一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及真空镀膜【技术领域】，尤其涉及一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置，其特征在于：所述翻转驱动装置由翻转驱动拨盘和翻转驱动机构构成，所述翻转驱动拨盘连接固定于所述翻转镀膜治具外沿，所述翻转驱动拨盘上开设有至少一个卡槽，所述卡槽以所述翻转驱动拨盘的中心为对称中心对称排布；所述翻转驱动机构安装于所述真空镀膜机，所述翻转驱动机构具有至少一根可伸缩的拨杆，所述拨杆上套装有拨杆轴承，所述拨杆轴承的外轮廓尺寸与所述卡槽的槽口尺寸吻合适配，所述拨杆可伸出至所述拨杆轴承与所述卡槽滚动配合。本实用新型的优点是：通过机械驱动使翻转镀膜治具发生翻转，从而使镀膜基片翻面，实现在镀膜腔体不破真空的情况下的双面连续镀膜。
【专利说明】一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空镀膜【技术领域】，尤其涉及一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置。
【背景技术】
[0002]许多镀膜产品需要进行双面镀膜。对于需要进行双面镀膜的基片，如果采用两次镀膜来完成双面镀膜，那么就会由于两次镀膜之间的破真空、基片翻面和再抽真空工序的存在而不利于生产效率的提高；另外，镀膜工序的增加也会对工艺稳定性和产品良率产生不良影响。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置，通过由翻转驱动机构配合镀膜伞架的转动拨动翻转驱动拨盘，使与翻转驱动拨盘相连的翻转镀膜治具转动，从而使承载于翻转镀膜治具上的基片完成翻面，以实现基片在不破真空的条件下进行连续的双面镀膜。
[0004]本实用新型目的实现由以下技术方案完成:
[0005]一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置，用于承载有基片的翻转镀膜治具的翻面，所述翻转镀膜治具安装于真空镀膜机的腔体内，所述翻转镀膜治具安装在一镀膜伞架上，所述镀膜伞架由一中心回转轴驱动旋转，其特征在于:所述翻转驱动装置由翻转驱动拨盘和翻转驱动机构构成，所述翻转驱动拨盘连接固定于所述翻转镀膜治具外沿，所述翻转驱动拨盘上开设有至少一个卡槽，所述卡槽以所述翻转驱动拨盘的中心为对称中心对称排布；所述翻转驱动机构安装于所述真空镀膜机，所述翻转驱动机构具有至少一根可伸缩的拨杆，所述拨杆上套装有拨杆轴承，所述拨杆轴承的外轮廓尺寸与所述卡槽的槽口尺寸吻合适配，所述拨杆可伸出至所述拨杆轴承与所述卡槽滚动配合。
[0006]所述翻转驱动拨盘上开设有四个卡槽，所述翻转驱动机构上具有两根拨杆，所述两拨杆之间的距离不大于所述翻转驱动拨盘上相邻两所述卡槽的槽口之间的最大宽度，且不小于所述翻转驱动拨盘上相邻两所述卡槽的槽口之间的最小宽度。
[0007]所述翻转驱动机构包括驱动气缸、拉杆、支撑座、导轨，所述翻转驱动机构通过一法兰固定于所述真空镀膜机的腔体侧壁，所述驱动气缸位于所述真空镀膜机外部，所述拉杆位于所述真空镀膜机的腔体内部，所述驱动气缸的输出端与所述拉杆一端连接固定，所述拉杆另一端贯穿所述法兰并与所述支撑座连接固定，所述支撑座的两侧设置有所述导轨，所述导轨固定于所述法兰的端面，所述支撑座通过轴承与所述导轨构成滑动配合连接，所述拨杆通过一拨杆支座固定在所述支撑座上，所述拨杆轴承套装在所述拨杆上；所述拉杆的行程大小满足所述拨杆轴承与所述翻转驱动拨盘配合构成滚动配合的要求。
[0008]本实用新型的优点是:通过机械驱动使翻转镀膜治具发生翻转，从而使镀膜基片翻面，实现在镀膜腔体不破真空的情况下的双面连续镀膜。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型中翻转驱动机构的结构示意图；
[0010]图2为本实用新型中翻转驱动拨盘的结构示意图；
[0011]图3为本实用新型中翻转驱动拨盘的安装位置示意图；
[0012]图4为本实用新型中翻转驱动拨盘被两个拨杆驱动而发生转动的示意图1 ;
[0013]图5为本实用新型中翻转驱动拨盘被两个拨杆驱动而发生转动的示意图1I ；
[0014]图6为本实用新型中翻转驱动机构的安装位置示意图。
【具体实施方式】
