一种常压化学气相沉积装置制造方法
【专利摘要】为克服现有技术中常压化学气相沉积装置在运行过程中，只能在化学气相沉积结束后检查晶圆才能察觉到异常，不能及时发觉异常，也无法及时采取保护措施的问题，本实用新型提供了一种常压化学气相沉积装置，其包括一报警保护模块，所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元；所述信号检测单元连接与所述可编程控制器的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出接口连接。本实用新型实施例提供的常压化学气相沉积装置，由于在其上集成了报警保护模块，可以检测气体喷嘴的喷气状态及沉积尾气排放口的排气状态。当出现异常时，可编程控制器可及时通过报警单元进行警示，提醒操作人员及时采取措施。
【专利说明】一种常压化学气相沉积装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及化学气相沉积领域，具体涉及一种常压化学气相沉积装置。
【背景技术】
[0002]在半导体领域中，一般通过化学气相沉积方法在晶圆表面沉积薄膜。化学气相沉积(英文全称:Chemical Vapor Deposition,简称CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，制备材料的气相生长方法，它是把一种或几种含有构成薄膜元素的化合物、单质气体通入放置有基材的反应室，借助空间气相化学反应在基体表面上沉积固态薄膜的工艺技术。它本质上属于原子范畴的气态传质过程。低压化学气相沉积(英文全称:Low PressureChemical Vapor Deposition,简称:LPCVD):在低压环境下的CVD制程。降低压力可以减少不必要的气相反应，以增加晶圆上薄膜的一致性。
[0003]现有的常压化学气相沉积装置如图1所示，包括一反应机台1，所述反应机台I内设有反应腔10 ;所述反应腔10内设有进料口 la、反应传送带17、出料口 lb、加热装置lc、若干气体喷嘴12及若干沉积尾气排放口 14 ；
[0004]所述进料口 Ia处设有用于从送料盒中向进料口 Ia载入晶圆的进料口机械手臂11 ;所述出料口 Ib处设有用于从出料口 Ib向收料盒中收集晶圆的出料口机械手臂16 ；
[0005]所述加热装置Ic设置在反应传送带17下，用于加热所述晶圆；
[0006]所述反应传送带17通过一马达驱动,将所述晶圆从进料口 Ia传送向出料口 Ib ；
[0007]所述若干气体喷嘴12设置在所述反应传送带17上方，并靠近所述反应传送带17，用于向所述晶圆上喷射反应气体；所述若干沉积尾气排放口 14将化学气压沉积反应后的废气排出。
[0008]同时，还设有其他部件，所述气体喷嘴两边设有气帘13，比如设有清洗所述反应传送带的清洗水槽18。所述反应腔10内，在所述反应传送带17和出料口 Ib之间，还设有一冷却传送带15。然而，现有的运行过程中易频繁出现气体喷嘴12停止喷气、沉积尾气排放口 14不能进行排放等异常状况，会导致晶圆在工序后会产生沉积不完全或者厚度不均匀等问题，需要重新返工，甚至导致晶圆报废。当在运行过程中出现异常时，只能在化学气相沉积结束后，检查芯片才能察觉到，不能及时发觉，也无法及时采取保护措施。
实用新型内容
[0009]为克服现有技术中常压化学气相沉积装置在运行过程中，只能在化学气相沉积结束后检查晶圆才能察觉到异常，不能及时发觉异常，也无法及时采取保护措施的问题，本实用新型提供了 一种常压化学气相沉积装置。
[0010]一种常压化学气相沉积装置，包括一反应机台，所述反应机台内设有反应腔；所述反应腔内设有进料口、反应传送带、出料口、加热装置、若干气体喷嘴及若干沉积尾气排放Π ；
[0011]所述进料口处设有用于从送料盒中向进料口载入晶圆的进料口机械手臂；所述出料口处设有用于从出料口向收料盒中收集晶圆的出料口机械手臂；
[0012]所述加热装置设置在反应传送带下，用于加热所述晶圆；
[0013]所述反应传送带通过一马达驱动，以载着所述晶圆从进料口传送向出料口 ；
