一种高效利用的管状靶材的制作方法

本实用新型属于靶材领域，特别涉及一种高效利用的管状靶材。

背景技术：

靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等；亦可应用于玻璃镀膜领域；还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

目前市场主要根据形状可分为长靶，方靶，圆靶，异型靶，其大部分为平面靶材，由于平面靶材为传统靶材，目前较多设备都以平面靶材为主，其与设备的接触面积较小，使用率较低，其并不适用于当前经济快速发展的步伐，且，随着社会经济的不断发展，平面靶材设备机台使用年限到期或者更新换代时都会将其淘汰，这样就迫使其靶材从平面向其他靶材过渡，且，现有的靶材其尺寸旋转较少，常常会造成靶材浪费现象严重，因而现有的靶材还有待于改进。

技术实现要素：

实用新型目的：为了克服以上不足，本实用新型的目的是提供一种高效利用的管状靶材，其结构简单，设计合理，易于生产，大大的提高了其靶材的利用率，且，也大大的提高其适用性。

技术方案：为了实现上述目的，本实用新型提供了一种高效利用的管状靶材，包括：靶材，所述靶材的表面设有靶材使用面，且，所述靶材的两端设有用于固定安装的固定安装端。

本实用新型中所述的一种高效利用的管状靶材，管状靶材的使用，大大的提高了管状靶材的使用率，能够根据实际设备机台的安装位在靶材的端部设置固定安装端，提高靶材与设备几台安装的稳定性，同时，让其根据实际需求尺寸设计管状靶材尺寸，减少靶材在实际使用过程中的浪费现象，减少了资源的浪费，起到很好的节能环保的效果，进而让其更好的满足生产的需求。

本实用新型中所述靶材和靶材使用面之间设有结合层，且，所述的结合层能够根据使用材质进行选择，让其能够根据客户的需求对靶材进行选择，实现可定制，大大的提高了其适用范围。

本实用新型中所述靶材的表面设有第一保护层，所述的第一保护层由耐腐层和耐热层组成，所述的耐腐层设于靶材的表面，所述耐热层设于耐腐层的表面，所述保护层的设置，能够有效的提高靶材的耐磨和耐热性能，有效的延长其使用的寿命。

本实用新型中所述靶材使用面的表面设有第二保护层，所述第二保护层从内向外依次为耐腐层、耐热层组和抗冲击层，大大的提高靶材的耐热、耐腐以及抗冲击性能，延长其使用的寿命。

本实用新型中所述结合层的内、外表面均呈凹凸状，大大的提高结合层与靶材和靶材使用面之间的连接的紧密性，提高其使用的稳定性。

本实用新型中所述结合层的内、外表面分别设有第一保护层和第二保护层，提高结合层的性能，同时的靶材实现多重的保护，有效的延长其使用的寿命。

上述技术方案可以看出，本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型中所述的一种高效利用的管状靶材，管状靶材的使用，大大的提高了管状靶材的使用率，能够根据实际设备机台的安装位在靶材的端部设置固定安装端，提高靶材与设备几台安装的稳定性，同时，让其根据实际需求尺寸设计管状靶材尺寸，减少靶材在实际使用过程中的浪费现象，减少了资源的浪费，起到很好的节能环保的效果，进而让其更好的满足生产的需求。

2、本实用新型中所述靶材和靶材使用面之间设有结合层，且，所述的结合层能够根据使用材质进行选择，让其能够根据客户的需求对靶材进行选择，实现可定制，大大的提高了其适用范围。

3、本实用新型中所述靶材的表面设有第一保护层，所述的第一保护层由耐腐层和耐热层组成，所述的耐腐层设于靶材的表面，所述耐热层设于耐腐层的表面，所述保护层的设置，能够有效的提高靶材的耐磨和耐热性能，有效的延长其使用的寿命；所述靶材使用面的表面设有第二保护层，所述第二保护层从内向外依次为耐腐层、耐热层组和抗冲击层，大大的提高靶材的耐热、耐腐以及抗冲击性能，延长其使用的寿命；所述结合层的内、外表面分别设有第一保护层和第二保护层，提高结合层的性能，同时的靶材实现多重的保护，有效的延长其使用的寿命，从而有效的提高了该管状靶材的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型中的一体管状靶材的结构示意图；

图2为本实用新型中的结合管状靶材的结构示意图

图中：靶材-1、靶材使用面-2、固定安装端-3、结合层-4。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型。

实施例

如图1和图2所示的一种高效利用的管状靶材，其特征在于：包括：靶材1，所述靶材1的表面设有靶材使用面2，且，所述靶材1的两端设有用于固定安装的固定安装端3。

本实施例中所述靶材1和靶材使用面2之间设有结合层4，且，所述的结合层4能够根据使用材质进行选择。

本实施例中所述靶材1的表面设有第一保护层，所述的第一保护层由耐腐层和耐热层组成，所述的耐腐层设于靶材1的表面，所述耐热层设于耐腐层的表面。

本实施例中所述靶材使用面2的表面设有第二保护层，所述第二保护层从内向外依次为耐腐层、耐热层组和抗冲击层。

本实施例中所述结合层4的内、外表面均呈凹凸状。

本实施例中所述结合层4的内、外表面分别设有第一保护层和第二保护层。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。