本实用新型涉及一种成膜装置。
背景技术：
成膜装置在镀膜过程中发生板材破片是很常见且无法避免的难题。由于板材破片掉落在腔室中，因此，在进行破片清理时，需要停机作业，影响生产效率且浪费人力。
技术实现要素：
本实用新型旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的实施方式提供了一种成膜装置。
本实用新型实施方式的成膜装置包括多个腔体，所述成膜装置还包括：
第一轨道，所述多个腔体沿所述第一轨道排布；
能够移动地设置在所述第一轨道上的基板载具，所述基板载具用于运载板材；和
与所述基板载具同步移动的收集装置，所述收集装置位于所述基板载具的正下方且用于收集所述板材的破片。
本实用新型实施方式的成膜装置，在基板载具正下方设置收集装置。在基板载具的移动过程中，一旦板材发生破片，破片由于重力作用会直接掉入位于基板载具正下方的收集装置中。因此，无需停机进行破片清理，从而提高了生产效率且避免浪费人力。
在某些实施方式中，所述收集装置的尺寸大于所述基板载具的尺寸。
在某些实施方式中，所述基板载具包括两个第一滚轮，所述两个第一滚轮在所述第一轨道上滚动以使所述基板载具在所述第一轨道上移动。
在某些实施方式中，所述基板载具上设置有夹具，所述夹具用于夹持所述板材。
在某些实施方式中，所述成膜装置包括第二轨道，所述收集装置能够移动地设置在所述第二轨道上，所述基板载具的移动速度和方向与所述收集装置的移动速度和方向相同。
在某些实施方式中，所述收集装置包括两个第二滚轮，所述两个第二滚轮在所述第二轨道上滚动以使所述收集装置在所述第二轨道上移动。
在某些实施方式中，所述收集装置中设置有传感器，所述传感器用于感应是否有破片掉入所述收集装置中并在有破片掉入所述收集装置时发出信号。
在某些实施方式中，所述传感器的数量为多个且呈阵列式排列。
在某些实施方式中，所述多个腔体分别形成多个腔室，运载有所述板材的所述基板载具依次移动经过所述多个腔室。
在某些实施方式中，相邻的两个所述腔室之间设置有门体，所述门体在打开后连通相邻的两个所述腔室，所述门体在关闭后隔断相邻的两个所述腔室。
本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是本实用新型实施方式的成膜装置的结构示意图；
图2是本实用新型实施方式的单个腔体的结构示意图；
图3是本实用新型实施方式的单个腔体的再一结构示意图；
图4是本实用新型实施方式的单个腔体的另一结构示意图；
图5是本实用新型实施方式的单个腔体的截面示意图。
主要元件符号说明：
成膜装置100、腔体101、第一轨道102、基板载具104、板材106、收集装置108、第一滚轮110、夹具112、第二轨道114、第二滚轮116、传感器118、腔室122、门体124。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接。可以是机械连接，也可以是电连接。可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参阅图1-图3，本实用新型实施方式的成膜装置100包括多个腔体101、第一轨道102、能够移动地设置在第一轨道102上的基板载具104和与基板载具104同步移动的收集装置108。多个腔体101沿第一轨道102排布。基板载具104用于运载板材106。收集装置108位于基板载具104的正下方且用于收集板材106的破片。
本实用新型实施方式的成膜装置100，在基板载具104正下方设置收集装置108。在基板载具104的移动过程中，一旦板材106发生破片，破片由于重力作用会直接掉入位于基板载具104正下方的收集装置108中。因此，无需停机进行破片清理，从而提高了生产效率且避免浪费人力。
可以理解，收集装置108设置在基板载具104的正下方且与基板载具104同步移动。如此，基板载具104在第一轨道102上移动时，收集装置108始终位于基板载具104的正下方，当基板载具104上的板材106发生破片，破片由于重力作用直接掉入收集装置108中，可避免破片掉入腔室122中。因此，清理破片时无需停机，且方便快捷，从而提高了生产效率且避免浪费人力。板材106包括玻璃基板、陶瓷基板和蓝宝石基板等。
具体地，请参阅图1和图2，成膜装置100包括第一轨道102、能够移动地设置在第一轨道102上的基板载具104和与基板载具104固定连接的收集装置108。基板载具104在第一轨道102上移动以运载板材106。收集装置108位于基板载具104的正下方且用于收集板材106的破片。在一个例子中，收集装置108与基板载具104焊接固定。
在另一实施方式中，请参阅图1和图4，成膜装置100包括第一轨道102、能够移动地设置在第一轨道102上的收集装置108和与收集装置108固定连接的基板载具104。基板载具104用于运载板材106。收集装置108位于基板载具104的正下方且用于收集板材106的破片。
