在基板上沉积沉积材料的蒸镀板、蒸镀设备、以及在基板上沉积沉积材料的方法与流程

本发明涉及显示技术，更具体地，涉及用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板、蒸镀设备、以及在基板上沉积沉积材料的方法。

背景技术：

在制作有机发光二极管(oled)的常规工艺中，利用蒸镀坩埚将有机发光材料蒸镀到基板上。具体地，将有机发光材料置于具有热源的蒸镀坩埚内。当将电力施加至热源时，将有机发光材料蒸发或升华为蒸汽。蒸发或升华的蒸汽在其到达位于蒸镀坩埚的顶部的基板时凝结。有机发光材料被沉积在基板上。

技术实现要素：

在一方面，本公开提供了一种用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板，该蒸镀板具有第一侧和与第一侧相对的第二侧，该蒸镀板包括：主体板；第一冷却层，其位于主体板上并且位于蒸镀板的第一侧；以及第一加热层，其位于第一冷却层的远离主体板的一侧；其中，第一冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第一侧的第一加热层；并且，第一加热层构造为加热沉积在蒸镀板的第一侧上的材料。

可选地，蒸镀板还包括：第二冷却层，其位于主体板上并且位于蒸镀板的第二侧；以及第二加热层，其位于第二冷却层的远离主体板的一侧；其中，第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层；并且，第二加热层构造为加热沉积在蒸镀板的第二侧上的材料。

可选地，蒸镀板还包括：第一热扩散层，其位于第一加热层的远离第一冷却层的一侧，并且构造为分配从第一加热层传导的热；以及第二热扩散层，其位于第二加热层的远离第二冷却层的一侧，并且构造为分配从第二加热层传导的热；其中，第一冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第一侧的第一加热层和第一热扩散层；第一加热层构造为通过第一热扩散层加热沉积在第一热扩散层上的材料；第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层和第二热扩散层；并且，第二加热层构造为通过第二热扩散层加热沉积在第二热扩散层上的材料。

可选地，蒸镀板还包括枢轴，其构造为使蒸镀板在第一位置和第二位置之间旋转。

在另一方面，本公开提供了一种蒸镀设备，其包括本文描述的蒸镀板或通过本文描述的方法制造的蒸镀板。

可选地，蒸镀设备还包括：多个喷嘴，其构造为将蒸发的沉积材料扩散到蒸镀板上。

可选地，蒸镀板还包括：第二冷却层，其位于主体板上并且位于蒸镀板的第二侧；以及第二加热层，其位于第二冷却层的远离主体板的一侧；其中，第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层；并且，第二加热层构造为加热沉积在蒸镀板的第二侧上的材料。

可选地，蒸镀板还包括：第一热扩散层，其位于第一加热层的远离第一冷却层的一侧，并且构造为分配从第一加热层传导的热；以及第二热扩散层，其位于第二加热层的远离第二冷却层的一侧，并且构造为分配从第二加热层传导的热；其中，第一冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第一侧的第一加热层和第一热扩散层；第一加热层构造为通过第一热扩散层加热沉积在第一热扩散层上的材料；第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层和第二热扩散层；并且，第二加热层构造为通过第二热扩散层加热沉积在第二热扩散层上的材料。

可选地，蒸镀板构造为在第一位置和第二位置之间旋转；其中，当蒸镀板位于第一位置时，多个喷嘴面对蒸镀板的第一侧，并且构造为将蒸发的沉积材料扩散到位于第一位置的蒸镀板的第一侧上；并且，当蒸镀板位于第二位置时，多个喷嘴面对蒸镀板的第二侧，并且构造为将蒸发的沉积材料扩散到位于第二位置的蒸镀板的第二侧上。

可选地，第二加热层构造为当蒸镀板位于第一位置时对扩散在蒸镀板的第二侧上的沉积材料进行加热；并且，第一加热层构造为当蒸镀板位于第二位置时对扩散在蒸镀板的第一侧上的沉积材料进行加热。

