技术特征：
技术总结
本发明公开了一种利用磁场及激光对晶圆进行研磨的系统及方法，系统包括飞秒激光发生器、机器手臂、3D成像模块、晶圆、操作平台、磁场发生器、研磨液腔；研磨液腔固定设置在操作平台上，晶圆固定设置在研磨液腔内，研磨液腔内填充有研磨液；飞秒激光发生器和磁场发生器均固定设置在机器手臂上；3D成像模块用于获取晶圆表面形貌特征并建立3D模型，计算需要去除的表面材料部位坐标。本发明提供的一种利用磁场控制研磨液中磁性纳米颗粒对晶圆进行面研磨后使用飞秒激光对晶圆进行点研磨的方法，同时具有效率高、精度高的特点。
技术研发人员：刘胜;苏丹;占必红;程佳瑞;王春喜
受保护的技术使用者：武汉大学
技术研发日：2017.08.02
技术公布日：2017.10.17