[0014]所述若干气体喷嘴设置在所述反应传送带上方，并靠近所述反应传送带，用于向所述晶圆上喷射反应气体；所述若干沉积尾气排放口将化学气压沉积反应后的废气排出；
[0015]其中，还包括一报警保护模块，所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元；
[0016]所述信号检测单元连接与所述可编程控制器的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出接口连接；
[0017]所述信号检测单元包括气体喷嘴传感器、排放口传感器；所述气体喷嘴传感器设置在气体喷嘴上，以检测所述气体喷嘴的喷气状态；
[0018]所述排放口传感器设置在沉积尾气排放口，以检测所述沉积尾气排放口的排气状态。
[0019]本实用新型实施例提供的常压化学气相沉积装置，由于在其上集成了报警保护模块，该报警保护模块上设有气体喷嘴传感器和排放口传感器，可以检测气体喷嘴的喷气状态及沉积尾气排放口的排气状态。当出现异常时，可编程控制器可及时通过报警单元进行警示，提醒操作人员及时采取措施。
[0020]优选地，所述报警单元包括蜂鸣器、LED指示灯。当常压化学气相沉积装置在运行过程中出现异常时，可及时提供声光报警。
[0021]优选地，所述可编程控制器上设有输出引脚连接至所述气体喷嘴上的喷嘴控制按钮、及进料口机械手臂上的控制按钮。当常压化学气相沉积装置在运行过程中出现异常时，可根据机台运行程式停止气体喷嘴供应气体，停止进料口机械手臂载入晶圆。
[0022]优选地，所述气体喷嘴上设有控制所述气体喷嘴开关的电磁阀；
[0023]所述气体喷嘴传感器为继电器，所述继电器的控制线圈连接至电磁阀，以检测所述电磁阀的开关。
[0024]优选地，所述沉积尾气排放口安装有驱动马达；
[0025]所述排放口传感器为一光电传感器，所述光电传感器检测所述驱动马达上的小叶片的转动状态，以检测所述沉积尾气排放口的排气状态。
[0026]优选地，所述气体喷嘴为3个，每个气体喷嘴对应设有2个所述沉积尾气排放口 ；
[0027]在第一个气体喷嘴处设有一个气体喷嘴传感器，以检测喷入的娃烧气体；在第二、第三个气体喷嘴处各设有2个气体喷嘴传感器，分别检测该第二、第三个气体喷嘴喷入的娃烧气体和硼烧气体。
[0028]优选地，所述LED指示灯的个数为9个，分别对应3个气体喷嘴和6个沉积尾气排放口。
[0029]优选地，所述气体喷嘴两边设有气帘，所述气帘将每个气体喷嘴通过保护气体隔离，在气帘间形成独立的反应腔室。
[0030]优选地，所述反应腔内设有清洗所述反应传送带的清洗水槽。
[0031 ] 优选地，所述反应腔内，在所述反应传送带和出料口之间，还设有一冷却传送带。【专利附图】
【附图说明】
[0032]图1是现有技术中提供的一种常压化学气相沉积装置示意图；
[0033]图2是本实用新型【具体实施方式】中提供的一种常压化学气相沉积装置示意图；
[0034]图3是本实用新型【具体实施方式】中提供的一种报警保护模块示意图；
[0035]图4是图3的具体连接电路示意图；
[0036]图5是本实用新型【具体实施方式】中提供的气体喷嘴停止喷气后报警保护流程图；
[0037]图6是本实用新型【具体实施方式】中提供的沉积尾气排放口停止排气后报警保护流程图。
[0038]其中，1、反应机台；2、报警保护模块；10、反应腔；la、进料口 ；lb、出料口 ；lc、加热装置；11、进料口机械手臂；12、气体喷嘴；13、气帘；14、沉积尾气排放口 ；15、冷却传送带；16、出料口机械手臂；17、反应传送带；18、清洗水槽；19、反应传送带驱动马达；21、可编程控制器；22、LED指示灯；23、蜂鸣器；24、气体喷嘴传感器；25、排放口传感器；26、喷嘴控制按钮；27、进料控制按钮。
【具体实施方式】
[0039]为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0040]实施例1
