氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构的制作方法

本实用新型涉及一种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构。

背景技术：

在Meyer Burger MAiA AlOx镀膜装置中，在300~400摄氏度的高温下，气体喷淋器喷出的三甲基铝蒸汽和N2O在等离子体的作用下反应，基片在镀膜装置附近经过就会在基片表面形成AlOx薄膜，AlOx不仅仅在基片表面形成，在不锈钢材质的一体式U型挡板也会有。随着反应的持续进行，会在U型挡板上形成厚厚的AlOx，高温情况下这些厚厚的AlOx会使 U型挡板出现形变，这些形变会使挡板与气体喷淋器直接存在1~2毫米的缝隙，AlOx就会在这些缝隙内聚集，最终导致气体喷淋器无法正常工作。而且三甲基铝蒸汽在通过气管向气体喷淋器传输时，一进二出的设计会使气体喷淋器内的气体分布不均匀，特别是两端所获得的气量偏少，会使两端镀膜膜厚偏薄。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构解决现有技术中存在的厚厚的AlOx会使 U型挡板出现形变的问题。

本实用新型的技术解决方案是：

一种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构，包括三甲基铝蒸汽喷淋器、紧固装置一、N2O喷淋器、紧固装置二和分体式U型挡板，三甲基铝蒸汽喷淋器焊接有紧固装置一，分体式U型挡板包括三甲基铝喷淋器挡板和N2O气体喷淋器挡板，N2O气体喷淋器挡板采用U型，N2O气体喷淋器挡板的两侧分别设有三甲基铝喷淋器挡板，三甲基铝蒸汽喷淋器通过紧固装置一连接三甲基铝喷淋器挡板，三甲基铝喷淋器挡板设有通孔一，通孔一连通三甲基铝蒸汽喷淋器的出气口，N2O喷淋器焊接有紧固装置二，N2O气体喷淋器挡板通过紧固装置二连接N2O喷淋器，N2O气体喷淋器挡板设有通孔二，通孔二连通N2O喷淋器的喷气口。

进一步地，三甲基铝蒸汽喷淋器采用“一进四出”模式的三甲基铝蒸汽喷淋器。

进一步地，三甲基铝蒸汽喷淋器包括总气路和第一支路、第二支路，第一支路的两端分别连通第二支路的中部，第二支路的两端分别连通三甲基铝喷淋器挡板的通孔一，第一支路的中部连通总气路。

进一步地，紧固装置一与紧固装置二的结构相同。

进一步地，紧固装置一包括紧固板、紧固螺杆和紧固螺栓，紧固板设有用于连通通孔与三甲基铝蒸汽喷淋器的出气口的过气孔，紧固螺杆的端部连接在紧固板，三甲基铝喷淋器挡板设有用于紧固螺杆穿过的固定孔，紧固螺栓与紧固螺杆螺纹适配。

本实用新型的有益效果是：

一、该种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构，通过紧固装置一，分体式U型挡板中两侧的三甲基铝喷淋器挡板可以与三甲基铝喷淋器紧密贴合，避免了AlOx聚集堵塞三甲基铝蒸汽喷淋器。

二、该种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构，将一体式的U型挡板分成两侧的三甲基铝喷淋器挡板和中间的N2O气体喷淋器挡板三个部分。分体式U型挡板有效解决了一体式U型挡板因为钢板折弯精度不准确带来的无法正确安装的问题。

三、该种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构，在两侧的两个三甲基铝喷淋器和中间的N2O喷淋器上焊接了若干数量的螺纹紧固装置一，用于固定分体式U型挡板。

四、该种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构，将原有的喷淋器“一进二出”的供气模式改成“一进四出”。新型气体喷淋器的“一进四出”模式有效的保证了整个喷淋器较为均匀的供气。

附图说明

图1是本实用新型实施例氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构的结构示意图；

图2是实施例氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构的剖视图；

图3是实施例中分体式U型挡板的结构示意图；

图4是实施例中采用“一进四出”模式的三甲基铝蒸汽喷淋器的结构示意图；

图5是现有的采用“一进二出”模式的三甲基铝蒸汽喷淋器的结构示意图；

其中：1-三甲基铝蒸汽喷淋器，2-紧固装置一，3- N2O喷淋器，4-紧固装置二，5-分体式U型挡板；

11-总气路，12-第一支路，13-第二支路；

21-紧固板，22-紧固螺杆；

51-三甲基铝喷淋器挡板，52-N2O气体喷淋器挡板。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施例。

实施例

一种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构，如图1和图2，包括三甲基铝蒸汽喷淋器1、紧固装置一2、N2O喷淋器3、紧固装置二4和分体式U型挡板5，三甲基铝蒸汽喷淋器1焊接有紧固装置一2，如图3，分体式U型挡板5包括三甲基铝喷淋器挡板51和N2O气体喷淋器挡板52，N2O气体喷淋器挡板52采用U型，N2O气体喷淋器挡板52的两侧分别设有三甲基铝喷淋器挡板51，三甲基铝蒸汽喷淋器1通过紧固装置一2连接三甲基铝喷淋器挡板51，三甲基铝喷淋器挡板51设有通孔一，通孔一连通三甲基铝蒸汽喷淋器1的出气口，N2O喷淋器3焊接有紧固装置二4，N2O气体喷淋器挡板52通过紧固装置二4连接N2O喷淋器3，N2O气体喷淋器挡板52设有通孔二，通孔二连通N2O喷淋器3的喷气口。

该种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构，通过紧固装置一2，分体式U型挡板5中两侧的三甲基铝喷淋器挡板51可以与三甲基铝喷淋器紧密贴合，避免了AlOx聚集堵塞三甲基铝蒸汽喷淋器1。实施例将一体式的U型挡板分成两侧的三甲基铝喷淋器挡板51和中间的N2O气体喷淋器挡板52三个部分。分体式U型挡板5有效解决了一体式U型挡板因为钢板折弯精度不准确带来的无法正确安装的问题。

实施例中，如图2，两个三甲基铝蒸汽喷淋器1上的紧固螺栓将分体式U型挡板5中的左右两块三甲基铝喷淋器挡板51牢牢固定住，避免三甲基铝喷淋器挡板51受热翘曲。中间一块N2O气体喷淋器挡板52则固定在N2O喷淋器3上。

实施例中在两侧的两个三甲基铝喷淋器和中间的N2O喷淋器3上焊接了若干数量的螺纹紧固装置一2，用于固定分体式U型挡板5。如图4，三甲基铝蒸汽喷淋器1采用“一进四出”模式的三甲基铝蒸汽喷淋器1。该种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构，如图4和图5，将原有的喷淋器“一进二出”的供气模式改成“一进四出”。新型气体喷淋器的“一进四出”模式有效的保证了整个喷淋器较为均匀的供气。改进后的气体喷淋器中，气体将如图4中箭头所示运动，相较原有方式气流分配更均匀。

三甲基铝蒸汽喷淋器1包括总气路11和第一支路12、第二支路13，第一支路12的两端分别连通第二支路13的中部，第二支路13的两端分别连通三甲基铝喷淋器挡板51的通孔一，第一支路12的中部连通总气路11。

紧固装置一2与紧固装置二4的结构相同。紧固装置一2包括紧固板21、紧固螺杆22和紧固螺栓，紧固板21设有用于连通通孔与三甲基铝蒸汽喷淋器1的出气口的过气孔，紧固螺杆22的端部连接在紧固板21，三甲基铝喷淋器挡板51设有用于紧固螺杆22穿过的固定孔，紧固螺栓与紧固螺杆22螺纹适配。