夹具及等离子体沉积设备的制作方法

技术总结
本实用新型涉及气相沉积技术领域，公开了一种夹具以及设置有该夹具的等离子体沉积设备。夹具包括：承接件，承接件为多个且隔开地设置；支撑板，支撑板为多个且承接件位于支撑板之间；在承接件上设置有限位件，样品沿竖直方向被限位件固定在两个承接件之间。本实用新型使样品垂直于电极板放置在夹具上，能够改善样品表面等离子体气相沉积的均匀性并提高沉积效率。

技术研发人员：张志强;张二辉;丁伟
受保护的技术使用者：上海稷以科技有限公司
技术研发日：2017.12.25
技术公布日：2018.08.14