[0041]如图2所示，本例提供了一种常压化学气相沉积装置，包括一反应机台1，所述反应机台I内设有反应腔10 ;所述反应腔10内设有进料口 la、反应传送带17、出料口 lb、力口热装置、若干气体喷嘴12及若干沉积尾气排放口 14 ;当然，常压化学气相沉积装置除上述反应机台I外，还包括其他的辅助设备，比如气体供应设备等，其均为本领域技术人员所公知，且与本实用新型关联较小，因此不做具体说明。
[0042]所述进料口 Ia用于向反应腔10内载入晶圆，所述出料口 Ib用于将化学气相沉积后的晶圆从反应腔10中运出。所述进料口 Ia处设有用于从送料盒中向进料口 Ia载入晶圆的进料口机械手臂11 ;所述出料口 Ib处设有用于从出料口 Ib向收料盒中收集晶圆的出料口机械手臂16 ;该送料盒是用来承装待化学气相沉积晶圆的盒体；该进料口 Ia处设有若干辊筒，当进料口机械手臂11将晶圆载入轻放在上述辊筒上时，将晶圆向右传送，然后反应传送带17载着晶圆从左向右运动，陆续经过气体喷嘴12的下方，使气体喷嘴12喷出的反应气体在晶圆表面沉积处薄膜。该出料口 Ib处也设有若干辊筒，当晶圆在完成上述化学气相沉积工序后，晶圆被传送至出料口 Ib处的辊筒上，由出料口机械手臂16收集至收料盒中。
[0043]根据所需在晶圆上沉积的薄膜材料的不同，其气体喷嘴12上喷入的反应气体也不相同，在常见的晶圆沉积薄膜中，一般通过气体喷嘴12向内喷入硅烷气体和/或硼烷气体。
[0044]所述加热装置设置在反应传送带17下，用于加热所述晶圆。
[0045]所述反应传送带17通过一马达驱动,载着所述晶圆从进料口 Ia传送向出料口 Ib ；为区别起见，称该马达为反应传送带驱动马达19。该反应传送带17的通过若干辊张紧，并通过该反应传送带驱动马达19驱动反应传送带17顺时针旋转。
[0046]所述若干气体喷嘴12设置在所述反应传送带17上方，并靠近所述反应传送带17，用于向所述晶圆上喷射反应气体；所述若干沉积尾气排放口 14将化学气压沉积反应后的尾气排出。
[0047]其中，如图2、图3所示，还包括一报警保护模块2，所述报警保护模块2包括可编程控制器21 (英文全称:Programmable Logic Controller,英文简称:PLC)、信号检测单元、报警单元；
[0048]可编程控制器21为电学领域所公知，其一般包括中央处理单元、输入输出接口、存储器、通信接口及电源等。其用软件代替大量的中间继电器和时间继电器，仅剩下与输入和输出有关的少量硬件，其安装和配置过程均非常简单。不再赘述。
[0049]所述信号检测单元连接与所述可编程控制器21的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出接口连接；如此，可编程控制器21可以通过该输入接口接收信号检测单元的输入信号，并根据输入信号产生控制信号，通过输出接口将报警信号输出给报警单元。
[0050]其中，所述信号检测单元包括气体喷嘴传感器24、排放口传感器25 ;如图2中所示，其可编程控制器21的输入接口分别连接到气体喷嘴12和沉积尾气排放口 14上，实际表示分别连接到安装在气体喷嘴12上的气体喷嘴传感器24和安装在沉积尾气排放口 14的排放口传感器25。所述气体喷嘴传感器24设置在气体喷嘴12上，以检测所述气体喷嘴12的喷气状态；该气体喷嘴传感器24的种类、结构和形状并不特别限定，只要其能检测到气体喷嘴12的喷气状态即可。所谓的喷气状态即该气体喷嘴12有两种状态:喷气或不喷气两种状态，显然检测该两种状态，可以检测该气体喷嘴12的气流状态，也可以检测控制该气体喷嘴12打开或者关闭的开关的状态。基于上述解释，本领域技术人员可以自行采取合适的传感器进行检测，无需付出创造性的劳动。
[0051]所述排放口传感器25设置在沉积尾气排放口 14，以检测所述沉积尾气排放口 14的排气状态。该排放口传感器25的种类、结构和形状也并不特别限定，只要其能检测到沉积尾气排放口 14的排气状态即可。同样地，可以检测该沉积尾气排放口 14的气流状态，也可以检测该沉积尾气排放口 14的排气装置有无启动等。基于上述解释，本领域技术人员也可以自行采取合适的传感器进行检测，无需付出创造性的劳动。
