一种用于硅抛光片酸蚀的冷却工装的制作方法

本实用新型涉及到半导体单晶硅片加工领域，具体的说是一种用于硅抛光片酸蚀的冷却工装。

背景技术：

硅抛光片加工过程中，有一道酸腐蚀工序，硅片在酸槽中腐蚀去除硅片表面的损伤层，同时产生大量的热量，热量使酸液温度升高，硅片反应速度及腐蚀去除量难以控制，易出现表面腐蚀不均等技术问题，不能持续稳定地加工高质量的腐蚀片产品，为保证混合酸温度稳定需要安装冷却装置进行冷却，冷却水进水管较粗需要通过一个转换接头转换成多个接头，把有一种较细的薄壁四氟管盘成多股放入混合酸中，通入冷却水进行冷却，四氟薄壁管耐强酸并可以迅速进行热交换，保证混合酸的稳定温度，但是薄壁四氟管壁薄，管子不好连接，而且连接也不牢固。

技术实现要素：

为解决现有技术中用于冷却的薄壁四氟管与进水管不好连接的问题，本实用新型提供了一种用于硅抛光片酸蚀的冷却工装，该工装通过采用多孔接头和转换接头配合，实现了薄壁四氟管与进水管的牢固连接。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种用于硅抛光片酸蚀的冷却工装，包括设置在酸蚀槽内用于与酸进行热交换冷却的若干薄壁四氟管和用于向薄壁四氟管中通入冷却水的进水管，所述若干薄壁四氟管和进水管之间通过转接机构连接，所述转接机构包括多孔接头和转换接头，其中，转换接头的一端与进水管连接，另一端与多孔接头连接，在多孔接头内设置有多条与转换接头内通道连通的连接孔，所述每条薄壁四氟管的管口内均设置有胀管，胀管为表面具有锥度的套管，且所述连接孔的内径介于胀管两端直径之间，以使胀管将薄壁四氟管固定在连接孔内。

所述转换接头两端均为设置有内螺纹的螺纹孔，以分别与多孔接头和进水管连接，且转换接头与多孔接头连接端螺纹孔的内螺纹长度比多孔接头表面外螺纹长度长至少8毫米。

所述连接孔的内径比胀管外径最大端小3mm。

所述薄壁四氟管的外径与连接孔的内径相同。

有益效果：本实用新型通过在多孔接头上设置若干与薄壁四氟管配合的连接孔，然后再用转换接头将这些连接孔与进水管连通，并在薄壁四氟管的管头内部设置具有锥度的胀管，通过胀管与连接孔的配合将薄壁四氟管固定在连接孔内，可以根据需要设置连接孔及薄壁四氟管的数量，具有结构简单、价格低廉、操作方便等优点，而且连接的可靠性和安全性能均比较好。

附图说明

图1为多孔接头的结构示意图；

图2为多孔接头上连接孔的分布示意图；

图3为转换接头的结构示意图；

图4为胀管的侧视图；

图5为胀管的主视图；

附图标记：1、多孔接头，2、转换接头，3、连接孔，4、胀管。

具体实施方式

如图所示，一种用于硅抛光片酸蚀的冷却工装，包括设置在酸蚀槽内用于与酸进行热交换冷却的若干薄壁四氟管和用于向薄壁四氟管中通入冷却水的进水管，所述若干薄壁四氟管和进水管之间通过转接机构连接，所述转接机构包括多孔接头1和转换接头2，其中，转换接头2的一端与进水管连接，另一端与多孔接头1连接，在多孔接头1内设置有多条与转换接头2内通道连通的连接孔3，所述每条薄壁四氟管的管口内均设置有胀管4，胀管4为表面具有锥度的套管，且所述连接孔3的内径介于胀管4两端直径之间，以使胀管4将薄壁四氟管固定在连接孔3内。

以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的优化、改进和限定：

如，所述转换接头2两端均为设置有内螺纹的螺纹孔，以分别与多孔接头1和进水管连接，且转换接头2与多孔接头1连接端螺纹孔的内螺纹长度比多孔接头1表面外螺纹长度长至少8毫米，从而方便冷却水流动畅通；

又如，所述连接孔3的内径比胀管4外径最大端小3mm，实际上，连接孔3的内径稍小于胀管4的最大端，从而使胀管4基本上能够完全塞入连接孔3内；

再如，所述薄壁四氟管的外径与连接孔3的内径相同。

实际生产中，多孔接头1和转换接头2可以是金属材质也可以是其他非金属材质，转换接头2主要是两端都是螺纹连接的孔，一端的孔根据冷却水管道进水的大小做多大的螺纹孔，方便转换接头2与进水管连接，另外一端的螺纹孔做的可以和多孔接头1的螺纹连接，转换接头2与多孔接头1连接端螺纹孔的内螺纹长度比多孔接头1表面外螺纹长度长8毫米以上，方便冷却水流动畅通，多孔接头1是中间钻了较多连接孔3的接头，外端通过螺纹和转换接头2连接，连接孔3的孔径和薄壁四氟管外径一样粗细，可以方便薄壁四氟管插入孔中，其中连接孔3的多少以及接头的大小可以根据冷却量的需求做多少个孔，胀管4是个薄壁金属椎管，要求有一定的强度，椎管最粗外径和多孔接头1的连接孔3外径稍大一点，薄壁四氟管插入多孔接头1的连接孔3中，胀管4插入薄壁四氟管中，并带着薄壁四氟管插入多孔接头1的连接孔3中，由于胀管4锥度头比多孔接头1的连接孔3大一点，所以薄壁四氟管被胀管4牢牢固定在多孔接头1上，由于薄壁四氟管被挤压在多孔接头1上，这样既不会漏水也有一定的耐压性。