一种镀膜机排气装置的制作方法

文档序号:12521238阅读:294来源:国知局
一种镀膜机排气装置的制作方法

本实用新型涉及镀膜机技术领域,特别涉及一种镀膜机排气装置。



背景技术:

镀膜工艺对生产环境要求特别苛刻,通常需要建立中央空调控制系统,以保持镀膜房内恒温、恒湿状态。但是,镀膜使用的镀膜液、异丙醇等挥发性液体或者磁控溅射时,充斥整个镀膜房,部分气体或粒子进入中央空调系统。现有的镀膜机,没有对这些气体或粒子进行收集,任由其扩散。随着使用时间的增加,镀膜房内墙体和通风道被腐蚀,镀膜设备本身被腐蚀生锈,而且挥发产生的气体或粒子对生产人员的刺激也越来越强,不利于生产人员的身心健康。

故有必要对现有镀膜机排气装置进行进一步地技术革新。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足,提供一种结构简单,设计合理、使用方便的镀膜机排气装置。

为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:

本实用新型所述的一种镀膜机排气装置,它包括有机架、吹风机、进风管、吹风罩、前护罩、镀膜机头、后护罩、进风罩、出风管和抽风机;所述机架的上表面设置有送料轨道;所述机架的上表面从左至右依次设置有吹风罩、前护罩、镀膜机头、后护罩和进风罩;所述送料轨道与吹风罩、前护罩、镀膜机头、后护罩、进风罩围成一个封闭的送料管道;所述送料管道的两端分别设置有管道进口和管道出口;所述送料管道的内腔分别设置有弧形出风口和弧形进风口;所述弧形出风口的进风端与吹风罩相连通;弧形出风口的出风端与送料管道相连通;所述弧形进风口的出风端与进风罩相连通;弧形进风口的进风端与送料管道相连通;所述出风管一端与进风罩相连通;出风管另一端与抽风机相连通;所述进风管一端与吹风罩相连通;进风管另一端与吹风机相连通;所述送料轨道的两侧分别设置有磁体A和磁体B;所述磁体A和磁体B对称设置在送料轨道的两侧;所述磁体A和磁体B为异名磁体。

进一步地,所述送料管道的两端分别设置有前置弹性密封板和后置弹性密封板;所述前置弹性密封板与吹风罩相固定连接;所述后置弹性密封板与进风罩相固定连接;所述前置弹性密封板和后置弹性密封板的底端均抵压在送料轨道的内腔底面。

进一步地,所述磁体A和磁体B均为电磁铁。

采用上述结构后,本实用新型有益效果为:本实用新型所述的一种镀膜机排气装置,它包括有机架、吹风机、进风管、吹风罩、前护罩、镀膜机头、后护罩、进风罩、出风管和抽风机;所述机架的上表面设置有送料轨道;所述机架的上表面从左至右依次设置有吹风罩、前护罩、镀膜机头、后护罩和进风罩;所述送料轨道与吹风罩、前护罩、镀膜机头、后护罩、进风罩围成一个封闭的送料管道;所述送料管道的两端分别设置有管道进口和管道出口;所述送料管道的内腔分别设置有弧形出风口和弧形进风口;所述弧形出风口的进风端与吹风罩相连通;弧形出风口的出风端与送料管道相连通;所述弧形进风口的出风端与进风罩相连通;弧形进风口的进风端与送料管道相连通;所述出风管一端与进风罩相连通;出风管另一端与抽风机相连通;所述进风管一端与吹风罩相连通;进风管另一端与吹风机相连通;所述送料轨道的两侧分别设置有磁体A和磁体B;所述磁体A和磁体B对称设置在送料轨道的两侧;所述磁体A和磁体B为异名磁体。在使用本实用新型时,从镀膜机头出来的磁控溅射离子大部分都附着在薄膜上,没有与薄膜反应的粒子经过吹风机和抽风机所产生的风力作用下向右运动;在磁场中产生偏转,直接飞入弧形进风口,在进风罩处进行收集;减小了磁控溅射离子外逸,有效地保护工作环境以及工作人员的人身安全。本实用新型具有结构简单,设置合理,制作成本低等优点。

附图说明

图1是本实用新型的结构主视图;

图2是本实用新型的结构俯视图;

图3是本实用新型工作状态的结构示意图;

附图标记说明:

1、机架;1-1、送料轨道;2、吹风机;3、进风管;4、前置弹性密封板;

5、吹风罩;5-1、弧形出风口;6、前护罩;7、镀膜机头;8、后护罩;

9、磁体A;10、进风罩;10-1、弧形进风口;11、出风管;

12、后置弹性密封板;13、抽风机;14、磁体B;15、送料管道;

15-1、管道进口;15-2、管道出口。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

如图1至3所示,本实用新型所述的一种镀膜机排气装置,它包括有机架1、吹风机2、进风管3、吹风罩5、前护罩6、镀膜机头7、后护罩8、进风罩10、出风管11和抽风机13;所述机架1的上表面设置有送料轨道1-1;所述机架1的上表面从左至右依次设置有吹风罩5、前护罩6、镀膜机头7、后护罩8和进风罩10;所述送料轨道1-1与吹风罩5、前护罩6、镀膜机头7、后护罩8、进风罩10围成一个封闭的送料管道15;所述送料管道15的两端分别设置有管道进口15-1和管道出口15-2;所述送料管道15的内腔分别设置有弧形出风口5-1和弧形进风口10-1;弧形出风口5-1的出风方与沿轨道膜料运送的方向相同;所述弧形出风口5-1的进风端与吹风罩5相连通;弧形出风口5-1的出风端与送料管道15相连通;所述弧形进风口10-1的出风端与进风罩10相连通;弧形进风口10-1的进风端与送料管道15相连通;所述出风管11一端与进风罩10相连通;出风管11另一端与抽风机13相连通;所述进风管3一端与吹风罩5相连通;进风管3另一端与吹风机2相连通;所述送料轨道1-1的两侧分别设置有磁体A9和磁体B14;所述磁体A9和磁体B14对称设置在送料轨道1-1的两侧;所述磁体A9和磁体B14为异名磁体,因为从镀膜机头7出来的磁控溅射离子一般都是带电的,利用带电粒子在电场中收到洛仑磁力发生偏转,使没有附着在基片的带电粒子经过吹风机2和抽风机13所产生的风力作用下向右运动;而往上偏转一角度后,进入弧形进风口10-1。

作为本实用新型的一种优选方式,所述送料管道15的两端分别设置有前置弹性密封板4和后置弹性密封板12;所述前置弹性密封板4与吹风罩5相固定连接;所述后置弹性密封板12与进风罩10相固定连接;所述前置弹性密封板4和后置弹性密封板12的底端均抵压在送料轨道1-1的内腔底面;对送料管道15进一步密封,防止磁控溅射离子外逸。

作为本实用新型的一种优选方式,所述磁体A9和磁体B14均为电磁铁,电磁铁磁场强度由电流强弱可以改变;磁场方向可以根据电流方向能改变,使操作更加简单。

在使用本实用新型时,从镀膜机头出来的磁控溅射离子大部分都附着在薄膜上,没有与薄膜反应的粒子经过吹风机和抽风机所产生的风力作用下向右运动;在磁场中产生偏转,直接飞入弧形进风口,在进风罩处进行收集;减小了磁控溅射离子外逸,有效地保护工作环境以及工作人员的人身安全。另外,该结构简单、设计合理,制造成本低。

以上所述仅是本实用新型的较佳实施方式,故凡依本实用新型专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰,均包括于本实用新型专利申请范围内。

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