[0052]比如，一般所述气体喷嘴12上设有控制所述气体喷嘴12开关的电磁阀；该电磁阀的开通与关闭可被检测到。因此我们可以采用一继电器作为所述气体喷嘴传感器24，所述继电器的控制线圈连接至电磁阀，以检测所述电磁阀的开关。采用继电器采集电磁阀信号，当气体停止，电磁阀没有输出时，产生压降，继电器导通，可编程控制器21检测到导通信号，则后续可发出报警信号给报警单元进行报警。
[0053]比如，所述沉积尾气排放口 14安装有驱动马达；则我们可以检测该驱动马达的状态，以获得沉积尾气排放口 14是否正常排气。
[0054]所述排放口传感器25为一光电传感器，所述光电传感器检测所述驱动马达上的小叶片的转动状态，以检测所述沉积尾气排放口 14的排气状态。驱动马达带动小叶片转动，光电传感器输出脉冲信号到可编程控制器21，当小叶片停止转动时，可编程控制器21没有接收到脉冲信号，延时30秒后，可发出报警信号给报警单元进行报警。[0055]如图2所示，本例提供的所述气体喷嘴12为3个，每个气体喷嘴12对应设有2个所述沉积尾气排放口 14 ；
[0056]在第一个气体喷嘴12处设有一个气体喷嘴传感器24,以检测喷入的娃烧气体；在第二、第三个气体喷嘴12处各设有2个气体喷嘴传感器24，分别检测该第二、第三个气体喷嘴12喷入的娃烧气体和砸烧气体。
[0057]因此，根据该气体喷嘴12和沉积尾气排放口 14的个数，可以将所述LED指示灯22的个数设置为9个，分别对应3个气体喷嘴12和6个沉积尾气排放口 14。可以及时指示具体是哪个气体喷嘴12和哪个气体排气口出现了异常状况。及早采取措施。
[0058]本例提供的常压化学气相沉积装置，由于在其上集成了报警保护模块2，该报警保护模块2上设有气体喷嘴传感器24和排放口传感器25,可以检测气体喷嘴12的喷气状态及沉积尾气排放口 14的排气状态。当出现异常时，可编程控制器21可及时通过报警单元进行警示，提醒操作人员及时采取措施。
[0059]具体的，本例提供的所述报警单元包括蜂鸣器23、LED指示灯22。具体的，可以设置一蜂鸣器23连接至可编程控制器21的输出接口，可根据需要，设置多个LED指示灯22指示各部件发生的各种异常情况。采用上述结构，当常压化学气相沉积装置在运行过程中出现异常时，可及时提供声光报警。
[0060]为进一步安全起见，可以在所述可编程控制器21上设有输出接口连接至所述气体喷嘴12上的喷嘴控制按钮26、及进料口机械手臂11上的进料控制按钮27。如图2、图3所示，可编程控制器21连接到进料口机械手臂11上，表示进料口机械手臂11受该可编程控制器21的控制。实际指连接到进料口机械手臂11上的进料控制按钮27，以控制该进料口机械手臂11的停止。当常压化学气相沉积装置在运行过程中出现异常时，可根据机台运行程式及时停止气体喷嘴12供应气体，停止进料口机械手臂11载入晶圆。
[0061]如图2所示，一般在所述气体喷嘴12两边设有气帘13，所述气帘13将每个气体喷嘴12通过保护气体隔离，在气帘13间形成独立的反应腔室。一般在所述反应腔10内设有清洗所述反应传送带17的清洗水槽18。一般在所述反应腔10内，在所述反应传送带17和出料口 Ib之间，设有一冷却传送带15，可在沉积反应完成后，对晶圆进行冷却。不再赘述。
[0062]综上，如图3所示，本例提供的报警保护模块2，包括可编程控制器21 ;该可编程控制器21的若干输入接口分别连接气体喷嘴传感器24和排放口传感器25 ;若干输出接口分别连接有蜂鸣器23、LED指示灯22、以及连接到气体喷嘴12上的喷嘴控制按钮26和进料口机械手臂11上的控制按钮。
[0063]进一步的，如图4所示，其可编程控制器21的XO输入接口用来连接复位开关RESET, X1-X6被用来接光电传感器；X7、X10-X13输入接口被用来连接气体喷嘴传感器24。根据需要，本例中设有5个气体喷嘴传感器24，X7输入接口连接至第一个气体喷嘴12上的气体喷嘴传感器24，以检测喷入的硅烷气体；X10-X13输入接口被用来连接分别设置在第二、第三个气体喷嘴12上的两个气体喷嘴传感器24，以分别检测第二、第三个气体喷嘴12喷入的娃烧气体和硼烧气体。
