一种双面抛光的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种双面抛光机，包括机座，所述机座与横梁通过支柱与立柱连接，机座上部安装有游星轮与太阳轮，机座内部安装有电机传动系统，横梁上部设有气缸，横梁下部安装有上磨盘支撑机构，此上磨盘支撑机构与气缸连接，所述立柱与横杆之间安装有支撑装置，所述横梁与立柱相对应的一侧下部安装有轴承座，此轴承座与立柱上端的轴承相连接。本实用新型的有益效果为：将立柱做成旋转可调式立柱，横梁与可调式立柱连接，当上盘需要贴抛光布或更换磨盘时，可以将横梁转动一定的角度，这样上盘就转到机座以外的地方，如此贴抛光布或更换磨盘时比较方便快捷，使操作员对上盘下盘进行贴抛光布或更换磨盘的工序时简单方便，降低操作难度，减少操作时间，提高生产率。
【专利说明】一种双面抛光机
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种双面抛光机。
【背景技术】
[0002]蓝宝石(AL203)为六方对称结构，它作为最硬的氧化物晶体，具备优良的光化学和物理性能。机械强度高，耐化学腐蚀，有较好的导热性、热稳定性，透光波段宽，是理想的窗口衬底基本材料，另外，它具有电绝缘性，化学性能稳定，漏电容和寄生电容小，是极好的半导体、超导衬底材料。
[0003]作为衬底用的蓝宝石晶体基片一般为2英寸，4英寸等。用作半导体衬底的光学蓝宝石晶体基片对其表面有很高的要求，包括平面度，平行度达到0.005mm，光洁度达到
0.5nm。
[0004]现有的双面抛光机，主要包括机座，立柱，横梁，工作面板，电机传动系统,上磨盘，上磨盘支撑机构，气缸，下磨盘，内齿圈，太阳齿，和多块游星轮组成。其中横梁通过两根立柱安装在机座上，气缸安装在横梁上，上磨盘与上磨盘支撑机构固定，上磨盘支撑机构与气缸相连，这样通过气缸推动上盘上下运动，并控制气缸的进气气压来控制上盘的压力。这种固定式横梁机构存在一些不足:当在上盘上贴抛光垫的时候，由于上下盘距离有限，因此粘贴的时候操作起来相当困难，况且也不方便抛光，操作不够便捷，影响工作效率等诸多缺点。
实用新型内容
[0005]针对上述问题中存在的不足之处，本实用新型提供一种双面抛光机。
[0006]为实现上述目的，本实用新型提供一种双面抛光机，包括机座，所述机座与横梁通过支柱与立柱连接，机座上部安装有游星轮与太阳轮，机座内部安装有电机传动系统，横梁上部设有气缸，横梁下部安装有上磨盘支撑机构，此上磨盘支撑机构与气缸连接，所述立柱与横杆之间安装有支撑装置，所述横梁与立柱相对应的一侧下部安装有轴承座，此轴承座与立柱上端的轴承相连接。
[0007]进一步的，所述支撑装置包括支撑块与锁紧螺母，支撑块套在横梁下部并与支柱上端的锁紧螺母相卡接，锁紧螺母两侧均设有把手二。
[0008]进一步的，所述横梁侧部安装有把手一。
[0009]本实用新型的有益效果为:将立柱做成旋转可调式立柱，横梁与可调式立柱连接，当上盘需要贴抛光布或更换磨盘时，可以将横梁转动一定的角度，这样上盘就转到机座以外的地方，如此贴抛光布或更换磨盘时比较方便快捷，使操作员对上盘下盘进行贴抛光布或更换磨盘的工序时简单方便，降低操作难度，减少操作时间，提高生产率。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型一种双面抛光机的主视图；[0011]图2为本实用新型一种双面抛光机的使用状态图。
[0012]图中:1、横梁；2、把手一 ；3、支撑块；4、锁紧螺母；5、把手二 ；6、支柱；7、轴承；8、
轴承座；9、立柱。
【具体实施方式】
[0013]如图1-2所示，本实用新型实施例所述的一种双面抛光机，包括机座，所述机座与横梁I通过支柱6与立柱9连接，机座上部安装有游星轮与太阳轮，机座内部安装有电机传动系统，横梁I上部设有气缸，横梁I下部安装有上磨盘支撑机构，此上磨盘支撑机构与气缸连接，所述立柱9与横杆之间安装有支撑装置，所述横梁I与立柱9相对应的一侧下部安装有轴承座8，此轴承座8与立柱9上端的轴承7相连接。将立柱做成旋转可调式立柱，横梁与可调式立柱连接，当上盘需要贴抛光布或更换磨盘时，可以将横梁转动一定的角度，这样上盘就转到机座以外的地方，如此贴抛光布或更换磨盘时比较方便快捷，使操作员对上盘下盘进行贴抛光布或更换磨盘的工序时简单方便，降低操作难度，减少操作时间，提高生产率。
[0014]所述支撑装置包括支撑块3与锁紧螺母4，支撑块3套在横梁I下部并与支柱6上端的锁紧螺母4相卡接，锁紧螺母4两侧均设有把手二 5。采用上述结构便于横梁与支柱弹开。
[0015]所述横梁I侧部安装有把手一 2，便于操作。
[0016]具体使用时:横梁I右端与轴承座8连接，轴承座8同构轴承7与立柱9连接，如此横梁I就可绕着立柱9旋转。横梁I左端与支撑块3连接，支撑块3与锁紧螺母4配合，当利用锁紧螺母4上的把手5旋转锁紧螺母4时，支撑块3便随着锁紧螺母4往上或往下运动，当横梁I需要转动时，支撑块3调低并脱离横梁1，这样横梁I就可以轻松的转动。当横梁I需要与立柱6固定时，就将支撑块3调高，顶住横梁I时便可锁紧。此套机构使得横梁的固定与续传变的轻松快捷，安全可靠。
[0017]惟以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例而已，举凡熟悉此项技艺的专业人士。在了解本实用新型的技术手段之后，自然能依据实际的需要，在本实用新型的教导下加以变化。因此凡依本实用新型申请专利范围所作的同等变化与修饰，曾应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。
【权利要求】
1.一种双面抛光机，包括机座，所述机座与横梁(I)通过支柱(6)与立柱(9)连接,机座上部安装有游星轮与太阳轮，机座内部安装有电机传动系统，横梁(I)上部设有气缸，横梁(I)下部安装有上磨盘支撑机构，此上磨盘支撑机构与气缸连接，其特征在于:所述立柱(9)与横杆之间安装有支撑装置，所述横梁(I)与立柱(9)相对应的一侧下部安装有轴承座(8),此轴承座(8)与立柱(9)上端的轴承(7)相连接。
2.根据权利要求1所述的双面抛光机，其特征在于:所述支撑装置包括支撑块(3)与锁紧螺母(4)，支撑块(3)套在横梁(I)下部并与支柱(6)上端的锁紧螺母(4)相卡接，锁紧螺母(4 )两侧均设有把手二( 5 )。
3.根据权利要求1所述的双面抛光机，其特征在于:所述横梁(I)侧部安装有把手一(2)。
【文档编号】B24B39/06GK203665310SQ201420004463
【公开日】2014年6月25日 申请日期:2014年1月3日 优先权日:2014年1月3日
【发明者】岳伟, 陈志嵩, 殷华林, 戴安娜, 伊莲娟, 毛可勇, 李海宁 申请人:常州贝斯塔德机械科技有限公司