摆片在抛光时的平行度更好，从而提高了成品率，对操作者的技术和经验要求也相应降低；
[0013]2、对摆片的厚度检测简单准确，原因是摆片与卡具之间的安装与分离容易，测量时直接将其取下进行测量；
[0014]3、研磨抛光工序省略了粘摆片的步骤，测量摆片厚度时也不需要去除胶黏剂的步骤，使操作更简单，省时省力。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0016]图1为本实用新型一种实施例的用于摆片研磨抛光的卡具示意图；
[0017]图2为本实用新型一种实施例的用于摆片研磨抛光的卡具示意图；
[0018]图3为本实用新型另一种实施例的用于摆片研磨抛光的卡具示意图；
[0019]图4为本实用新型又一种实施例的用于摆片研磨抛光的卡具示意图。
[0020]附图中，各标号所代表的部件列表如下:
[0021]1、基座，2、摆片固定板，3、内衬垫，4、圆槽，5、圆孔。
【具体实施方式】
[0022]下面结合具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但不作为对本实用新型的限定。
[0023]如图1和图2所示，本实用新型一种实施例的用于摆片研磨抛光的卡具示意图。一种用于摆片研磨抛光的卡具，包括:圆柱形的基座1，基座上表面中心设有一圆槽4，基座下表面为平面度小于λ/4的光滑平面；圆形的摆片固定板2，其直径与基座的直径相等。摆片固定板上开有至少一个用于容纳摆片的圆孔5;圆孔的数量不固定，可根据基座大小和实际需要设定。圆孔5的直径比摆片的直径大0.1mm。摆片固定板2贴合固定(如粘结)在基座I的下表面；内衬垫3，优选为圆形，内衬垫3置于圆孔5内并与基座下表面粘贴在一起。优选的，圆形内衬垫3由阻尼布制成，一面带有背胶。
[0024]在本实施例中，摆片固定板2上开有7个圆孔，摆片固定板2中心处一个，其余6个圆孔围绕中心圆孔均匀布置。
[0025]为了更便于摆片的取出，方便取片操作，对上述实施例进一步改进。摆片固定板2上的圆孔5的边缘还具有一个U型缺口。取片时用镊子从U形口处将摆片夹起，使其脱离卡具。
[0026]本实用新型卡具的使用过程如下:
[0027]研磨抛光时,将摆片放在卡具的圆孔5内，基座I放于研磨或抛光盘上,将抛光机的铁笔插入基座上表面的圆槽4，摆片被限定在卡具的圆孔5内进行研磨或抛光。由于基座下表面和研磨或抛光盘有较高的平面度，所以摆片在研磨或抛光过程中被夹持在这两个平行面之间，随着研磨或抛光的进行，摆片的两面会逐渐与这两个平行面趋于平行，从而达到较高平行度的目的。要对摆片厚度进行测量时，只需将摆片从圆孔5内取出，清洗干净，用测厚工具直接对摆片测量。
[0028]如图3所示，为本实用新型另一种实施例的用于摆片研磨抛光的卡具示意图。与上述实施例不同之处在于，摆片固定板2上仅设有一个圆孔5，其他部分与上述实施例相同。这种实施例的卡具只能对一个摆片进行抛光，但是在基座直径固定的前提下，摆片固定板的圆孔直径可以更大，进而抛光直径更大的摆片。
[0029]如图4所示，为本实用新型又一种实施例的用于摆片研磨抛光的卡具示意图。与第二中实施例不同的地方在于，摆片固定板2上的圆孔5的边缘省略了 U型缺口。本实施例卡具具有制作工艺更简单的优点，在使用时，可以倒置卡具，靠重力让摆片脱离卡具。
[0030]以上实施例仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，本实用新型的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用新型的实质和保护范围内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种用于摆片研磨抛光的卡具，其特征在于，包括: 基座，所述基座上表面中心设有一圆槽，基座下表面为平面度小于λ/4的光滑平面；摆片固定板，所述摆片固定板上开有至少一个用于容纳摆片的圆孔；所述摆片固定板贴合固定在所述基座的下表面； 内衬垫，所述内衬垫置于所述圆孔内并与基座下表面粘贴在一起。
2.根据权利要求1所述的用于摆片研磨抛光的卡具，其特征在于，所述基座为圆柱形。
3.根据权利要求2所述的用于摆片研磨抛光的卡具，其特征在于，所述摆片固定板为圆形，其直径与所述基座的直径相等。
4.根据权利要求3所述的用于摆片研磨抛光的卡具，其特征在于，所述摆片固定板上开有7个圆孔，摆片固定板中心处一个，其余6个圆孔围绕中心圆孔均匀布置。
5.根据权利要求1-4任一项所述的用于摆片研磨抛光的卡具，其特征在于，所述摆片固定板上的圆孔的边缘还具有一个U型缺口。
6.根据权利要求5所述的用于摆片研磨抛光的卡具，其特征在于，所述圆形内衬垫由阻尼布制成。
【文档编号】B24B37/30GK203449149SQ201320566361
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年9月12日 优先权日:2013年9月12日
【发明者】张晓强, 孙元成, 宋学富 申请人:中国建筑材料科学研究总院