可选地，蒸镀设备还包括枢轴，其与蒸镀板耦接并且构造为使蒸镀板在第一位置和第二位置之间旋转。

可选地，蒸镀设备还包括：沉积阻止板，其位于蒸镀板和多个喷嘴之间；其中，沉积阻止板具有使蒸镀板暴露的开口；多个喷嘴相对于开口可运动；并且，当多个喷嘴位于与开口对应的区域之外时，阻止蒸发的沉积材料沉积在蒸镀板上。

在另一方面，本公开提供了一种在基板上沉积沉积材料的方法，包括：提供本文描述的或通过本文描述的方法制造的蒸镀设备；将蒸镀板设置在第一位置，在该第一位置处，多个喷嘴面对蒸镀板的第一侧；以及将来自多个喷嘴的蒸发的沉积材料沉积到位于第一位置处的蒸镀板的第一侧上，从而形成第一沉积材料层。

可选地，所述方法还包括：将蒸镀板设置在第二位置，在该第二位置处，多个喷嘴面对蒸镀板的第二侧；以及将来自多个喷嘴的蒸发的沉积材料沉积到位于第二位置处的蒸镀板的第二侧上，从而形成第二沉积材料层。

可选地，蒸镀设备还包括：沉积阻止板，其位于蒸镀板和多个喷嘴之间；沉积阻止板具有使蒸镀板暴露的开口；多个喷嘴相对于开口可运动；当多个喷嘴位于与开口对应的区域之外时，阻止蒸发的沉积材料沉积在蒸镀板上；其中，在形成第一沉积材料层之后和将蒸镀板设置在第二位置之前，所述方法还包括：将多个喷嘴移动到与开口相对应的区域之外。

可选地，所述方法还包括：在第一加热层的远离主体板的一侧提供第一基板；在第一基板的靠近第一加热层的一侧提供第一掩模板；当蒸镀板位于第二位置时对第一加热层进行加热，以将第一沉积材料层加热到使得第一沉积材料层中的第一沉积材料蒸发的温度；以及将第一沉积材料沉积在第一基板上。

可选地，在沉积第一沉积材料之后，所述方法还包括：冷却第一冷却层以降低第一加热层的温度；将蒸镀板设置在第一位置；以及将来自多个喷嘴的蒸发的沉积材料沉积到位于第一位置处的蒸镀板的第一侧上，从而形成第一沉积材料层。

可选地，所述方法还包括：在第二加热层的远离主体板的一侧提供第二基板；在第二基板的靠近第二加热层的一侧提供第二掩模板；当蒸镀板位于第一位置时对第二加热层进行加热，以将第二沉积材料层加热到使得第二沉积材料层中的第二沉积材料蒸发的温度；以及将第二沉积材料沉积在第二基板上。

在另一方面，本公开提供了一种显示设备，其中显示设备的至少一个层由本文所述的方法制造。

可选地，所述显示设备为有机发光二极管显示设备；并且所述至少一个层包括有机发光层。

附图说明

以下附图仅为根据所公开的各种实施例的用于示意性目的的示例，而不旨在限制本发明的范围。

图1是示出根据本公开的一些实施例中的蒸镀设备的侧视示意图。

图2是示出根据本公开的一些实施例中的蒸镀设备的正视示意图。

图3是示出根据本公开的一些实施例中的蒸镀设备的正视示意图。

图4至图8示出了根据本公开的一些实施例中的将沉积材料沉积在基板上的过程。

具体实施方式

现在将参照以下实施例更具体地描述本公开。需注意，以下对一些实施例的描述仅针对示意和描述的目的而呈现于此。其不旨在是穷尽性的或者受限为所公开的确切形式。

在将沉积材料沉积在基板上的传统工艺中，沉积材料从多个喷嘴中蒸发出来，然后在基板的表面上凝结。离开多个喷嘴的蒸汽以与基板的表面不垂直的一定角度到达基板的表面。此外，通常，由于制造工艺的限制，导致在置于基板之上的掩模板和基板之间存在小间隙。在本公开中发现，由于这些限制，形成在基板上的沉积层比掩模板的开口略大了阴影距离，并且该层的边缘比该层的中央部分薄。阴影距离的存在极大地影响显示设备的分辨率。当制作每英寸像素(ppi)高的显示设备时，这个问题有时导致相邻子像素之间混色以及漏光。