[0015]以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解:
[0016]如图1-6所示，图中标记1-29分别为:驱动气缸1、拉杆2、法兰3、支撑座4、轴承座5、拨杆轴承6、防污板7、拨杆8、轴承9、导轨10、翻转驱动拨盘11、卡槽12、翻转镀膜治具13、主支架14、转轴15、分割筋板16、镀膜伞架内圈17、镀膜伞架中心18、拨杆19、拨杆20、拨盘中心线21、中心回转轴22、翻转驱动机构23、膜厚修正板驱动机构24、镀膜机腔体25、镀膜源26、膜厚修正板27、镀膜伞架28、拨杆支座29。
[0017]实施例:本实施例中的翻转驱动装置用于对承载若干基片的翻转镀膜治具13进行翻面。如图3所示，翻转镀膜治具13安装于镀膜伞架28上，镀膜伞架28由镀膜伞架内圈17、主支架14以及分割筋板16连接构成，其中镀膜伞架内圈17位于主支架14的中心并且两者都与镀膜伞架中心18同心。镀膜伞架内圈17用于安装固定中心回转轴22，其外壁表面通过分割筋板16与主支架14连接固定。分割筋板16与镀膜伞架内圈17和主支架14配合构成的封闭区域为翻转镀膜治具13的安装区域。安装于分割筋板16之间以及安装在分割筋板16远端分支段之间的翻转镀膜治具13上均设置有一转轴15，翻转镀膜治具13可绕转轴15转动，从而实现翻转镀膜治具13的翻面。
[0018]如图6所示，安装翻转镀膜治具13的镀膜伞架28位于镀膜腔体25内的中心上方。镀膜伞架28中心安装中心回转轴22，该中心回转轴22的安装为外壁即为镀膜伞架内圈17，中心回转轴22驱动承载有待镀膜工件的翻转镀膜治具13随着镀膜伞架28绕其进行公转。镀膜机腔体25下部设置有两个镀膜源26，镀膜源26分别对准镀膜伞架28 ;镀膜机腔体25的侧壁还设置有两个膜厚修正板27及其膜厚修正板驱动机构24，膜厚修正板27位于镀膜伞架14的下方。
[0019]本实施例中的翻转驱动装置包括翻转驱动拨盘11和翻转驱动机构23，翻转驱动拨盘11固定安装于翻转镀膜治具13的外侧，如图3所示。
[0020]如图2所示，翻转驱动拨盘11上开有四个卡槽12，四个卡槽12以翻转驱动拨盘11的中心为对称中心对称排布，以实现翻转驱动拨盘11被翻转驱动机构23拨动时，每次的翻转角度都保持一致。
[0021]如图1所示，翻转驱动机构23由驱动气缸1、拉杆2、法兰3、支撑座4、轴承座5、拨杆轴承6、防污板7、拨杆8、轴承9、导轨10构成。翻转驱动机构23通过法兰3固定于镀膜机腔体25的侧壁上。驱动气缸I的缸体位于镀膜机腔体25的外部，驱动气缸I靠近镀膜机腔体25的一侧连接有拉杆2，拉杆2靠近镀膜机腔体25的一侧连接有拨杆支座29，拨杆支座上29固定设置有拨杆8。拨杆8上安装有拨杆轴承6，翻转镀膜治具4在翻面时，拨杆8通过拨杆轴承6与翻转驱动拨盘11相接触。与驱动气缸I相连的拉杆2的行程大小满足拨杆轴承8与翻转驱动拨盘11配合构成滚动配合的要求。拨杆8与水平线之间存在一定夹角，两拨杆8之间的距离不大于翻转驱动拨盘11上相邻两个卡槽12的槽口之间的宽度，以避免拨杆8无法同时卡进相邻的两卡槽12中。法兰3靠近镀膜腔体25 —侧固定安装有导轨10。拉杆2上安装有支撑座4，支撑座4与拨杆支座29配合连接，支撑座4两端设置有轴承支撑座5，轴承支撑座中5的轴承9可以在导轨10上沿其布设方向水平滑动。驱动气缸I控制拉杆2做伸缩运动，从而带动支撑座4在导轨10上书评滑动，同时配合连接于支撑座4上的拨杆支座29带动拨杆8滑动，以实现拨杆8的伸缩。翻转驱动机构23在镀膜机腔体25中的部分均设有防污板7，以防止机械机构被膜料污染。
[0022]本实施例在具体实施时:在镀膜过程中，翻转镀膜治具4在中心回转轴22的驱动下，按照成膜工艺要求按照一定的速度做匀速旋转运动(公转)，以满足成膜工艺的成膜需求。待承载与翻转镀膜治具4的基板完成一面的成膜后，拨盘驱动机构23会伸出拨杆8，当每一块安装于镀膜翻转治具4外侧的翻转驱动拨盘11公转至拨杆8处时，就会被伸出的拨杆8拨动而绕转轴15旋转，从而实现翻面。
