1.一种硅外延反应腔用梯形基座,包括梯形基座本体(1),所述梯形基座本体(1)为筒状多面体结构,所述基座本体的每个侧面上从上到下设有硅片放置槽(2),其特征在于:所述基座本体相邻两个侧面的连接面上设有档条(3)。
2.如权利要求1所述的硅外延反应腔用梯形基座,其特征在于:所述档条(3)设有两根,沿所述连接面的上、下方向设置。
3.如权利要求2所述的硅外延反应腔用梯形基座,其特征在于:每个连接面上的两根档条(3)之间设有空隙。
4.如权利要求1所述的硅外延反应腔用梯形基座,其特征在于:所述档条(3)的横截面为正方形。
5.如权利要求1所述的硅外延反应腔用梯形基座,其特征在于:所述硅片放置槽(2)设有两个。
6.如权利要求5所述的硅外延反应腔用梯形基座,其特征在于:所述两个硅片放置槽(2)靠近所述基座本体的下侧设置。