因此，本公开特别提供了用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板、蒸镀设备、以及在基板上沉积沉积材料的方法，其实质上消除了由于现有技术的限制和缺陷而导致的问题中的一个或多个。在一方面，本公开提供了一种用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板。蒸镀板具有第一侧和与第一侧相对的第二侧。在一些实施例中，蒸镀板包括：主体板；第一冷却层，其位于主体板上并且位于蒸镀板的第一侧；以及第一加热层，其位于第一冷却层的远离主体板的一侧。可选地，第一冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第一侧的第一加热层。可选的，第一加热层构造为加热沉积在蒸镀板的第一侧上的材料。可选地，蒸镀板还包括：第二冷却层，其位于主体板上并且位于蒸镀板的第二侧；以及第二加热层，其位于第二冷却层的远离主体板的一侧。可选地，第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层。可选地，第二加热层构造为加热沉积在蒸镀板的第二侧上的材料。具有通过该蒸镀板制造的层的显示设备避免了阴影距离问题，因此，显示设备的显示质量和性能更好。

图1是示出根据本公开的一些实施例中的蒸镀设备的侧视示意图。参照图1，一些实施例中的蒸镀设备包括用于利用掩模板6在基板5上沉积沉积材料的蒸镀板100。如图1所示，一些实施例中的蒸镀板100具有第一侧s1和与第一侧s1相对的第二侧s2。蒸镀板100包括：主体板1；第一冷却层11，其位于主体板1上并且位于蒸镀板100的第一侧s1；以及第一加热层12，其位于第一冷却层11的远离主体板1的一侧。可选地，第一冷却层11构造为冷却蒸镀板100的第一侧s1。例如，第一冷却层11构造为冷却位于蒸镀板100的第一侧s1的第一加热层12(及其他层)。可选地，第一加热层12构造为加热蒸镀板100的第一侧s1。通过对蒸镀板100的第一侧s1进行加热，第一加热层12可以对沉积在蒸镀板100的第一侧s1上的沉积材料进行加热。

在一些实施例中，蒸镀板100还包括：第二冷却层21，其位于主体板1上并且位于蒸镀板100的第二侧s2；以及第二加热层22，其位于第二冷却层21的远离主体板1的一侧。可选地，第二冷却层21构造为冷却蒸镀板100的第二侧s2。例如，第二冷却层21构造为冷却位于蒸镀板100的第二侧s2的第二加热层22。可选地，第二加热层22构造为加热蒸镀板100的第二侧s2。通过对蒸镀板100的第二侧s2进行加热，第二加热层22可以对沉积在蒸镀板100的第二侧s2上的沉积材料进行加热。

在一些实施例中，蒸镀板100还包括：第一热扩散层13，其位于第一加热层12的远离第一冷却层11的一侧。第一热扩散层13构造为分配从第一加热层12传导的热。例如，当第一加热层12对蒸镀板100的第一侧s1进行加热时，第一热扩散层13可以将从第一加热层12传导的热均匀地分配在第一热扩散层13的表面上，从而均匀地加热沉积在蒸镀板100的第一侧s1上的沉积材料。当第一冷却层11对蒸镀板100的第一侧s1进行冷却时，第一冷却层11构造为冷却位于蒸镀板100的第一侧s1的第一加热层12和第一热扩散层13。当第一加热层12对蒸镀板100的第一侧s1进行加热时，第一加热层12构造为通过第一热扩散层13对沉积在第一热扩散层13上的沉积材料进行加热。

在一些实施例中，蒸镀板100还包括：第二热扩散层23，其位于第二加热层22的远离第二冷却层21的一侧。第二热扩散层23构造为分配从第二加热层22传导的热。例如，当第二加热层22对蒸镀板100的第二侧s2进行加热时，第二热扩散层23可以将从第二加热层22传导的热均匀地分配在第二热扩散层23的表面上，从而均匀地加热沉积在蒸镀板100的第二侧s2上的沉积材料。当第二冷却层21对蒸镀板100的第二侧s2进行冷却时，第二冷却层21构造为冷却位于蒸镀板100的第二侧s2的第二加热层22和第二热扩散层23。当第二加热层22对蒸镀板100的第二侧s2进行加热时，第二加热层22构造为通过第二热扩散层23对沉积在第二热扩散层23上的沉积材料进行加热。