[0023]在整个翻转镀膜治具4的翻面过程中，拨杆8不发生位置移动，即保持伸出状态。翻转镀膜治具4在被中心回转轴22驱动公转时分为顺时针转动和逆时针转动。图4所示的为翻转驱动拨盘11随着翻转镀膜治具4在逆时针转动时被拨杆8所驱动的过程示意图，其中固定设置在拨杆支座29上的拨杆8分为拨杆19和拨杆20 ;如图4-a所示，当翻转驱动拨盘11经过拨杆19时，其右上方的卡槽12正好卡住拨杆19，而拨杆20此时在翻转驱动拨盘11 一侧；如图4-b所示，因为翻转驱动拨盘11需要随着翻转镀膜治具4继续逆时针转动，所以其被固定的拨杆8向逆时针方向拨动了 45°，而之所以卡槽12与拨杆8之间不会卡死是由于卡槽12的槽口与拨杆8上的拨杆轴承6构成滚动配合，此时拨杆19依旧位于卡槽内，而拨杆20位于翻转驱动拨盘11的一侧；如图4-c所示，此时拨杆19处于翻转驱动拨盘11左上方的卡槽12内，而拨杆20正处于翻转驱动拨盘11右上方的卡槽12内，与对图4-b中的描述一样，拨杆19和拨杆20配合使翻转驱动拨盘11继续被拨杆8逆时针拨动了 45° ;以此往复，图4-c到图4-f，经过四次每次45°的逆时针转动，翻转驱动拨盘11完成了 180°的逆时针转动(可从拨盘中心线21看出)，而此时与翻转驱动拨盘11连接固定的翻转驱动治具4同时完成了 180°转动，从而使得承载与翻转驱动治具4上的若干基片完成自动翻片。此处额外需要说明的是:上述卡槽12的方向仅指图4中所示的方向。如上述翻转驱动拨盘11的逆时针转动，同理可得翻转驱动拨盘11随着翻转镀膜治具4在顺时针转动时被拨杆8所驱动的顺时针转动过程，如图5所示。
[0024]翻转驱动拨盘11随着中心回转轴22的公转以及拨杆轴承6与卡槽12的滚动配合促成翻转驱动拨盘11的自转，从而实现基片翻面。每根翻转驱动拨杆8拨动拨盘和翻转镀膜治具4旋转90°，两根拨杆拨动拨盘和成膜翻转治具旋转180°，实现了不破真空基片翻转的功能。
[0025]虽然以上述实施例已经参照附图对本实用新型目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，上述实施例的实质是利用翻转驱动拨盘11随着中心回转轴22的公转以及拨杆轴承6与卡槽12的滚动配合促成翻转驱动拨盘11的自转，从而实现基片翻面。所以在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本实用新型作出各种改进和变换，如:翻转驱动拨盘11的具体结构(包括卡槽12的结构和数量)、翻转驱动装置23的具体结构等，故在此不一一赘述。
【权利要求】
1.一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置，用于承载有基片的翻转镀膜治具的翻面，所述翻转镀膜治具安装于真空镀膜机的腔体内，所述翻转镀膜治具安装在一镀膜伞架上，所述镀膜伞架由一中心回转轴驱动旋转，其特征在于:所述翻转驱动装置由翻转驱动拨盘和翻转驱动机构构成，所述翻转驱动拨盘连接固定于所述翻转镀膜治具外沿，所述翻转驱动拨盘上开设有至少一个卡槽，所述卡槽以所述翻转驱动拨盘的中心为对称中心对称排布；所述翻转驱动机构安装于所述真空镀膜机，所述翻转驱动机构具有至少一根可伸缩的拨杆，所述拨杆上套装有拨杆轴承，所述拨杆轴承的外轮廓尺寸与所述卡槽的槽口尺寸吻合适配，所述拨杆可伸出至所述拨杆轴承与所述卡槽滚动配合。
2.根据权利要求1所述的一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置，其特征在于:所述翻转驱动拨盘上开设有四个卡槽，所述翻转驱动机构上具有两根拨杆，所述两拨杆之间的距离不大于所述翻转驱动拨盘上相邻两所述卡槽的槽口之间的最大宽度，且不小于所述翻转驱动拨盘上相邻两所述卡槽的槽口之间的最小宽度。
3.根据权利要求1所述的一种可实现真空状态下自动翻片的翻转驱动装置，其特征在于:所述翻转驱动机构包括驱动气缸、拉杆、支撑座、导轨，所述翻转驱动机构通过一法兰固定于所述真空镀膜机的腔体侧壁，所述驱动气缸位于所述真空镀膜机外部，所述拉杆位于所述真空镀膜机的腔体内部，所述驱动气缸的输出端与所述拉杆一端连接固定，所述拉杆另一端贯穿所述法兰并与所述支撑座连接固定，所述支撑座的两侧设置有所述导轨，所述导轨固定于所述法兰的端面，所述支撑座通过轴承与所述导轨构成滑动配合连接，所述拨杆通过一拨杆支座固定在所述支撑座上，所述拨杆轴承套装在所述拨杆上；所述拉杆的行程大小满足所述拨杆轴承与所述翻转驱动拨盘配合构成滚动配合的要求。
【文档编号】C23C14/00GK204174265SQ201420570936
【公开日】2015年2月25日 申请日期:2014年9月30日 优先权日:2014年9月30日
【发明者】龙汝磊, 戴秀海 申请人:光驰科技(上海)有限公司