[0064]同时，其YO输出接口连接至蜂鸣器23 ；Y1-Y6输出接口用来接指示沉积尾气排放口 14异常状态的LED指示灯22，每个LED指示灯22通过一电阻(图中R10-R15所示为电阻)连接到24伏的电源上；Υ10-Υ12被用来连接指示气体喷嘴12的异常状态的LED指示灯22 ;每个LED指示灯22通过一电阻(图中R16-R18所示为电阻)连接到24伏的电源上。
[0065]同时，该Y15输出接口输出的信号接入继电器线圈K3输出到进料口机械手臂11的进料控制按钮27上，以控制该进料控制按钮27的通断，实现对进料口机械手臂11的控制。输出接口 Y16、Y17输出的信号接入继电器线圈Κ1、Κ2，将分别信号输出给气体喷嘴12的喷嘴控制按钮26。
[0066]下面结合图5、图6进行阐述当出现异常状况时，本例提供的报警保护模块2如何提供报警保护。
[0067]可编程控制器21输入接口 XO接复位按键RESET，当长按3秒后，可编程控制器21复位，停止输出，继续采集信号。沉积尾气排放口 14的6个排放口传感器25 (本例提供的为光电传感器)的信号分别传入输入接口 X1、X2、X3、X4、X5、X6 ;三个气体喷嘴12上的硅烷信号通过对应的气体喷嘴传感器24采集后传入到可编程控制器21输入接口 X7、X12、X13中；第二、第三个的硼烷信号经过对应的气体喷嘴传感器24采集后传入到可编程控制器21输入接口 X10、Xll中。
[0068]当气体喷嘴12出现异常状况时，如图5所示，检测气体喷嘴12的喷气状态，喷入硅烷的气体喷嘴12停止喷入硅烷时，应立即停止其余的气体喷嘴12喷气，并暂停进料口机械手臂11进料，即停止载入晶圆，因为在程式中，硅烷停止可能会导致报废。
[0069]当喷入硼烷的气体喷嘴12停止喷入硼烷时，暂停进料口机械手臂11进料，即停止载入晶圆即可，因为在使用硼烷的程式中，晶圆在工序后还可以通过补充工序将该工艺完整，因此不需要停止其余的气体喷嘴12。
[0070]在上述处理方法中，第一个气体喷嘴12不需要控制去关闭，因为第一个气体喷嘴12的沉积膜层是一样的，发生何种异常都能不对处理结果产生影响。当输入接口 Tl、X12、X13有输入时，对应三个气体喷嘴12的硅烷已经停止供应，此时可编程控制器21的输出接口 Y15有输出，控制进料口机械手臂11，停止载入晶圆。如果输出接口 Y16、Y17有输出，导通第二个气体喷嘴12和第三个气体喷嘴12的喷嘴控制按钮26，以切断第二个气体喷嘴12和第三个气体喷嘴12的气体供给。如果对应的输出接口 Υ10、Υ11、Υ12有输出，相接的LED就会点亮，提示是哪一个气体喷嘴12停止了。同时YO有输出，蜂鸣器23鸣叫，提示有异常状况发生。当输入接口 XlO或Xll有输入时，表示第二个气体喷嘴12或第三个气体喷嘴12的硼烷已经停止供给，此时可编程控制器21的输出接口 Υ15有输出，控制进料口机械手臂11停止载入晶圆。如果对应的输出接口 Yl1、Υ12有输出，相接的LED指示灯22就会点亮，提示是哪一个气体喷嘴12停止了。同时输出接口 YO有输出，蜂鸣器23鸣叫，提示有异常状况发生。当操作人员注意到异常发生时，可以按住复位键3秒钟，此时可编程控制器21停止输出，LED指示灯22熄灭，蜂鸣器23停止鸣叫，可编程控制器21进入初始状态，开始检测输入接口的信号。
[0071]如图6所示，当光电传感器检测到沉积尾气排放口 14的驱动马达发生异常时，会导致制程排气不均匀，从而影响晶圆沉积时表面的均匀度，严重时会导致产品报废。该驱动马达转动时会带动一个小叶片转动，光电传感器检测到该小叶片转动，就会产生一个脉冲，通过继电器输入到可编程控制器21输入接口 X1、Χ2、Χ3、Χ4、Χ5、Χ6中，当某一个输入接口 8秒内没有高低电平的变化时，可编程控制器21就会判断出其中某个沉积尾气排放口14的马达已经停止了。此时可编程控制器21的输出接口 Υ15有输出，控制进料口机械手臂11，停止载入晶圆。同时输出接口 YO有输出，蜂鸣器23鸣叫，提示有异常状况发生。对应的输出接口 Yl、Y2、Y3、Y4、Y5、Y6会有输出，相接的LED就会点亮，提示是哪一个沉积尾气排放口 14的马达停止了。当操作人员注意到异常发生时，可以按住复位键3秒钟，此时可编程控制器21停止输出，LED指示灯22熄灭，蜂鸣器23停止鸣叫，可编程控制器21进入初始状态，开始检测输入接口的信号。