在一些实施例中，蒸镀板100构造为在第一位置和第二位置之间旋转。例如，一些实施例中的蒸镀板100还包括枢轴2，其构造为使蒸镀板100在第一位置和第二位置之间旋转。参照图1和图2，一些实施例中的蒸镀设备还包括：多个喷嘴4，其在平台8上可运动并构造为将蒸发的沉积材料扩散到蒸镀板100上。图1和图2示出了其中蒸镀板100位于第一位置的蒸镀设备。当蒸镀板100位于第一位置时，多个喷嘴4面对蒸镀板100的第一侧s1，并且构造为将蒸发的沉积材料扩散到第一位置处的蒸镀板100的第一侧s1上。当蒸镀板100位于第一位置时，第二加热层22构造为对扩散在蒸镀板100的第二侧s2上的沉积材料(例如，扩散在蒸镀板100的第二热扩散层23上的沉积材料)进行加热。

图3是示出根据本公开的一些实施例中的蒸镀设备的正视示意图。图3示出了其中蒸镀板100位于第二位置的蒸镀设备。当蒸镀板100位于第二位置时，多个喷嘴4面对蒸镀板100的第二侧s2，并且构造为将蒸发的沉积材料扩散到第二位置处的蒸镀板100的第二侧s2上。当蒸镀板100位于第二位置时，第一加热层12构造为对扩散在蒸镀板100的第一侧s1上的沉积材料(例如，扩散在蒸镀板100的第一热扩散层13上的沉积材料)进行加热。

参照图1至图3，一些实施例中的蒸镀设备还包括：沉积阻止板7，其位于蒸镀板100和多个喷嘴4之间。沉积阻止板7具有遮挡板s和使蒸镀板100暴露的开口o。多个喷嘴4相对于开口o可运动。当多个喷嘴4位于与开口o相对应的区域之外时(例如，当多个喷嘴4移动到遮挡板s之下时)，阻止蒸发的沉积材料沉积在蒸镀板100上。

在另一方面，本公开提供了一种在基板上沉积沉积材料的方法。在一些实施例中，所述方法包括：提供本文描述的蒸镀设备；将蒸镀板设置在第一位置，在该第一位置处，多个喷嘴面对蒸镀板的第一侧；以及将来自多个喷嘴的蒸发的沉积材料沉积到第一位置处的蒸镀板的第一侧上，从而形成第一沉积材料层。可选地，所述方法还包括：将蒸镀板设置在第二位置，在该第二位置处，多个喷嘴面对蒸镀板的第二侧；以及将来自多个喷嘴的蒸发的沉积材料沉积到第二位置处的蒸镀板的第二侧上，从而形成第二沉积材料层。可选地，在形成第一沉积材料层之后和将蒸镀板设置在第二位置之前，所述方法还包括：将多个喷嘴移动到与开口相对应的区域之外。

在一些实施例中，所述方法还包括：在第一加热层的远离主体板的一侧提供第一基板；在第一基板的靠近第一加热层的一侧提供第一掩模板；当蒸镀板位于第二位置时对第一加热层进行加热，以将第一沉积材料层加热到使得第一沉积材料层中的第一沉积材料蒸发的温度；以及将第一沉积材料沉积在第一基板上。

可选地，在沉积第一沉积材料之后，所述方法还包括：冷却第一冷却层以降低第一加热层的温度；将蒸镀板设置在第一位置；以及将来自多个喷嘴的蒸发的沉积材料沉积到位于第一位置处的蒸镀板的第一侧上，从而形成第一沉积材料层。

在一些实施例中，所述方法还包括：在第二加热层的远离主体板的一侧提供第二基板；在第二基板的靠近第二加热层的一侧提供第二掩模板；当蒸镀板位于第一位置时对第二加热层进行加热，以将第二沉积材料层加热到使得第二沉积材料层中的第二沉积材料蒸发的温度；以及将第二沉积材料沉积在第二基板上。

