一种真空状态下的水冷鼓的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种真空状态下的水冷鼓，包括：壳体，其包括外钢套（1）、内钢套（2）以及垂直与所述外钢套（1）和内钢套（2）的导流棒（3），所述壳体的轴向的一端设置进水盘（4）及进水导向轴（5），另一端设置回水盘（6）、进水管（7）以及回水管（8），且所述进水管（7）以及回水管（8）的伸出壳体的部分连接动密封轴承盖（9）、动密封套（10）以及动密封压盖（11），并依次沿着轴向安装同步轮（12）、活法兰（13）以及旋转接头（14）。本实用新型所述真空状态下的水冷鼓结构简单，而且水只在表层流动，只冷却表层，并且减轻了水冷鼓的整体重量。
【专利说明】 一种真空状态下的水冷鼓
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种水冷装置，具体为一种真空状态下的水冷鼓。
【背景技术】
[0002]在半导体相关制造过程中，许多的制程必须在真空状态下进行，而真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的一项重要技术，近年来已经逐渐取代喷导漆和电解电镀的方式，大量应用在光电、通信、半导体等产业，成为重要的表面处理技术。而溅镀过程中一般都是高温环境，而传统的水冷鼓重量较大，使用不便，降温效果并不理想。
实用新型内容
[0003]针对上述技术问题，本实用新型公开一种真空状态下的水冷鼓，包括:壳体，其包括外钢套1、内钢套2以及垂直与所述外钢套I和内钢套2的导流棒3，所述壳体的轴向的一端设置进水盘4及进水导向轴5，另一端设置回水盘6、进水管7以及回水管8，且所述进水管7以及回水管8的伸出壳体的部分连接动密封轴承盖9、动密封套10以及动密封压盖11，并依次沿着轴向安装同步轮12、活法兰13以及旋转接头14。
[0004]本实用新型的有益效果是所述真空状态下的水冷鼓结构简单，而且水只在表层流动，只冷却表层，能够在实现理想的降温效果的同时，减轻水冷鼓的整体重量。
【专利附图】
【附图说明】
[0005]图1是本实用新型所述真空状态下的水冷鼓的结构剖视图。
【具体实施方式】
[0006]下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0007]如图所示，本实用新型公开一种真空状态下的水冷鼓，包括:壳体，其包括外钢套1、内钢套2以及垂直与所述外钢套I和内钢套2的导流棒3，所述壳体的轴向的一端设置进水盘4及进水导向轴5，另一端设置回水盘6、进水管7以及回水管8，且所述进水管7以及回水管8的伸出壳体的部分连接动密封轴承盖9、动密封套10以及动密封压盖11，并依次沿着轴向安装同步轮12、活法兰13以及旋转接头14。所述旋转接头14为HS-GF型旋转接头，所述真空状态下的水冷鼓的结构简单，而且水只在表层流动，只冷却表层，能够在实现理想的降温效果的同时，减轻水冷鼓的整体重量。
[0008]尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
【权利要求】
1.一种真空状态下的水冷鼓，其特征在于，包括:壳体，其包括外钢套(I)、内钢套(2)以及垂直与所述外钢套(I)和内钢套(2)的导流棒(3)，所述壳体的轴向的一端设置进水盘(4)及进水导向轴(5)，另一端设置回水盘(6)、进水管(7)以及回水管(8)，且所述进水管(7)以及回水管(8)的伸出壳体的部分连接动密封轴承盖(9)、动密封套(10)以及动密封压盖(11)，并依次沿着轴向安装同步轮(12 )、活法兰(13)以及旋转接头(14 )。
【文档编号】C23C14/34GK204039490SQ201420380496
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2014年7月11日 优先权日:2014年7月11日
【发明者】王振东, 何万能 申请人:苏州诺耀光电科技有限公司