一种用于晶片抛光机的传动柱组件、传动转盘的制作方法

本实用新型涉及晶片抛光机技术领域，特别是涉及一种用于晶片抛光机的传动柱组件、传动转盘。

背景技术：

如图1所示，现有技术中，晶片抛光机采用行星齿轮机构来驱动晶片定位衬片03，例如，专利申请号为CN201610925500.5的中国专利公开的一种四驱双面晶片磨光机就应用了这种传动方式。由图1可见，在传动转盘01上安装有传动齿柱02，传动齿柱02包括柱体和套接在柱体上的套管，传动过程中，套管相对柱体发生转动。

目前，由于套管通常为两端敞口结构，而柱体是竖直安装的(晶片定位衬片03平放)，所以，研磨液容易进入套管与柱体的间隙内，当研磨液结晶后，会导致套管与柱体难以相对转动，使磨损量增大，最终降低使用寿命。

综上所述，如何减小研磨液对套管与柱体之间相对转动的影响，成为了本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型提供了一种用于晶片抛光机的传动柱组件、传动转盘，所述传动转盘包括所述传动柱组件，该传动柱组件能够避免研磨液对套管与柱体之间相对转动产生影响，从而有利于提高使用寿命。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于晶片抛光机的传动柱组件，包括柱体和套筒，所述柱体的中部设置有止挡凸环，所述套筒的一端封闭，另一端敞口，所述套筒套接在所述柱体上，所述套筒的敞口端抵接在所述柱体的止挡凸环上。

优选地，在上述传动柱组件中，所述套筒的敞口处设置有裙边，所述裙边绕所述柱体的轴线包围所述止挡凸环。

优选地，在上述传动柱组件中，所述裙边的内径比所述止挡凸环的外径大2mm～5mm。

优选地，在上述传动柱组件中，所述止挡凸环的圆周面上具有第一扳手平台。

优选地，在上述传动柱组件中，所述套筒的外表面上具有第二扳手平台。

一种用于晶片抛光机的传动转盘，包括盘体和安装在所述盘体上的传动柱组件，所述传动柱组件为如上述任意一项所公开的传动柱组件。

优选地，在上述传动转盘中，所述柱体的止挡凸环与所述盘体之间设置有垫圈。

优选地，在上述传动转盘中，所述柱体远离所述套筒的一端设置有螺纹孔，所述螺纹孔与螺钉连接，所述螺钉与与所述盘体之间设置有垫片。

根据上述技术方案可知，本实用新型提供的用于晶片抛光机的传动柱组件中，套筒套接在柱体上，套筒的敞口端与柱体的止挡凸环抵接，而套筒与敞口相对的另一端是封闭的，所以，研磨液不容易进入套筒与柱体的间隙内，这样，避免了研磨液对套筒与柱体之间相对转动产生影响，从而有利于提高使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1是现有技术中用于晶片抛光机的行星齿轮机构的示意图；

图2是本实用新型提供的一种用于晶片抛光机的传动柱组件的示意图；

图3是图2的零件拆解示意图；

图4是本实用新型提供的一种用于晶片抛光机的传动转盘的拆解示意图。

图中标记为：

01、传动转盘；02、传动齿柱；03、晶片定位衬片；1、柱体；11、第一扳手平台；12、螺纹孔；2、套筒；21、裙边；22、第二扳手平台；3、盘体；31、柱体安装孔；4、螺钉；5、垫片；6、垫圈。

具体实施方式

为了便于理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

参见图2～图4，图2是本实用新型提供的一种用于晶片抛光机的传动柱组件的示意图；图3是图2的零件拆解示意图；图4是本实用新型提供的一种用于晶片抛光机的传动转盘的拆解示意图。

本实用新型实施例提供的一种用于晶片抛光机的传动柱组件包括柱体1和套筒2，柱体1的中部设置有止挡凸环(图中未标记)，套筒2的一端封闭，另一端敞口，套筒2套接在柱体1上，套筒2的敞口端抵接在柱体1的止挡凸环上。

本实用新型提供的用于晶片抛光机的传动柱组件中，套筒2套接在柱体1上，套筒2的敞口端与柱体1的止挡凸环抵接，而套筒2与敞口相对的另一端是封闭的，所以，研磨液不容易进入套筒2与柱体1的间隙内，这样便能避免研磨液对套筒2与柱体1之间相对转动产生影响，从而有利于提高使用寿命。

为了进一步提高防护效果，有效地防止研磨液从套筒2的敞口端进入柱体1与套筒2的间隙中，本实施例中，套筒2的敞口处设置有裙边21，裙边21绕柱体1的轴线包围止挡凸环。

具体实际应用中，如果裙边21与止挡凸环之间的距离过小的话，研磨液就会容易在缝隙中积存，因此，本实施例中，裙边21的内径比止挡凸环的外径大2mm～5mm，这样研磨液便不容易在裙边21与止挡凸环之间的缝隙中积存。

为了便于使用扳手进行拆卸，本实施例中，止挡凸环的圆周面上具有第一扳手平台11，套筒2的外表面上具有第二扳手平台22，如图3所示。

参见图1和图4，晶片定位衬片03在转动时，如果与传动齿柱02直接接触，则容易造成传动齿柱02局部磨损严重，而传动齿柱02的更换成本较高。使用本实用新型提供的传动柱组件，套筒2可以保护柱体1，日常作业只需更换套筒2，不但易于更换，还能降低成本。

本实用新型还提供一种传动转盘，该传动转盘包括上述实施例公开的传动柱组件。由于上述实施例公开的传动柱组件具有上述技术效果，因此具有该传动柱组件的传动转盘同样具有上述技术效果，本文在此不再赘述。

如图4所示，传动转盘包括盘体3，盘体3具有柱体安装孔31，传动柱组件的柱体1远离套筒2的一端设置有螺纹孔12(见图2)，螺纹孔12与螺钉4连接，为了防止研磨液进入柱体安装孔31，可以在螺钉4与与盘体3之间设置垫片5，以及可以在柱体1的止挡凸环与盘体3之间设置垫圈6。

参见图1和图4，在传统的传动转盘01中，传动齿柱02经常因生锈等原因造成更换困难，会导致整个传动转盘01报废。使用本实用新型提供的传动转盘，可以防止研磨液进入柱体1与盘体3的连接缝隙，所以柱体1不容易生锈，即便需要更换柱体1，相较于传统的传动转盘01也更加容易。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。