图4至图7示出了根据本公开的一些实施例中的将沉积材料沉积在基板上的过程。参照图4，将蒸镀板旋转到第一位置，在该第一位置处，多个喷嘴4面对蒸镀板100的第一侧s1。蒸发的沉积材料从多个喷嘴4沉积到位于第一位置处的蒸镀板100的第一侧s1上。如图4所示，多个喷嘴4从左侧向右侧运动。随着多个喷嘴4从左侧向右侧运动，第一沉积材料层31形成在第一热扩散层13的表面上。

参照图5，在将第一沉积材料层31形成在第一热扩散层13的表面上之后，多个喷嘴4运动到沉积阻止板7的遮挡板s的下方，例如，与开口o相对应的区域之外。旋转蒸镀板100以将蒸镀板100从第一位置设置到第二位置。在旋转处理期间，第一加热层12开始预加热蒸镀板100的第一侧s1，例如，预加热至比第一沉积材料层31中的沉积材料的蒸发温度低的温度。第一基板5a和第一掩模板6a(从与多个喷嘴4相对的一侧)被放置到准备沉积的位置。第一掩模板6a与第一基板5a对齐，使得第一掩模板6a的开口对应于第一基板5a中的材料沉积的期望位置。

参照图6，蒸镀板100被设置在第二位置处。在第二位置处，蒸镀板100的第一侧s1面对第一掩模板6a和第一基板5a，并且蒸镀板100的第二侧s2面对多个喷嘴4。在该第二位置处，蒸发的沉积材料从多个喷嘴4沉积到蒸镀板100的第二侧s2上。如图6所示，多个喷嘴4从右侧向左侧运动。随着多个喷嘴4从右侧向左侧运动时，第二沉积材料层32形成在第二热扩散层23的表面上。

当蒸镀板100位于第二位置处时，第一加热层12进一步将第一沉积材料层31(其此时面对第一掩模板6a和第一基板5a)加热至使得第一沉积材料层31中的第一沉积材料蒸发的温度。来自第一沉积材料层31的蒸发的沉积材料被沉积在第一基板5a上。在该方法中，从平面(例如，第一沉积材料层31的平面)蒸发沉积材料。蒸汽沿着基本上垂直于第一基板5a的表面的方向到达第一基板5a。结果，可以将沉积材料精确地和准确地沉积到第一基板5a中的期望位置，例如，不存在阴影距离。

参照图7，在将第二沉积材料层32形成在第二热扩散层23的表面上之后，多个喷嘴4运动到沉积阻止板7的遮挡板s的下方，例如，与开口o相对应的区域之外。旋转蒸镀板100以将蒸镀板100从第二位置设置到第一位置。在旋转处理期间，第二加热层22开始预加热蒸镀板100的第二侧s2，例如，预加热至比第二沉积材料层32中的沉积材料的蒸发温度低的温度。在第一基板5a上的材料沉积完成之后，移除第一基板5a和第一掩模板6a。第二基板5b和第二掩模板6b(从与多个喷嘴4相对的一侧)被放置到准备沉积的位置。第二掩模板6b与第二基板5b对齐，使得第二掩模板6b的开口对应于第二基板5b中的材料沉积的期望位置。此外，在旋转处理期间，第一加热层12停止对蒸镀板100的第一侧s1进行加热，并且第一冷却层11开始冷却蒸镀板100的第一侧s1。

参照图8，蒸镀板100被设置在第一位置处。在第一位置处，蒸镀板100的第二侧s2面对第二掩模板6b和第二基板5b，并且蒸镀板100的第一侧s1面对多个喷嘴4。在该第一位置处，蒸发的沉积材料从多个喷嘴4沉积到蒸镀板100的第一侧s1上。如图8所示，多个喷嘴4从左侧向右侧运动。随着多个喷嘴4从左侧向右侧运动，第一沉积材料层31形成在第一热扩散层13的表面上。

