本发明涉及传感器技术领域，尤其是一种用于制造压力传感器的材料及压力传感器的制备方法。
背景技术：
压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业，传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量重，不能提供电学输出。随着半导体技术的发展，半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展，半导体传感器向着微型化发展，而且其功耗小、可靠性高。
技术实现要素：
本发明要解决的技术问题是：克服现有技术中的不足，提供一种用于制造压力传感器的材料，采用该材料生产的压力传感器具有比重小、结构轻、比强度高的优点。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：
一种用于制造压力传感器的材料，其质量份组成如下：铝10-20份、钒6-8份、锆1.5-3.2份、镁2.4-3.6份、钇0.8-1.2份、镍0.8-2.4份、钼0.5-2.4份、钌1.1-2.0份、锰0.6-2.4份、锌0.8-1.2份、钪0.2-0.6份、铌0.06-0.12份、硼0.12-0.36份。
进一步的，所述材料的质量份组成如下：铝12份、钒6.5份、锆1.8份、镁2.6份、钇0.9份、镍1.2份、钼0.6份、钌1.2份、锰0.8份、锌0.9份、钪0.3份、铌0.08份、硼0.15份。
进一步的，所述材料的质量份组成如下：铝10份、钒6份、锆1.5份、镁2.4份、钇0.8份、镍0.8份、钼0.5份、钌1.1份、锰0.6份、锌0.8份、钪0.2份、铌0.06份、硼0.12份。
进一步的，所述材料的质量份组成如下：铝15份、钒7份、锆2.4份、镁3份、钇1份、镍1.6份、钼1.5份、钌1.6份、锰1.5份、锌1份、钪0.4份、铌0.09份、硼0.24份。
进一步的，所述材料的质量份组成如下：铝20份、钒8份、锆3.2份、镁3.6份、钇1.2份、镍2.4份、钼2.4份、钌2.0份、锰2.4份、锌1.2份、钪0.6份、铌0.12份、硼0.36份。
一种制造压力传感器的方法，所述方法包括以下步骤：
（1）按质量份数准备原料：铝10-20份、钒6-8份、锆1.5-3.2份、镁2.4-3.6份、钇0.8-1.2份、镍0.8-2.4份、钼0.5-2.4份、钌1.1-2.0份、锰0.6-2.4份、锌0.8-1.2份、钪0.2-0.6份、铌0.06-0.12份、硼0.12-0.36份；
（2）步骤（1）中的原料用千吨油压机制成电极，然后放入真空自耗电弧炉中通过水冷铜坩埚进行熔炼，然后进行铸锭、开坯、锻造，然后电炉加热至900-950℃，保温30-100min，用，用旋锻机旋锻、退火，退火温度720℃ -780℃、保温时间2.5-3h，然后空冷、矫直，机加成压力传感器。
进一步的，所述方法包括以下步骤：
（1）按质量份数准备原料：铝15份、钒7份、锆2.4份、镁3份、钇1份、镍1.6份、钼1.5份、钌1.6份、锰1.5份、锌1份、钪0.4份、铌0.09份、硼0.24份；
（2）步骤（1）中的原料用千吨油压机制成电极，然后放入真空自耗电弧炉中通过水冷铜坩埚进行熔炼，然后进行铸锭、开坯、锻造，然后电炉加热至900-950℃，保温30-100min，用，用旋锻机旋锻、退火，退火温度720℃ -780℃、保温时间2.5-3h，然后空冷、矫直，机加成压力传感器。
采用本发明的技术方案的有益效果是：
本发明的传感器材料密度小强度高，比强度大，耐钝性能优异，耐热性能好。通常铝在150℃，不锈钢在310℃失去原有较高热导性能。而本发明的传感器材料在500℃左右仍保持良好的性能；
本发明的传感器的制备方法，工艺简单，原料易得，生产成本低。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本发明作进一步说明。
实施例1
一种用于制造压力传感器的材料，其质量份组成如下：
铝12份、钒6.5份、锆1.8份、镁2.6份、钇0.9份、镍1.2份、钼0.6份、钌1.2份、锰0.8份、锌0.9份、钪0.3份、铌0.08份、硼0.15份。
制造压力传感器的方法，包括以下步骤：
（1）根据上述质量份数准备原料；
（2）步骤（1）中的原料用千吨油压机制成电极，然后放入真空自耗电弧炉中通过水冷铜坩埚进行熔炼，然后进行铸锭、开坯、锻造，然后电炉加热至920℃，保温45min，用，用旋锻机旋锻、退火，退火温度750℃、保温时间2.6h，然后空冷、矫直，机加成压力传感器。
实施例2
一种用于制造压力传感器的材料，其质量份组成如下：铝10份、钒6份、锆1.5份、镁2.4份、钇0.8份、镍0.8份、钼0.5份、钌1.1份、锰0.6份、锌0.8份、钪0.2份、铌0.06份、硼0.12份。
制造压力传感器的方法，包括以下步骤：
（1）根据上述质量份数准备原料；
（2）步骤（1）中的原料用千吨油压机制成电极，然后放入真空自耗电弧炉中通过水冷铜坩埚进行熔炼，然后进行铸锭、开坯、锻造，然后电炉加热至900℃，保温30min，用，用旋锻机旋锻、退火，退火温度720℃、保温时间2.5h，然后空冷、矫直，机加成压力传感器。
实施例3
一种用于制造压力传感器的材料，其质量份组成如下：铝15份、钒7份、锆2.4份、镁3份、钇1份、镍1.6份、钼1.5份、钌1.6份、锰1.5份、锌1份、钪0.4份、铌0.09份、硼0.24份。
制造压力传感器的方法，包括以下步骤：
（1）根据上述质量份数准备原料；
（2）步骤（1）中的原料用千吨油压机制成电极，然后放入真空自耗电弧炉中通过水冷铜坩埚进行熔炼，然后进行铸锭、开坯、锻造，然后电炉加热至930℃，保温90min，用，用旋锻机旋锻、退火，退火温度750℃、保温时间2.8h，然后空冷、矫直，机加成压力传感器。
实施例4
一种用于制造压力传感器的材料，其质量份组成如下：铝20份、钒8份、锆3.2份、镁3.6份、钇1.2份、镍2.4份、钼2.4份、钌2.0份、锰2.4份、锌1.2份、钪0.6份、铌0.12份、硼0.36份。
制造压力传感器的方法，包括以下步骤：
（1）根据上述质量份数准备原料；
（2）步骤（1）中的原料用千吨油压机制成电极，然后放入真空自耗电弧炉中通过水冷铜坩埚进行熔炼，然后进行铸锭、开坯、锻造，然后电炉加热至950℃，保温100min，用，用旋锻机旋锻、退火，退火温度780℃、保温时间3h，然后空冷、矫直，机加成压力传感器。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。