经处理的物件、具有经处理的物件的系统及并入经处理的物件的过程的制作方法

技术特征：

技术总结
经处理的物件和用于制造经处理的物件的过程、具有经处理的物件的系统、以及并入经处理的物件的过程被公开。经处理的物件包括金属或金属化的衬底和金属或金属化的衬底的表面处理部，表面处理部具有氟、硅和碳。系统包括流动路径，表面处理部位于流动路径内。过程包括使流体流过流动路径。

技术研发人员：D·A·史密斯
受保护的技术使用者：西尔科特克公司
技术研发日：2017.03.29
技术公布日：2017.10.10