一种玻璃基板装载装置的制作方法

本实用新型涉及一种玻璃基板装载装置。

背景技术：

匀胶铬版是一种硬面光掩模材料，即光掩膜基版，它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料(相当于照相用的感光胶卷)。它是在平整的、高光洁度的玻璃基板上通过直流磁控溅射(SP)沉积上氮化铬-氮氧化铬薄膜而形成铬膜基版，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂(又称光刻胶)或电子束抗蚀剂制成匀胶铬板。匀胶铬版经过曝光、显影、刻蚀等工艺形成图形，并将该图形转移至衬底材料上。而现有匀胶铬版在后续生产工艺过程中，四边边缘较宽的区域存在图形线条不均匀，线条缺陷，精度低等问题。为解决匀胶铬版边缘区域的线条精准度问题，磁控溅射时，用于玻璃基板的玻璃基板装载装置的设计是解决该问题的一种方法。

匀胶铬版生产过程中现采用的一般是立式镀膜装置，其包括依次相连的进样室、加热室、第一过渡室、镀膜室、第二过渡室及出样室，其通过齿轮传动推动小车前行，小车上垂直于地面放置玻璃装载装置，其玻璃装载装置的结构为：玻璃基板垂直地面放置于框架的窗口处，玻璃基板下边与窗口下边相连接，玻璃基板左右两侧存在对称的固定于框架上的夹具，该夹具与玻璃基板反面接触，夹具将玻璃基板夹住，以防止玻璃基板从反面脱落，且窗口的正面四边设置有小于玻璃基板尺寸的档条，用于防止玻璃基板从正面脱出。现有玻璃装载装置存在如下缺点：1、玻璃基板易崩边；小车在前进传送过程中难免会有抖动以及加速减速过程。玻璃基板与框架窗口下边会有摩擦或轻微颠簸，玻璃基板易造成崩边，降低生产良率。(由于玻璃基板的所有重量压在玻璃基板的一条边，发生颠簸时，很容易导致玻璃基板崩边不良，即出现一个小缺口)。2、玻璃基板易造成反面划伤；由于框架背面夹具直接与玻璃基板反面接触，故在小车前进过程中，玻璃基板反面易造成重划伤或生产不良。3、玻璃基板四边存在未被溅射镀膜区域，降低玻璃基板的利用面积；而且外观不美观。4、玻璃基板四边边缘部分光学性能不均匀性；由于窗口挡板的影响，后续工艺过程中，玻璃基板四边镀膜部分区域的图形线条精准度差。

专利号201210327591.4公开的一种玻璃基片装载装置，可以在轨道上移动，包括：与地面垂直设置的框架，所述框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口，所述窗口的尺寸大于所述玻璃基片的尺寸；相互间隔设置的两个连接件，每一连接件的一端与所述框架位于所述窗口的顶部可转动相连，另一端与所述玻璃基片的顶部可转动相连，所述两个连接件的两个另一端的间距随着所述玻璃基片受热膨胀而伸长，且随着所述玻璃基片冷却收缩而缩小；及限位件，设于所述框架位于所述窗口的底部，所述限位件上开设有收容所述玻璃基片的底部的凹槽。此结构同样会出现：由于玻璃基片的所有重量压在玻璃基片的一条边，发生颠簸时，很容易导致玻璃基片崩边不良，即出现一个小缺口；玻璃基片四边存在未被溅射镀膜区域，降低玻璃基片的利用面积等问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的就在于克服现有技术的不足，提供了一种玻璃基板装载装置，其大大提高了玻璃基板面积的利用率，外形更美观，均匀性好，玻璃基板边棱不沉积膜层,玻璃基板不会出现崩边和划伤现象,大大提高玻璃基板的生产良率，提高了后序玻璃基板经涂胶、曝光、显影后的边缘区域图形精准度。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种玻璃基板装载装置，包括框架和传动装置，所述传动装置包括至少一组导向组件和至少一组传动组件；所述框架上设置有至少一个窗口，所述窗口的四条底边均设置有边倒角，所述框架的顶部设置有连通所述窗口顶边的凹槽，所述窗口底部的四个角处均设置有支撑台，所述窗口由所述支撑台的支撑面至所述窗口顶部的四个直角边均设置有外圆角；所述导向组件包括左导向轮和右导向轮，所述左导向轮和右导向轮分别位于所述框架的左侧和右侧，且所述左导向轮和右导向轮分别相对于所述框架的左侧边和右侧边有间隙；所述传动组件包括左传动轮和右传动轮，所述左传动轮和右传动轮分别支撑所述框架底部的左侧和右侧。