在某些实施方式中，请参阅图1和图3，成膜装置100包括第二轨道114，收集装置108能够移动地设置在第二轨道114上，基板载具104的移动速度和方向与收集装置108的移动速度和方向相同。
可以理解，在本实施方式中，成膜装置100包括第一轨道102和第二轨道114。基板载具104能够移动地设置在第一轨道102上，收集装置108能够移动地设置在第二轨道114上。收集装置108位于基板载具104的正下方。当基板载具104在第一轨道102上移动和收集装置108在第二轨道114上移动时，基板载具104的移动速度和方向与收集装置108的移动速度和方向相同。如此，保证收集装置108始终位于基板载具104的正下方，收集装置108可以收集在基板载具104移动过程中掉落的破片。
在某些实施方式中，收集装置108的尺寸大于基板载具104的尺寸。
如此，保证基板载具104上的板材106发生破片时，破片能够掉入收集装置108中。具体地，收集装置108在地面的投影面积大于基板载具104在地面的投影面积。可以理解，收集装置108在第一轨道102长度方向上的尺寸大于基板载具104在第一轨道102长度方向上的尺寸。在与地面平行的平面上，收集装置108在与第一轨道102长度方向垂直的方向上的尺寸大于基板载具104在与第一轨道102长度方向垂直的方向上的尺寸。
在某些实施方式中，基板载具104包括两个第一滚轮110，两个第一滚轮110在第一轨道102上滚动以使基板载具104在第一轨道102上移动。
可以理解，基板载具104运载板材106。基板载具104通过两个第一滚轮110在第一轨道102上滚动而移动，从而运载板材106。
在某些实施方式中，基板载具104上设置有夹具112，夹具112用于夹持板材106。
如此，夹具112夹持板材106以将板材106固定在基板载具104上以使基板载具104运载板材106。在本实用新型的示例中，基板载具104上有四个夹具112，四个夹具112夹持板材106的四个角，以避免划伤板材106。
在某些实施方式中，基板载具104为刚性板。刚性板包括第一面和与第一面相背的第二面。第一面和第二面分别设置有夹具112。如此，可以在刚性板的第一面和第二面分别夹持一块板材106，也即是说，基板载具104可以同时夹持两块板材106。
在某些实施方式中，收集装置108包括两个第二滚轮116，两个第二滚轮116在第二轨道114上滚动以使收集装置108在第二轨道114上移动。
可以理解，收集装置108通过两个第二滚轮116在第二轨道114上滚动而移动。
在某些实施方式中，收集装置108中设置有传感器118，传感器118用于感应是否有破片掉入收集装置108中并在有破片掉入收集装置108时发出信号。
在一个例子中，当收集装置108中有破片时，传感器118发出信号至成膜装置100的控制单元，控制单元控制收集装置108报警以使工作人员知道板材106产生有破片。在另一个例子中，当收集装置108装满了破片，此时，板材106发生严重的破片问题，成膜装置100可能需要停机清理并检查问题。传感器118可发出停机信号至成膜装置100的控制单元，控制单元控制收集装置108停机。传感器118可为光感传感器。
较佳地，收集装置108为托盘，传感器118设置在托盘中。
在某些实施方式中，传感器118的数量为多个且呈阵列式排列。
可以理解，传感器118的数量为多个且在收集装置108中呈矩形阵列排列。多个为两个或两个以上。在图2-图4中，传感器118均匀分布在收集装置108中。如此，保证只要有破片掉入收集装置108中，传感器118就可以感应到收集装置108中有破片。
在某些实施方式中，请参阅图1，多个腔体101分别形成多个腔室122，运载有板材106的基板载具104依次移动经过多个腔室122。
可以理解，成膜装置100包括沿第一轨道102排布的多个腔体101，每个腔体101形成有一个腔室122。多个腔室122分别进行不同的工艺生产以完成镀膜。每完成一次镀膜，运载有板材106的基板载具104依次移动经过所有腔室122。
在某些实施方式中，请参阅图5，相邻的两个腔室122之间设置有门体124。门体124在打开后连通相邻的两个腔室122。门体124在关闭后隔断相邻的两个腔室122。
可以理解，多个腔室122分别进行不同的工艺生产。当某个腔室122进行工艺生产时，门体124关闭使腔室122成为密闭空间以避免干扰。当某个腔室122完成工艺生产时，门体124打开以使相邻的两个腔室122连通，从而供基板载具104和收集装置108通过进入下一个腔室122以进行下一道工序。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施方式，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。