技术总结
本发明公开了一种晶硅太阳电池氧化铝钝化膜的PECVD沉积工艺,包括以下步骤:(1)将反应腔体抽真空至0.3mbar以下,然后加热反应腔体;(2)将工艺气体通入反应腔体内,并将至少一对微波发生器产生的微波导入反应腔体,工艺气体吸收微波能量后产生等离子体,等离子体被反应腔体内部的磁场加速后形成等离子体场;(3)将晶硅片以设定传送速率经过反应腔体的等离子体场区,等离子体打在晶硅片表面,发生化学反应生成氧化铝钝化膜。该工艺具有可制备均匀和高质量的氧化铝钝化膜,从而提高晶硅片表面的钝化效果,提高太阳电池的少子寿命等优点。
技术研发人员:许烁烁;刘良玉;舒庆予
受保护的技术使用者:中国电子科技集团公司第四十八研究所
文档号码:201610852529
技术研发日:2016.09.27
技术公布日:2017.02.22