进一步的，所述窗口的长度和宽度分别大于玻璃基板的长度和宽度1～2mm。

进一步的，所述凹槽的深度大于玻璃基板的厚度，且所述凹槽的深度小于所述框架的厚度。

进一步的，所述导向组件与所述传动组件沿所述框架的长度方向上交替设置。

进一步的，所述框架上还设置有若干减重孔。

进一步的，所述窗口顶部的两侧顶边处均设置有所述凹槽。

进一步的，所述框架的四个角上均设置有倒角。

本实用新型提供的玻璃基板装载装置用于卧式镀膜装置。使用时，玻璃基板正面朝下的放置于框架的窗口处，通过窗口四个角处的支撑台支撑玻璃基板。其中窗口由支撑台的支撑面到窗口的顶部的四个角均设置有外圆角，当玻璃基板放置于窗口时，由于窗口的四个角都倒有外圆角，玻璃基板的角不会触碰至窗口的角，不会出现玻璃基板崩角而生产不良，玻璃基板更加容易地放置于窗口，以防止玻璃基板的角碰到窗口的角，造成玻璃基板崩角而生产不良。

框架的底部通过传动组件支撑，且实现框架的平衡传送。通过导向组件实现框架传送过程中的导向作用。框架与导向组件的间隙差距单侧为5mm以内，保证即使框架未正放于传动组件上，即斜放时，在传动组件的后序传送过程中，通过导向组件可以使框架重回正轨。由于本实用新型的玻璃基板是直接放置在窗口内，且通过窗口底部四个角的支撑台支撑，玻璃基板随同框架在传动组件的作用下传送，其玻璃基板不会出现崩边和划伤现象，摆脱了现有立式玻璃基板装载装置中出现的由于玻璃基板的所有重量压在玻璃基板的一条边上，发生颠簸时，很容易导致玻璃基板崩边不良，即出现一个小缺口，以及夹持玻璃基板的夹具对玻璃基板反面的划伤。

本实用新型窗口的尺寸在长度和宽度方向上均大于玻璃基板的长度和宽度1～2mm，使得当从下方向玻璃基板的正面溅射镀膜时，只有被支撑台遮住的四个小角部分不会被溅射，其余部分全部被溅射，从而大大提高了玻璃基板面积的利用率，外形美观，而现有设计的窗口其玻璃基板的四条边置于窗口的四条边内，其玻璃基板的四条边不被溅射，不被溅射区域大。且由于窗口的尺寸大于玻璃基板的尺寸，在溅射镀膜时，其玻璃基板的边棱不会沉积膜层，以提高后序玻璃基板经涂胶、曝光、显影后的边缘区域图形精准度。

本实用新型窗口的四条底边均设置有边倒角，且边倒角为窗口的底边向框架倒而不是向窗口内倒角，其边倒角的设计保证了玻璃基板正面四条边的光学参数均匀性好，以提高后序玻璃基板经涂胶、曝光、显影后的边缘区域图形精准度。

本实用新型的窗口的顶部设置有凹槽，且窗口顶部的两侧顶边处均设置有凹槽。又凹槽的深度大于玻璃基板的厚度，且凹槽的深度小于框架的厚度。通过窗口的凹槽将溅射镀膜后的玻璃基板从窗口内取出，取出相当方便。由于凹槽的深度小于框架的厚度，即凹槽不是通槽，溅射镀膜时，凹槽区域附近的玻璃基板边棱不会被溅射。