[0072]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种常压化学气相沉积装置，包括一反应机台，所述反应机台内设有反应腔；所述反应腔内设有进料口、反应传送带、出料口、加热装置、若干气体喷嘴及若干沉积尾气排放Π ； 所述进料口处设有用于从送料盒中向进料口载入晶圆的进料口机械手臂；所述出料口处设有用于从出料口向收料盒中收集晶圆的出料口机械手臂； 所述加热装置设置在所述反应传送带下，用于加热所述反应腔； 所述反应传送带通过一马达驱动，以载着所述晶圆从进料口传送向出料口 ； 所述若干气体喷嘴设置在所述反应传送带上方，并靠近所述反应传送带，用于向所述晶圆上喷射反应气体；所述若干沉积尾气排放口将化学气压沉积反应后的尾气排出； 其特征在于，还包括一报警保护模块，所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元； 所述信号检测单元与所述可编程控制器的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出引脚连接； 所述信号检测单元包括气体喷嘴传感器、排放口传感器；所述气体喷嘴传感器设置在气体喷嘴上，以检测所述气体喷嘴的喷气状态； 所述排放口传感器设置在沉积尾气排放口，以检测所述沉积尾气排放口的排气状态。
2.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积装置，其特征在于，所述报警单元包括蜂鸣器和LED指示灯。
3.根据权利要求2所述的常压化学气相沉积装置，其特征在于，所述可编程控制器上设有输出引脚连接至所述气体喷嘴上的喷嘴控制按钮、及进料口机械手臂上的控制按钮。
4.根据权利要求3中任意一项所述的常压化学气相沉积装置，其特征在于，所述气体喷嘴上设有控制所述气体喷嘴开关的电磁阀； 所述气体喷嘴传感器为一继电器，所述继电器的控制线圈连接至电磁阀，以检测所述电磁阀的开关。
5.根据权利要求4中任意一项所述的常压化学气相沉积装置，其特征在于，所述沉积尾气排放口安装有驱动马达； 所述排放口传感器为一光电传感器，所述光电传感器检测所述驱动马达上的小叶片的转动状态，以检测所述沉积尾气排放口的排气状态。
6.根据权利要求5中任意一项所述的常压化学气相沉积装置，其特征在于，所述气体喷嘴为3个，每个气体喷嘴对应设有2个所述沉积尾气排放口 ； 在第一个气体喷嘴处设有一个检测硅烷气体喷入状况的电磁阀；在第二、第三个气体喷嘴处各设有2个电磁阀，分别检测该第二、第三个气体喷嘴喷入的硅烷气体喷入状况和硼烷气体喷入状况。
7.根据权利要求5中任意一项所述的常压化学气相沉积装置，其特征在于，所述LED指示灯的个数为9个，分别对应3个气体喷嘴和6个沉积尾气排放口。
8.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积装置，其特征在于，所述气体喷嘴两边设有气帘，所述气帘将每个气体喷嘴通过保护气体隔离，在气帘间形成独立的反应腔室。
9.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积装置，其特征在于，所述反应腔内设有清洗所述反应传送带的清洗水槽。
10.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积装置，其特征在于，所述反应腔内，在所述反应传送带和出料 口之间，还设有一冷却传送带。
【文档编号】C23C16/52GK203807556SQ201320837496
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2013年12月18日 优先权日:2013年12月18日
【发明者】尹达, 陈昱, 方必勇, 于星辰 申请人:比亚迪股份有限公司