本发明涉及一种化工设备，特别是涉及一种气相沉积设备。
背景技术：
气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜，气相沉积设备是一种运用化学气相沉积技术来生成薄膜的设备，现有设备在进行高温沉积时会一直保持高温，这样长时间的高温会对设备产生损坏，且进行沉积的速度也较慢。
技术实现要素：
本发明所要解决的技术问题是提供一种气相沉积设备，其通过高温有效的完成了气相沉积，提高了沉积的速度和效率，成型的速度也得到了提高，让气相的沉积变得更加方便，可以有效的降低温度，保护沉积设备更加安全，提高了沉积设备的使用寿命。
本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种气相沉积设备，其特征在于，其包括气体流入箱、真空箱、等离子气体存储箱、输送管道、流动管道、工作台、支撑架、沉积设备，真空箱位于气体流入箱的一侧，等离子气体存储箱位于真空箱的一侧，工作台固定在气体流入箱、真空箱、等离子气体存储箱上，输送管道连接等离子气体存储箱，流动管道连接输送管道与沉积设备，多个支撑架固定在工作台上，沉积设备位于多个支撑架之间，多个支撑架都连接流动管道，其中：
沉积设备包括高温沉积箱、高温成型箱、散热片、冷却管、显示屏、保护涂层，高温成型箱位于高温沉积箱的一侧，多个高温沉积箱都固定在高温沉积箱和高温成型箱的两侧，多个冷却管都固定在高温沉积箱和高温成型箱的顶部，多个显示屏都固定在高温沉积箱和高温成型箱的一侧。
优选地，所述高温沉积箱和高温成型箱的底部都设有安装架。
优选地，所述工作台上设有安装槽。
优选地，所述气体流入箱上、真空箱上、等离子气体存储箱上都设有操作屏。
优选地，所述高温沉积箱的体积和高温成型箱的体积是相同的。
本发明的积极进步效果在于：本发明通过高温有效的完成了气相沉积，提高了沉积的速度和效率，成型的速度也得到了提高，让气相的沉积变得更加方便，可以有效的降低温度，保护沉积设备更加安全，提高了沉积设备的使用寿命。
附图说明
图1为本发明的总体结构图。
图2为本发明的沉积设备的结构图。
具体实施方式
下面结合附图给出本发明较佳实施例，以详细说明本发明的技术方案。
如图1至图2所示，本发明气相沉积设备包括气体流入箱1、真空箱2、等离子气体存储箱3、输送管道4、流动管道5、工作台6、支撑架7、沉积设备8，真空箱2位于气体流入箱1的一侧，等离子气体存储箱3位于真空箱2的一侧，工作台6固定在气体流入箱1、真空箱2、等离子气体存储箱3上，输送管道4连接等离子气体存储箱3，流动管道5连接输送管道4与沉积设备8，多个支撑架7固定在工作台6上，沉积设备8位于多个支撑架7之间，多个支撑架7都连接流动管道5，其中：
沉积设备8包括高温沉积箱9、高温成型箱10、散热片11、冷却管12、显示屏13、保护涂层17，高温成型箱10位于高温沉积箱9的一侧，多个高温沉积箱9都固定在高温沉积箱9和高温成型箱10的两侧，多个冷却管12都固定在高温沉积箱9和高温成型箱10的顶部，多个显示屏13都固定在高温沉积箱9和高温成型箱10的一侧。
高温沉积箱9和高温成型箱10的底部都设有安装架14，安装高温沉积箱和高温成型箱更加方便。
工作台6上设有安装槽15，安装元件更加轻松。
气体流入箱1上、真空箱2上、等离子气体存储箱3上都设有操作屏16，使用气体流入箱、真空箱、等离子气体存储箱更加简单。
高温沉积箱9的体积和高温成型箱10的体积是相同的，提高气相沉积设备的工作速度。
本发明的工作原理如下：气体流入气体流入箱，进入气体流入箱的气体通过真空箱、等离子气体存储箱进入输送管道，当气体进入输送管道后，真空箱开始工作，将高温沉积箱和高温成型箱抽成真空，当气体通过输送管道进入流动管道再通过流动管道进入高温沉积箱时，高温沉积箱开始工作，高温沉积箱会开始加热让气体在高温的情况下开始化学沉积，这时等离子气体存储箱的等离子气体可以显著的促进气体的化学反应，使沉积可以在常温下进行，当气体在高温沉积箱完成沉积后会通过流动管道流入高温成型箱，高温成型箱开始工作，高温成型箱会开始加入让沉积在高温的情况下发生各种化学反应成型成各种涂层，成型后的涂层再通过流动管道流出，这样就完成在高温情况下的气相沉积了，通过高温有效的完成了气相沉积，提高了沉积的速度和效率，成型的速度也得到了提高，让气相的沉积变得更加方便。沉积设备是安装在工作台上的，这样沉积设备在工作时发出的高温不会影响到其他设备，位于高温沉积箱和高温成型箱四周的保护涂层可以有效降低高温沉积箱和高温成型箱在工作时发出的高温，工作人员工作时不容易受伤，工作人员可以通过显示屏观察高温沉积箱和高温成型箱的工作情况，让沉积设备的使用变得更加方便，高温沉积箱和高温成型箱在工作完成后的很长一段时间内部都是高温的，位于高温沉积箱和高温成型箱两侧的散热片和安装在高温沉积箱、高温成型箱顶部的冷却管可以有效的降低高温沉积箱和高温成型箱的温度，保护沉积设备更加安全，提高了沉积设备的使用寿命，位于沉积设备两侧的支撑架用于支撑流动管道，固定流动管道更加牢固。