本实用新型的框架上设置有若干减重孔，以减轻框架的重量，减轻传动组件的承载，提高传动组件的使用寿命。

本实用新型的框架的四个角上设置有倒角，以使得框架与导向组件存在较大的角度，与导向组件接触比较圆滑，不会造成框架与导向组件相撞从而发生传送停止故障的问题。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型的玻璃基板正面朝下的放置于框架的窗口处，通过窗口四个角处的支撑台支撑玻璃基板。框架的底部通过传动组件支撑，且实现框架的平衡传送。通过导向组件实现框架传送过程中的导向作用。由于本实用新型的玻璃基板是直接放置在窗口内，且通过窗口底部四个角的支撑台支撑，玻璃基板随同框架在传动组件的作用下传送，其玻璃基板不会出现崩边和划伤现象，摆脱了现有立式玻璃基板装载装置中出现的由于玻璃基板的所有重量压在玻璃基板的一条边上，发生颠簸时，很容易导致玻璃基板崩边不良，即出现一个小缺口，以及夹持玻璃基板的夹具对玻璃基板反面的划伤。

2、本实用新型的窗口由支撑台的支撑面到窗口的顶部的四个角均设置有外圆角，当玻璃基板放置于窗口时，由于窗口的四个角都倒有外圆角，玻璃基板的角不会触碰至窗口的角，不会出现玻璃基板崩角而生产不良，使得玻璃基板更加容易地放置于窗口，操作方便。

3、本实用新型窗口的尺寸在长度和宽度方向上均大于玻璃基板的长度和宽度1～2mm，使得当从下方向玻璃基板的正面溅射镀膜时，只有被支撑台遮住的四个小角部分不会被溅射，其余部分全部被溅射，从而大大提高了玻璃基板面积的利用率，外形美观，而现有设计的窗口其玻璃基板的四条边置于窗口的四条边内，其玻璃基板的四条边不被溅射，不被溅射区域大。且由于窗口的尺寸大于玻璃基板的尺寸，在溅射镀膜时，其玻璃基板的边棱不会沉积膜层，以提高后序玻璃基板经涂胶、曝光、显影后的边缘区域图形精准度。

4、本实用新型窗口的四条底边均设置有边倒角，且边倒角为窗口的底边向框架倒而不是向窗口内倒角，其边倒角的设计保证了玻璃基板正面四条边的光学参数均匀性好，以提高后序玻璃基板经涂胶、曝光、显影后的边缘区域图形精准度。

5、本实用新型的窗口的顶部设置有凹槽，且窗口顶部的两侧顶边处均设置有凹槽。又凹槽的深度大于玻璃基板的厚度，且凹槽的深度小于框架的厚度。通过窗口的凹槽将溅射镀膜后的玻璃基板从窗口内取出，取出相当方便。由于凹槽的深度小于框架的厚度，即凹槽不是通槽，溅射镀膜时，凹槽区域附近的玻璃基板边棱不会被溅射。

6、本实用新型的框架上设置有若干减重孔，以减轻框架的重量，减轻传动组件的承载，提高传动组件的使用寿命。

7、本实用新型的框架的四个角上设置有倒角，以使得框架与导向组件存在较大的角度，与导向组件接触比较圆滑，不会造成框架与导向组件相撞从而发生传送停止故障的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

图2为图1中A处的放大示意图。

图3为图1中B-B的局部剖视图。

上述附图标记：

1框架，2窗口，3左导向轮，4右导向轮，5左传动轮，6右传动轮，7凹槽，8外圆角，9支撑台。

具体实施方式

下面结合附图对实用新型进一步说明，但不用来限制本实用新型的范围。

实施例

如图1～3所示，本实用新型提供的一种玻璃基板装载装置，包括框架1和传动装置，所述传动装置包括至少一组导向组件和至少一组传动组件；所述框架1上设置有至少一个窗口2，所述窗口2的四条底边均设置有边倒角，所述框架1的顶部设置有连通所述窗口2顶边的凹槽7，所述窗口2底部的四个角处均设置有支撑台9，所述窗口2由所述支撑台9的支撑面至所述窗口2顶部的四个直角边均设置有外圆角8；所述导向组件包括左导向轮3和右导向轮4，所述左导向轮3和右导向轮4分别位于所述框架1的左侧和右侧，且所述左导向轮3和右导向轮4分别相对于所述框架1的左侧边和右侧边有间隙；所述传动组件包括左传动轮5和右传动轮6，所述左传动轮5和右传动轮6分别支撑所述框架1底部的左侧和右侧。