当蒸镀板100位于第一位置处时，第二加热层22进一步将第二沉积材料层32(其此时面对第二掩模板6b和第二基板5b)加热至使得第二沉积材料层32中的第二沉积材料蒸发的温度。来自第二沉积材料层32的蒸发的沉积材料被沉积在第二基板5b上。在该方法中，从平面(例如，第二沉积材料层32的平面)蒸发沉积材料。蒸汽沿着基本上垂直于第二基板5b的表面的方向到达第二基板5b。结果，可以将沉积材料精确地和准确地沉积到第二基板5b中的期望位置，例如，不存在阴影距离。

可选地，图4至图8所示的处理可以重复多次。

在另一方面，本公开提供了一种显示设备，其具有由本文所述的方法制造的至少一个层。可选地，所述显示设备为有机发光二极管显示设备。可选地，所述至少一个层包括有机发光层。可选地，所述至少一个层包括有机发光二极管显示设备中的有机功能层，例如，空穴注入层、空穴传输层、电子注入层、以及电子传输层。适当显示设备的示例包括但不限于：电子纸、移动电话、平板计算机、电视、监视器、笔记本计算机、数字相框、gps等。

在另一方面，本公开提供了一种制造用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板的方法。在一些实施例中，所述方法包括：提供主体板；在主体板上并且在主体板的第一侧形成第一冷却层；以及，在第一冷却层的远离主体板的一侧形成第一加热层。可选地，所述方法还包括：在主体板上并且在主体板的第二侧形成第二冷却层，第二侧与第一侧相对；以及，在第二冷却层的远离主体板的一侧形成第二加热层。

可选地，所述方法还包括：在第一加热层的远离第一冷却层的一侧形成第一热扩散层。可选地，所述方法还包括：在第二加热层的远离第二冷却层的一侧形成第二热扩散层。

可选地，所述方法还包括：形成枢轴，其构造为使蒸镀板在第一位置和第二位置之间旋转。

在另一方面，本公开提供了一种制造蒸镀设备的方法。在一些实施例中，所述方法包括：提供本文描述的或通过本文描述的方法制造的蒸镀板；以及，提供多个喷嘴。蒸镀板构造为在第一位置和第二位置之间旋转。组装蒸镀板和多个喷嘴，使得：当蒸镀板位于第一位置处时，多个喷嘴面对蒸镀板的第一侧，以及当蒸镀板位于第二位置处时，多个喷嘴面对蒸镀板的第二侧。

在一些实施例中，所述方法还包括：在蒸镀板和多个喷嘴之间形成沉积阻止板。可选地，沉积阻止板被形成为具有使蒸镀板暴露的开口。多个喷嘴被形成为相对于开口可运动。可选地，当多个喷嘴运动到与开口对应的区域之外时，通过沉积阻止板阻止蒸发的沉积材料沉积在蒸镀板上。

出于示意和描述目的已示出对本发明实施例的上述描述。其并非旨在穷举或将本发明限制为所公开的确切形式或示例性实施例。因此，上述描述应当被认为是示意性的而非限制性的。显然，许多修改和变形对于本领域技术人员而言将是显而易见的。选择和描述这些实施例是为了解释本发明的原理和其最佳方式的实际应用，从而使得本领域技术人员能够理解本发明适用于特定用途或所构思的实施方式的各种实施例及各种变型。本发明的范围旨在由所附权利要求及其等同形式限定，其中除非另有说明，否则所有术语以其最宽的合理意义解释。因此，术语“发明”、“本发明”等不一定将权利范围限制为具体实施例，并且对本发明示例性实施例的参考不隐含对本发明的限制，并且不应推断出这种限制。本发明仅由随附权利要求的精神和范围限定。此外，这些权利要求可涉及使用跟随有名词或元素的“第一”、“第二”等术语。这种术语应当理解为一种命名方式而非意在对由这种命名方式修饰的元素的数量进行限制，除非给出具体数量。所描述的任何优点和益处不一定适用于本发明的全部实施例。应当认识到的是，本领域技术人员在不脱离随附权利要求所限定的本发明的范围的情况下可以对所描述的实施例进行变化。此外，本公开中没有元件和组件是意在贡献给公众的，无论该元件或组件是否明确地记载在随附权利要求中。