一种高真空有机源的制作方法

本实用新型涉及一种高真空有机源，适用于多中真空设备配套，属于有机源组件技术领域。

背景技术：

现有有机源多为更换困难，成本过高，本有机缘为集约型，单一法兰对接，成本低，质量轻；现有有机源成本高，本有机源成本低廉，采用模块式安装，可随时更换核心组件。

技术实现要素：

本实用新型主要的目的是针对现有技术的缺陷，提出了一种高真空有机源，该有机源为集约型，简洁，质量轻，可均匀加热、可温控、误差低和成本低。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种高真空有机源包括：铠装热偶、石英坩埚、坩埚垫块、电极法兰焊件、支撑杆、有机源组件，所述铠装热偶连接石英坩埚的底部，所述石英坩埚设置于坩埚垫块上，所述石英坩埚外部设有有机源组件，所述有机源组件通过支撑杆连接电极法兰焊件。

其中，所述有机源外壳为水冷式外壳，且配有气动挡板。

其中，采用模块式安装。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提出的一种高真空有机源，该有机源为集约型，简洁，质量轻，可均匀加热、可温控、误差低和成本低；有机源更换方便简洁，以模块更换，更换成本低廉；有机源采用低压铠装丝，安全可靠，并且洁净，整体有机源价格低廉；有机源加热采用自制电源，并以温控表控制，温度误差±1℃。

为了能更进一步了解本实用新型的特征以及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。

附图说明

下面结合附图，通过对本实用新型的具体实施方式详细描述，将使本实用新型的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1.是本实用新型一种高真空有机源的结构示意图；

图2.是本实用新型一种高真空有机源的剖示图

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型所采取的技术手段及其效果，以下结合本实用新型的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图1和图2，本实用新型提出的一种高真空有机源包括：铠装热偶二、石英坩埚一、坩埚垫块4、电极法兰焊件3、支撑杆2、有机源组件1，所述铠装热偶二连接石英坩埚一的底部，所述石英坩埚一设置于坩埚垫块4上，所述石英坩埚一外部设有有机源组件1，所述有机源组件1通过支撑杆2连接电极法兰焊件3。

进一步，所述有机源外壳为水冷式外壳，且配有气动挡板。

进一步，采用模块式安装。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。