本实用新型的所述窗口2的长度和宽度分别大于玻璃基板的长度和宽度1～2mm。

本实用新型的所述凹槽7的深度大于玻璃基板的厚度，且所述凹槽7的深度小于所述框架1的厚度。具体地，凹槽的深度为4～7mm，框架1的厚度为10～20mm。本实用新型窗口顶部的两侧顶边处均设置有凹槽7。通过窗口2的凹槽7将溅射镀膜后的玻璃基板从窗口2内取出，取出相当方便。由于凹槽7的深度小于框架1的厚度，即凹槽7不是通槽，溅射镀膜时，凹槽7区域附近的玻璃基板边棱不会被溅射。

本实用新型的所述导向组件与所述传动组件沿所述框架1的长度方向上交替设置。如图1所示，传动装置包括三组导向组件和两组传动组件，其三组导向组件和两组传动组件沿着框架1的长度方向上交替设置。

本实用新型的所述框架1上还设置有若干减重孔。通过减重孔，以减轻框架1的重量，减轻传动组件的承载，提高传动组件的使用寿命。

本实用新型提供的玻璃基板装载装置用于卧式镀膜装置。使用时，玻璃基板正面朝下的放置于框架1的窗口2处，通过窗口2四个角处的支撑台9支撑玻璃基板。其中窗口2由支撑台9的支撑面到窗口2的顶部的四个角均设置有外圆角8，当玻璃基板放置于窗口2时，由于窗口2的四个角都倒有外圆角8，玻璃基板的角不会触碰至窗口2的角，不会出现玻璃基板崩角而生产不良，玻璃基板更加容易地放置于窗口2，以防止玻璃基板的角碰到窗口2的角，造成玻璃基板崩角而生产不良。

框架1的底部通过传动组件支撑，且实现框架1的平衡传送。通过导向组件实现框架1传送过程中的导向作用。框架1与导向组件的间隙差距单侧为5mm以内，保证即使框架1未正放于传动组件上，即斜放时，在传动组件的后序传送过程中，通过导向组件可以使框架1重回正轨。由于本实用新型的玻璃基板是直接放置在窗口2内，且通过窗口2底部四个角的支撑台9支撑，玻璃基板随同框架1在传动组件的作用下传送，其玻璃基板不会出现崩边和划伤现象，摆脱了现有立式玻璃基板装载装置中出现的由于玻璃基板的所有重量压在玻璃基板的一条边上，发生颠簸时，很容易导致玻璃基板崩边不良，即出现一个小缺口，以及夹持玻璃基板的夹具对玻璃基板反面的划伤。

本实用新型窗口2的尺寸在长度和宽度方向上均大于玻璃基板的长度和宽度1～2mm，使得当从下方向玻璃基板的正面溅射镀膜时，只有被支撑台9遮住的四个小角部分不会被溅射，其余部分全部被溅射，从而大大提高了玻璃基板面积的利用率，外形美观，而现有设计的窗口其玻璃基板的四条边置于窗口的四条边内，其玻璃基板的四条边不被溅射，不被溅射区域大。且本实用新型由于窗口2的尺寸大于玻璃基板的尺寸，在溅射镀膜时，其玻璃基板的边棱不会沉积膜层，以提高后序玻璃基板经涂胶、曝光、显影后的边缘区域图形精准度。

本实用新型窗口2的四条底边均设置有边倒角，且边倒角为窗口2的底边向框架1倒而不是向窗口2内倒角，其边倒角的设计保证了玻璃基板正面四条边的光学参数均匀性好，以提高后序玻璃基板经涂胶、曝光、显影后的边缘区域图形精准度。

本实用新型的框架1的四个角上设置有倒角，以使得框架1与导向组件存在较大的角度，与导向组件接触比较圆滑，不会造成框架1与导向组件相撞从而发生传送停止故障的问题。优选地，倒角的尺寸为R30～40mm，长度为100～200mm。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。