氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构的制作方法

文档序号:14681652发布日期:2018-06-12 22:21阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供一种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构,包括三甲基铝蒸汽喷淋器、紧固装置一、N2O喷淋器、紧固装置二和分体式U型挡板,三甲基铝蒸汽喷淋器焊接有紧固装置一,分体式U型挡板包括三甲基铝喷淋器挡板和N2O气体喷淋器挡板,N2O气体喷淋器挡板采用U型,N2O气体喷淋器挡板的两侧分别设有三甲基铝喷淋器挡板,三甲基铝蒸汽喷淋器通过紧固装置一连接三甲基铝喷淋器挡板,三甲基铝喷淋器挡板设有通孔一,通孔一连通三甲基铝蒸汽喷淋器的出气口;该机构能够避免了AlOx聚集堵塞三甲基铝蒸汽喷淋器,有效解决一体式U型挡板因为钢板折弯精度不准确带来的无法正确安装的问题,并有效保证整个喷淋器较为均匀的供气。

技术研发人员:李华;赵许飞;张猛;童洪波
受保护的技术使用者:泰州隆基乐叶光伏科技有限公司
技术研发日:2017.09.12
技术公布日:2018.06.12

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